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[实用新型]一种镀膜机用夹具-CN202320698450.7有效
发明人：赖人榕;方翼翔;何汉青;林立塘;黄劲松 -专利权人：晋康精密机械（上海）有限公司
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜机用夹具，包括转杆和夹具，转杆竖直设置，且转杆的外圆周面上沿竖直方向固定有多块滑块，夹具包括支臂、滑框和夹架，其中支臂水平设置，且支臂的一端竖直固定有滑框，且滑框滑动插接组装在滑块上，支臂的另一端竖直向下设置有夹架，且夹架固定在支臂的顶端。本实用新型克服现有镀膜时每种形状和规格的镀膜基材均需要使用与之对应的特定的夹具来夹持，不同大小类型的夹具需要设置不同的夹具，去夹持相应的基材，不但夹具的适用性较差，同时也增加了企业的成本的问题。
一种镀膜夹具

[实用新型]一种多工位刀具真空纳米镀膜装置-CN202320937967.7有效
发明人：周树法 -专利权人：昆山立特纳米电子科技有限公司
申请日： 2023-04-24 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种多工位刀具真空纳米镀膜装置，包括镀膜机壳体，所述镀膜机壳体内侧壁的底部固定有底板，所述镀膜机壳体的内部设有旋转机构，所述旋转机构上设有调节机构，所述调节机构上设有挂杆；所述旋转机构包括固定于镀膜机壳体内壁底部右侧的安装座，所述安装座的顶部固定有电机，所述电机的输出轴固定有主动锥形齿轮，所述旋转机构还包括转动连接于镀膜机壳体内壁底部的固定杆。该多工位刀具真空纳米镀膜装置通过旋转机构进行旋转，使得刀具在接受镀膜时能够保证其表面厚度均匀性，提高刀具合格率，降低生产成本，同时通过调节机构可实现对于不同长度刀具完成镀膜，也提高工作效率，节省人力物力。
一种多工位刀具真空纳米镀膜装置

[发明专利]表面处理装置及表面处理方法-CN202180091039.7在审
发明人：深田和宏;福山聪;小久保光典;难波武志 -专利权人：芝浦机械株式会社
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：表面处理装置(10)具备：被处理件载置部(50)(载置机构)，载置被处理件(W)；腔室(20)(收容单元)，收容载置于被处理件载置部的被处理件；等离子生成装置(21)(表面处理机构)、溅镀装置(22)(表面处理机构)，对收容于腔室的被处理件进行至少1种表面处理；被处理件输送部(40)(输送机构)，将载置于被处理件载置部的被处理件沿着等离子生成装置及溅镀装置输送；以及C轴旋转马达(55)及B轴旋转马达(57)(第1调整机构)，根据被处理件输送部的输送位置和等离子生成装置或溅镀装置的位置，调整被处理件的朝向。
表面处理装置方法

[发明专利]半导体工艺设备及其承载装置-CN202111368801.X有效
发明人：武树波;郭冰亮;马迎功;赵晨光;杨健 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-11-18 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种半导体工设备及其承载装置。该承载装置包括：基座、承载板及至少一组测温结构，每组测温结构均包括两个测温机构；其中，基座层叠设置于与承载板上方，用于承载晶圆；每个测温机构均包括测温组件及支撑组件，测温组件的顶端与基座连接，用于检测基座的温度信号；支撑组件顶端与测温组件底端顶抵，支撑组件的底端与承载板连接，用于传输温度信号。本申请实施例实现了基座与承载板非硬连接的情况下对基座进行测温，避免承载装置突然运动(尤其是下降时)或有外界振动干扰时检测结果出现异常，从而保证了本申请实施例的稳定性。
半导体工艺设备及其承载装置

[发明专利]可调平基座及半导体工艺设备-CN202210885299.8有效
发明人：张世豪;李冰;赵康宁 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-07-26 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本申请公开了一种可调平基座及半导体工艺设备，涉及半导体装备领域。一种可调平基座包括：基座本体、基座轴、安装架组件、安装座组件和调节组件；基座本体连接于基座轴的一端；安装架组件设有分别用于供基座轴穿设的第一安装孔和第二安装孔；安装座组件用于将安装架组件安装至工艺腔室，安装座组件设有安装通道，基座轴穿设于安装通道内，且两者之间存有间隙；调节组件包括调节衬套和调节件，调节衬设置于第一安装孔与基座轴之间，且调节衬套与第一安装孔的孔壁之间存有预设间隙，调节件带动调节衬套在第一安装孔内运动。一种半导体工艺设备，包括上述可调平基座。本申请能够解决磁控溅射镀膜工艺腔室存在的无法调节基座水平度的问题。
可调基座半导体工艺设备

[发明专利]遮挡压盘组件、半导体加工装置和方法-CN201810085194.8有效
发明人：李冬冬;郭浩;赵梦欣;赵晋荣 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-01-29 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本公开提供一种遮挡压盘组件、半导体加工装置和方法。该遮挡压盘组件包括：遮挡压盘以及移动部件，遮挡压盘面向基座的一侧包括边缘部；移动部件用于使遮挡压盘在第一位置和第二位置之间移动；其中，在第一位置时，边缘部与基座承载的待加工件的边缘区域接触，且遮挡压盘在基座的支撑面上的投影完全覆盖待加工件在基座的支撑面上的投影；在第二位置时，在垂直于基座的支撑面的方向上，遮挡压盘与基座的支撑面不重叠。从而可以使晶片表面全部沉积上薄膜，又可以通入背吹气体对晶片进行有效冷却，提高产能。
遮挡组件半导体加工装置方法

[实用新型]一种用于镀膜机的工艺腔可变笼架结构及镀膜机-CN202321034456.0有效
发明人：李龙哲;沈聚丰;夏伟;朱显君;李花;周征华;马玉升 -专利权人：上海哈呐技术装备有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于镀膜机的工艺腔可变笼架结构及镀膜机，所述可变笼架结构包括：转盘、驱动装置、固定模组及顶层隔板，所述转盘的数量为两个且两个所述转盘相互平行；所述驱动装置的驱动轴分别穿过两个所述转盘并将两者固定连接，所述驱动装置驱动所述驱动轴时，所述驱动轴带动两个所述转盘同步转动；所述固定模组的数量为两套，两套所述固定模组分别可拆卸安装于两个所述转盘上，待镀膜产品或者工装板两端分别设置在两个所述转盘的所述固定模组上；所述顶层隔板可拆卸设置于至少一个所述转盘一侧，且设置在所述转盘上的所述顶层隔板的延伸方向远离另一个所述转盘，能够针对不同种类及形状的待镀膜产品的固定方案做出调整，实用性很强。
一种用于镀膜工艺可变结构

[发明专利]一种大口径长条形反射镜镀膜装置-CN202310980354.6在审
发明人：张德福;徐伟;李宗轩;李清雅;李小冬 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2023-08-07 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：一种大口径长条形反射镜镀膜装置，涉及空间遥感技术领域，该镀膜装置包括镀膜机组件、反射镜组件和镀膜工装组件，镀膜机组件由箱体框架、滑轨、连接托板以及喷枪组成，反射镜组件由反射镜和安装基板组成，镀膜工装组件由承力板、一对第一支撑脚、第二支撑脚以及一对锁紧螺栓组成。反射镜组件与镀膜工装组件之间采用三点支撑连接，进而可通过该三点支撑连接方式调整反射镜组件中的反射镜倾斜角度，从而使反射镜镜面轮廓接近平行于箱体框架底部，然后利用镀膜机组件中的喷枪将气体状膜层溅射到反射镜镜面上完成镀膜，可保证保证所镀膜层的整体均匀性和稳定性。本发明不需要重新退膜再镀膜，缩短了反射镜的加工周期，提高了加工效率。
一种口径条形反射镀膜装置

[发明专利]一种真空镀膜设备-CN202310815364.4在审
发明人：周锋 -专利权人：兆默真空设备（上海）有限公司
申请日： 2023-07-04 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明属于真空镀膜领域，具体的说是一种真空镀膜设备，包括真空炉本体，所述真空炉本体一侧外壁转动连接有密封门，所述真空炉本体内部转动连接有转盘，所述转盘顶部卡接有连接柱，所述连接柱外壁固定连接有多组连接块，所述连接块远离连接柱的一侧卡接有连接杆，所述连接杆靠近连接块的一端设置有卡接组件，所述卡接组件用于安装连接杆，所述连接杆顶部滑动安装有多组安装盘，通过连接杆和安装盘的设置，可以对不同形状、可挂装与无法挂装的镀膜工件进行安装，不需要针对不同的镀膜工件设置不同的镀膜设备，从而减少生产的成本。
一种真空镀膜设备

[发明专利]工件托架、薄膜沉积腔体、薄膜沉积方法-CN202010920153.3有效
发明人：朱玄之;郑文豪;陈彦羽;戴逸明 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2020-09-04 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本揭露提供一种能够使一工件支撑表面倾斜的灵活工件托架和使用上述工作托架的薄膜沉积腔体及薄膜沉积方法。工件托架包括安装于工件支撑表面上的一加热器。加热器包括多个加热源。加热器中的多个加热源允许针对工件的不同区将工件加热至不同温度。通过使用工件托架的可调谐加热特征及倾斜特征，本揭露可减小或消除相关技术中相关工件托架的遮挡效应问题。
工件托架薄膜沉积方法

[发明专利]一种适用于异形曲面工件的多工位旋转工件台-CN202110135993.3有效
发明人：佘鹏程;龚俊;张双景;范江华;罗超 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2021-02-01 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于异形曲面工件的多工位旋转工件台，包括公转转盘、与公转转盘相连的转轴组件、以及与转轴组件相连的驱动机构，所述公转转盘上方沿圆周方向设有多个安装座，所述安装座上设有用于带动工件旋转的自转转轴，所述公转转盘下方设有旋转驱动件，所述旋转驱动件通过一万向软轴与所述自转转轴相连。本发明具有可减少工件装载抽真空的时间，避免电机被镀膜、烘烤导致故障等优点。
一种适用于异形曲面工件多工位旋转

[实用新型]一种翻转小车-CN202321011809.5有效
发明人：肖飞;张博 -专利权人：成都中科德联真空科技有限责任公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本申请公开了一种翻转小车，一种翻转小车，包括放置在地面的基座、滑动支撑架和驱动支撑架，滑动支撑架设置在基座的一端，驱动支撑架安装在基座的另一端；滑动支撑架和驱动支撑架中间转动安装有基片。基座包括骨架、滑轨和多个垫片，滑轨安装在骨架的顶端，多个垫片安装在骨架的底端。滑动支撑架底端安装有滑轮，滑轮滚动连接在滑轨上；滑动支撑架底端还安装有用于防止滑轮脱落的限位板。滑动支撑架顶端安装有第一基片夹具，第一基片夹具上设置有第一卡销；第一基片夹具一侧安装有第一转动轴，第一转动轴远离第一基片夹具一侧安装有第一固定片，第一固定片固定连接在基片上。本申请操作安全、调节方便和等优点。
一种翻转小车

[实用新型]一种用于磁控溅射镀膜的多组件行星齿轮模块化结构-CN202321381637.0有效
发明人：蒋成燕;贾金龙;冯毅 -专利权人：兰州工业学院
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开一种用于磁控溅射镀膜的多组件行星齿轮模块化结构，包括但不仅限于一套固定结构组件、三套主动旋转结构组件和三套从动旋转结构组件三部分，装置关键传动部位均为齿轮结构相互啮合，结构简单稳定性高，因此增加了镀膜装置自身的可靠性和稳定性；装置采用的齿轮结构转速高度可控，可实现轴类零件表面镀膜的均匀性高度可控；装置各个部件采用模块化设计，可根据实际需要便捷的增加或减少主动旋转结构组件和从动旋转结构组件，从而提高了轴类零件镀膜处理的生产效率和镀膜工装的利用率。
一种用于磁控溅射镀膜组件行星齿轮模块化结构

[发明专利]一种具备检测性能的光学镜片加工用镀膜设备-CN202310665387.1在审
发明人：唐爱国;熊运来;蒲长江;罗德正;张建朋;曾云清 -专利权人：江西宏信光学科技有限公司
申请日： 2023-06-07 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种具备检测性能的光学镜片加工用镀膜设备，涉及光学镜片镀膜技术领域，包括用于对光学镜片进行镀膜的镀膜组件，镀膜组件上设置有多组镀膜支架，不间断对光学镜片进行镀膜，同时镀膜组件自动对光学镜片两面完成镀膜，无需人工调整光学镜片位置，镀膜组件侧边设置有对镀膜完成的光学镜片进行检测的检测组件，检测组件对光学镜片的透光性进行检测，本发明自动对光学镜片两面进行镀膜，同时对光学镜片进行透光性检测，将不符合标准的镜片筛选出来。
一种具备检测性能光学镜片工用镀膜设备

[发明专利]一种电极延长杆及其应用方法-CN202310969441.1在审
发明人：梁素霞;邹盛;董源;张文君;于天宇;苏杰 -专利权人：杭州众能光电科技有限公司;杭州电子科技大学
申请日： 2023-08-03 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种电极延长杆及其应用方法，其中电极延长杆包括：电极棒，所述电极棒用于带动样品载体沿电极棒轴向运动；电极底座，所述电极底座设有两个安装孔，所述安装孔用于装配电极棒；环形安装片，所述环形安装片设有两个，且分别固定安装于两根电极棒，所述环形安装片设有环形导槽；样品载体，所述样品载体两端分别安装于两个环形安装片的环形导槽中，所述样品载体的两端可沿环形导槽滑动；其中所述电极底座密封安装于真空设备的底部。可以快速地调节蒸发源到基片的垂直距离，也可以在水平面上灵活地调节蒸发源相对基片的蒸发位点和角度。
一种电极延长及其应用方法