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[发明专利]嵌套压电管驱动多维可脱离压电马达及扫描探针显微镜-CN201510679818.5在审
发明人：陆轻铀 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2015-10-16 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种嵌套压电管驱动多维可脱离压电马达及扫描探针显微镜，特征是第一支撑环固定于筒形框架内壁，筒形框架上端与第一环形滑片间的弹簧将第一环形滑片压于第一支撑环上，第一套管与第一环形滑片共轴固定，第一滑杆套于第一套管内并通过簧片与之相压；X压电管套于筒形框架内并与之下端固定，第二支撑环固定于X压电管自由端，弹簧将第二环形滑片与第二支撑环相压，第二环形滑片将第一套管或第一环形滑片套入其内；第二套管固定于Z压电管自由端，第二滑杆套于第二套管内并通过簧片与之相压，构成Z马达，Z马达安装于第一套管与第一滑杆之间以驱动第一滑杆在第一套管中步进。本发明既能实现多维步进，又能实现多维脱离。
嵌套压电驱动多维脱离马达扫描探针显微镜

[发明专利]一种光束跟踪式原子力显微镜扫描测头-CN201310514419.4有效
发明人：吴森;胡晓东;胡小唐;徐临燕 -专利权人：天津大学
申请日： 2013-10-28 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：一种光束跟踪式原子力显微镜扫描测头，是由光学检测模块和扫描模块构成，扫描模块有：进行水平一维扫描运动的Y向一维扫描机构和固定连接在Y向一维扫描机构上能够进行垂直一维扫描运动的Z向一维扫描机构，Z向一维扫描机构上固定有悬臂梁探针和位于悬臂梁探针上方的非球面透镜，Y向一维扫描机构上固定设置有直角棱镜；光学检测模块有：沿直角棱镜的水平入射光路依次设置的激光器、准直镜、极化分光镜、四分之一波片和第一分束器，其中，第一分束器的垂直分光光路上依次设置有第二分束器、管镜和CCD相机，第二分束器的水平方向接口连接有照明光源，极化分光镜的垂直光路上依次设置有会聚透镜和光电探测器。本发明能够消除误差，进行高速扫描成像。
一种光束跟踪原子显微镜扫描

[实用新型]透射样品喷碳样品台-CN201620066256.7有效
发明人：唐翠;曹国剑;王丽萍 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2016-01-25 - 公布日： 2016-08-31 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：透射样品喷碳样品台，它涉及一种试验器具，以解决现有喷碳方法不能良好的固定试样，致使喷碳不均匀、效果差的问题，以及不能实现多个试样同时喷碳，导致加工覆碳膜试样成本高的问题，它包括圆柱形试样基台和一个圆形压片；圆柱形试样基台上面带有12个半径为1.5mm，深为0.06mm的圆形凹槽，凹槽上分别标有字母A至L，压片安装在圆柱形基台中央，压片与凹槽边缘略有重合，以起到固定样品的作用且不妨碍喷碳；压片与基台间用螺钉紧固连接。
透射样品

[实用新型]一种扫描电子显微镜的样品台-CN201521125182.1有效
发明人：刘强 -专利权人：深圳市美信检测技术股份有限公司
申请日： 2015-12-30 - 公布日： 2016-05-25 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扫描电子显微镜的样品台，包括基台，所述基台的上表面上设置有定位挡块、固定块和压紧螺丝，所述定位挡块和固定块均为长方体，所述定位挡块和固定块间隔设置以形成用于容纳样品的矩形凹槽，所述固定块内设置有与所述压紧螺丝适配的螺纹孔，所述螺纹孔与所述矩形凹槽连通，所述压紧螺丝通过所述螺纹孔将样品固定在所述矩形凹槽内。由此，只需将样品放置在矩形凹槽内，旋紧所述压紧螺丝即可固定样品，操作简单方便，而且，可以固定竖直放置的样品，也可固定表面凹凸不平、不同类型的样品，使用范围广泛。
一种扫描电子显微镜样品

[实用新型]一种在蔡司EVO60扫描电镜上用于叶片检测的装置-CN201521045887.2有效
发明人：熊勇;敖斌;李巍 -专利权人：贵州黎阳航空动力有限公司
申请日： 2015-12-15 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种在蔡司EVO60扫描电镜上用于叶片检测的装置，包括凹槽夹具、宽度垫片、高度垫片；所述凹槽夹具是截面为U形的条状块，凹槽夹具的两侧垂直板上设置有多个定位螺孔；所述凹槽夹具内底部水平放置有高度垫片，垂直放置有宽度垫片；所述宽度垫片、高度垫片和凹槽夹具长度相同，宽度垫片、高度垫片的厚度小于凹槽夹具任意一块板的厚度。本实用新型能有效实现对叶片的无损伤检测，避免对叶片进行切割，从而避免对伪缺陷叶片造成损伤，由此降低生产制造成本；便于操作，工作效率高，检测质量好。
一种蔡司 evo60 扫描电镜用于叶片检测装置

[发明专利]一种基于扫描探针技术的定位系统及其使用方法-CN201511006140.0在审
发明人：马瑞松;郇庆;鲍丽宏;高鸿钧 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2015-12-29 - 公布日： 2016-04-06 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基于扫描探针技术的定位系统，包括：可以在第一扫描范围内三维自由移动的第一基体；安装在所述第一基体上的具有第一安装面的第一压电陶瓷装置，该第一安装面能够在第二扫描范围内相对于所述第一基体做三维自由移动；安装在所述第一安装面上的具有第二安装面的第二压电陶瓷装置，该第二安装面能够在第三扫描范围内相对于所述第一安装面做三维自由移动；以及固定在所述第二安装面上的探针；所述第二扫描范围的量级界于所述第一扫描范围和所述第三扫描范围之间，所述第一压电陶瓷装置的定位精度量级界于第一级定位机构和第二压电陶瓷装置的定位精度量级之间。本发明能够快速地定位所关注纳米结构；能够对纳米结构的移动进行跟踪。
一种基于扫描探针技术定位系统及其使用方法

[发明专利]一种可溯源白光干涉原子力探针自动定位工件方法-CN201510703077.X有效
发明人：卢文龙;庾能国;刘晓军;杨文军;曾春阳;周莉萍 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2015-10-26 - 公布日： 2016-01-13 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种可溯源白光干涉原子力探针自动定位工件方法，该方法包括如下步骤：在纳米级位移平台运动之前记录下激光干涉位移计量系统的初始位移；接着其在垂直方向上快速产生一个适量的位移，在位移发生后通过零级条纹的移动量是否在阈值范围内来判断原子力探针是否定位到工件，而如果纳米级垂直位移平台在到达极限的位移运动时还未定位到工件，记录下其最终位置，并将纳米级垂直位移平台复位，重复上述步骤，直至定位到工件。按照本发明设定的自动定位的方法，不受原子力探针与工件之间的距离限制，同时在定位过程中对位移进行计量，可实现可溯源，而采用零级条纹的移动量来判断探针是否定位到工件具有定位快速和高精度的显著效果。
一种溯源白光干涉原子探针自动定位工件方法

[发明专利]一种基于迟滞模型的扫描探针显微镜扫描控制方法-CN201510320629.9在审
发明人：季宏丽;孙宏君;裘进浩;赵志洲;陈远晟 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2015-06-11 - 公布日： 2015-09-16 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于迟滞模型的扫描探针显微镜扫描控制方法，该方法通过将迟滞逆模型控制应用于SPM的驱动器控制系统中，来补偿驱动器的迟滞；并且通过与PID反馈结合的复合控制，进一步提高定位精度。与传统的位移反馈控制方法相比，最大的优势在于：模型中可以精确地反映迟滞现象的特性，不存在反馈系数过高导致系统失稳的问题。
一种基于迟滞模型扫描探针显微镜控制方法

[发明专利]低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器-CN201310552279.X有效
发明人：王琦;陆轻铀 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2013-11-06 - 公布日： 2014-03-05 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器，涉及扫描探针显微镜的扫描结构，包括XYZ压电扫描管、导轨架、滑杆、弹簧片，XYZ压电扫描管与滑杆共轴并且在一端相互固定，弹簧片将滑杆外壁平行地压于导轨架的导轨上，滑杆的两端皆伸出于导轨架的导轨长度以外。本发明具有结构简单、工作高度稳定、回差极小的优点。利用本发明首次制成了仅使用小尺寸XYZ压电扫描管就能以低电压进行扫描成像的扫描探针显微镜，解决了现有技术不能兼顾这两个有利条件的难题。另外，使用本发明也制成了无需隔音、减振也能出同样高质量原子分辨率图像的扫描探针显微镜。
低回重复扫描探针显微镜独立扫描器

[发明专利]前置放大悬臂及其应用-CN200980128513.8无效
发明人：库马尔·维尔瓦尼;贝德·皮滕格;贝内迪克特·策恩 -专利权人：库马尔·维尔瓦尼;贝德·皮滕格;贝内迪克特·策恩
申请日： 2009-05-26 - 公布日： 2013-12-11 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本发明的方面针对材料的压电响应力分析。向材料上的接触点施加包括第一频率分量的刺激信号，以使得刺激信号致动材料的一部分，从而作为压电效应的结果而经历运动。谐振设备耦合至接触点，以使得谐振设备响应于材料的运动而经历在第一频率分量处的谐振运动，并且基本上不受接触点处的材料的机械属性的影响，其中，该谐振运动具有比材料的运动的位移更大的位移。检测并处理谐振设备的谐振运动，从而产生表示接触点处的材料的压电响应的测量。
前置放大悬臂及其应用

[实用新型]基于探测具有纳米级表面微结构的参考模型的测量系统-CN201120320449.8有效
发明人：皮建国;胡贞;王作斌;宋正勋;翁占坤;刘洋;姚先连 -专利权人：长春理工大学
申请日： 2011-08-30 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：一种基于探测具有纳米级表面微结构的参考模型的测量系统，实现纳米加工与制造中运动部件的精确定位。包括具有纳米级表面微结构的参考模型、测量探头、反馈电路、压电陶瓷管、压电陶瓷管Z向电压处理模块和结果显示模块。其特征是系统工作时，扫描探针对参考模型进行扫描，探头利用光杠杆原理检测到探针振幅的变化后，通过反馈电路发出反馈信号，使承载参考模型的压电陶瓷管的Z向电压随之变化，以保证探针振幅的恒定，不断变化的压电陶瓷管Z向电压反映了参考模型的形貌，利用压电陶瓷管Z向电压处理模块对其进行处理，并将测量结果通过结果显示模块显示出来，由于利用到了内插技术，可得到更高分辨率和精度的测量结果，可广泛应用于纳米级、甚至亚纳米级的测量及定位。
基于探测具有纳米表面微结构参考模型测量系统

[发明专利]一种低碳高锰钢连铸小方坯枝晶偏析的分析方法-CN201310219402.6无效
发明人：佟倩;孙齐松;陈涛;严春莲;王立峰;鞠新华;刘珂;马跃;罗志俊;吕迺冰 -专利权人：首钢总公司
申请日： 2013-06-04 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：一种低碳高锰钢连铸小方坯枝晶偏析的分析方法，属于连铸坯的成分分析技术领域。工艺步骤为：将铸坯待分析位置加工成长度为30～40mm、宽度为15～20mm、厚度为10～20mm的试样，待分析面采用金相方法进行抛光；确定Mn元素为分析对象，应用电子探针对单个铸坯试样进行扫描分析；调整电子探针参数，设定加速电压10～40KV, 束流300～1000nA，步长为1～2μm，扫描面积为3×2.2mm，采集时间为2～3h，每个位置分别选取多个视场进行扫描，得到Mn元素的成分分布图，显示低碳高锰钢连铸坯的枝晶形貌，确定任意点的Mn含量，测量一次枝晶间距。优点在于，操作简单，结果稳定，数据可靠。
一种高锰钢连铸小方坯枝晶偏析分析方法

[发明专利]一种嵌套双压电扫描管共同扫描的复合压电扫描管-CN201210055330.1无效
发明人：侯玉斌;陆轻铀 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2012-02-28 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本发明嵌套双压电扫描管共同扫描的复合压电扫描管，包括两个压电扫描管，其特征是所述两压电扫描管中的一个将另一个共轴地套于其内，并且在两头它们相互固定，内压电扫描管的四个外电极正对着外压电扫描管的四个外电极，内外两压电扫描管在它们的XYZ三个定位方向上都以力学并联电学也并联的方式连接，即：同一形变信号驱动内外两压电扫描管都沿相同方向形变。本发明使得压电扫描管的有效壁厚和刚性大大增强，固有频率提高，不易受外振动和噪声等的干扰而影响成像质量，同时其推力、负载能力和扫描速度也得到提高。
一种嵌套压电扫描共同复合

[发明专利]原子力显微镜探针扩展作业方法-CN201110452683.0无效
发明人：刘志华;董再励 -专利权人：中国科学院沈阳自动化研究所
申请日： 2011-12-29 - 公布日： 2013-07-03 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于原子力显微镜的探针扩展作业方法。该方法以操作对象拓扑结构、操作的起始点为依据，判别任务的明确程度，并根据明确程度决策任务采用主从操作模式或扫描操作模式。在同一纳米操作系统的硬件构架下，通过修改软件算法，在主控计算机中引入规划层，在原子力显微镜控制器中引入执行层，并利用预编程的探针运动规划方法，实现探针的扫描操作模式。在主从操作模式下，原子力显微镜控制器依据探针作用力反馈和局部扫描图像判断操作状态，操作者可以根据科研与加工作业需要进行人机交互式纳米操作，从而可以实现具有传感器信息反馈与可视化图形辅助的纳米作业。该系统采用多模式工作方式，充分利用了系统的软硬件资源。丰富了纳米操作系统的功能，提高了纳米作业的效率。实现方法简单，具有很强的通用性。
原子显微镜探针扩展作业方法

[发明专利]面向细胞机械特性检测的AFM探针快速定位方法-CN201110373147.1有效
发明人：王越超;刘连庆;王智博;董再励;袁帅;张常麟 -专利权人：中国科学院沈阳自动化研究所
申请日： 2011-11-21 - 公布日： 2013-05-29 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本发明涉及纳米操作技术领域，更具体是一种面向细胞机械特性检测的AFM探针快速定位方法。本方法通过在细胞边缘图像中实施霍夫变换检测圆形的方式实现细胞的识别，同时获得各个待测细胞的半径以及中心位置信息，并计算出各个待测细胞与探针悬臂梁在工作空间内的实际距离；通过对待测细胞的快速局部扫描，确定探针针尖与待测细胞的相对位置关系；依次实现AFM针尖对各个待测细胞测量点的快速定位，完成各个细胞机械特性的测量。本发明利用了视觉图像处理技术标定待测细胞和探针悬臂梁在工作空间的相对位置关系，可实现探针运动到待测细胞的编程控制，提高了探针操作效率；还利用了快速局部扫描方法，实现了AFM针尖和细胞相对位置的精确标定，提高了细胞机械特性测量的准确性。
面向细胞机械特性检测 afm 探针快速定位方法