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[实用新型]一种新型的用于真空翻转镀膜的同步工件转架-CN202320668039.5有效
发明人：李宾宾;鄢强;宋慧瑾 -专利权人：成都大学
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本专利具体为一种新型的用于真空翻转镀膜的同步工件转架，包括：传动轴、圆周轨道、行星架、旋转架、外壳体。所述工件转架的外壳体中设置有圆周轨道，且圆周轨道设置成偏心圆结构。所述工件转架由传动轴驱动，传动轴与圆周轨道之间安装有圆柱滚子轴承。传动轴上同轴心固定有行星架，由传动轴带动行星架转动。所述行星架上设置有多个旋转架，旋转架上的载物架之间两两组合，由连接扣进行连接，增加相邻载物架旋转过程中的协调一致性。所述旋转架中，载物架和联轴换向扣一端连接并设置为一整体，且联轴换向扣的另一端连接有滚轮，用于与圆周轨道的凹槽配合。工作过程中由行星架推动旋转架在圆周轨道上转动来实现翻转换面。
一种新型用于真空翻转镀膜同步工件

[实用新型]一种镀膜设备用加热盘-CN202321664847.0有效
发明人：陈子杰;陈日亮;郑秀梅 -专利权人：华思光电（福建）有限公司
申请日： 2023-06-28 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开一种镀膜设备用加热盘，包括盘体和支撑柱，所述支撑柱固定连接于所述盘体的底部，所述盘体设置通孔槽，所述通孔槽呈圆弧状对称分布，所述通孔槽的内部为加热区，所述加热区的顶面上连接陶瓷支柱，所述通孔槽的外部顶面上连接陶瓷限位柱，所述盘体的下方设置与所述支撑柱相配合的转动盘，所述转动盘的顶部向上延伸出滑动臂，所述滑动臂顶部连接接触层，所述滑动臂穿过所述通孔槽，且所述滑动臂的外侧壁与所述通孔槽的内侧壁相配合。本实用新型为便于放置和取出被镀膜物体的镀膜设备用加热盘。
一种镀膜备用加热

[发明专利]一种真空镀膜挂载结构及方法-CN202310863563.2在审
发明人：万子剑云;李吉庆;徐少宁 -专利权人：合生涂层科技（苏州）有限公司
申请日： 2023-07-14 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明涉及真空镀膜技术领域，涉及一种真空镀膜挂载结构及方法。本发明的支撑杆对筒状工件进行支撑使得该筒状工件上的通孔呈竖直方向设置，使得筒状工件的通孔以及其上的通孔均为上下方向设置，可完全避免真空镀膜时产生的离子灰沉积，有效避免传统挂架挂装的方式导致筒状工件横向放置，其朝上的顶面面积大更加容易积灰的问题；同时横向设置的孔位的落灰会在孔位的底面上进行沉积，采用呈竖直方向设置，不仅减小了工件朝上的顶面面积小，同时原本沉积在孔位的底面的离子灰会从通孔或者孔位穿下去，不会造成孔位沉积，有效保证真空镀膜质量。
一种真空镀膜结构方法

[发明专利]一种气相沉积设备-CN202311182445.1在审
发明人：杨林;潘钱森;周云;宋维聪 -专利权人：上海陛通半导体能源科技股份有限公司
申请日： 2023-09-14 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种气相沉积设备，该气相沉积设备包括：加热装置以及边缘组件；加热装置包括加热面，加热面用于对放置于加热面一侧的晶圆进行加热；加热面包括边缘分部；边缘组件包括第一边缘结构，第一边缘结构分别与边缘分部以及晶圆接触；第一边缘结构呈环形连续设置，且第一边缘结构至少覆盖边缘分部。采用上述技术手段，通过设置边缘组件能够实现晶圆与边缘分部之间无缝隙，如此在溅射镀膜时不会在加热装置的边缘位置沉积薄膜，进而能够保证加热装置对晶圆进行均匀加热，且延长了加热装置的使用寿命。
一种沉积设备

[发明专利]基板支撑件、处理基板的方法、以及处理系统-CN202180094198.2在审
发明人：西蒙·刘;托比亚斯·伯格曼;梅兰•贝德亚特;李明宗;蒋弘晖 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-02-19 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：描述了一种用于在真空处理系统中支撑基板的基板支撑件。所述基板支撑件包括：基板支撑主体，所述基板支撑主体具有用于支撑所述基板的前侧和与所述前侧相对的背侧；吸盘组件，所述吸盘组件在所述基板支撑主体中或在所述基板支撑主体的所述背侧处；多个第一开口，所述多个第一开口在所述前侧中，所述多个第一开口与气体导管流体连通；多个第二开口，所述多个第二开口穿过所述基板支撑主体，被配置用于在装载或卸载期间支撑所述基板的多个升降销；多个第一突出部，所述多个第一突出部在所述前侧上，每个第一突出部至少部分地包围所述多个第二开口中的第二开口；以及多个第二突出部，所述多个第二突出部在所述前侧上，被配置用于温度测量。
支撑处理方法以及系统

[发明专利]应用于真空腔内夹持机构的定位组件及定位方法-CN202210353168.5有效
发明人：禅明;黄善发;李靖;吴金马;王金;臧宇 -专利权人：盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明涉及一种应用于真空腔内夹持机构的定位组件及定位方法，其中，定位组件包括：设于两个机械臂之间、包括机械臂固定部和机械臂抵触部的限位块，其中，所述机械臂固定部与一所述机械臂中的电机控制端固定连接，所述机械臂抵触部在两个机械臂的电机控制端靠近时，与另一所述机械臂中的电机控制端相抵触，形成限位配合；设于所述夹持机构下方可检测到托盘的位置的光电感应器；分别与所述光电感应器及用于控制两个所述机械臂旋转位置的电机相连接的控制模块。通过设置限位块和光电感应器，使得应用于真空腔内夹持机构的定位组件及定位方法具备易于实施、使用方便、准确性高、适用范围广泛的特点。
应用于空腔夹持机构定位组件方法

[发明专利]一种风镜自动旋转镀膜伞架-CN201810514299.0有效
发明人：黎军成 -专利权人：无锡清鑫光学技术有限公司
申请日： 2018-05-25 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明涉及电子产品技术领域，且公开了一种风镜自动旋转镀膜伞架，包括伞架体，伞架体的外侧固定连接有外圈，外圈的内侧固定连接有连接杆，连接杆远离外圈的一端固定连接有第一轴承，第一轴承的底部固定连接有支杆，支杆的底部固定连接有齿轮盘，伞架体远离外圈的一侧固定连接有共轭环，共轭环通过固定螺栓固定连接有连接件。该风镜镀膜伞用的伞架，通过设置第一轴承和伞架体，将齿轮盘固定安装在设备上，将待镀膜工件固定在伞架体上，利用第一轴承带动连接杆和伞架体整体进行三百六十度旋转，达到对待镀膜工件进行均匀的镀膜，避免出现镀膜不均的现象，从而保证了产品加工的质量，大大提高了该风镜镀膜伞用的伞架的实用性。
一种风镜自动旋转镀膜伞架

[发明专利]一种用于车灯镀膜的工装及制作方法-CN202311082625.2有效
发明人：史明祥;方敏;薛大伟 -专利权人：常州星宇车灯股份有限公司
申请日： 2023-08-28 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于车灯镀膜的工装及制作方法，工装包括上模框架、工装上模、连接板、锁紧装置、底模、框架、横梁、旋转装置；所述底模包括底模支撑限位板、围板和底板；所述底模支撑限位板与底板紧固连接，所述围板安装在底板上方，与底板紧固连接；所述底模通过横梁与框架连接，工装上模通过连接板以及螺丝与上模框架连接，上模框架通过旋转装置与框架连接，采用连接螺丝与螺母锁附的方式将工装所有零部件组装成一个整体工装；本发明工装制作数字化设计，数控加工，可实现镀膜零件首次镀膜使用，保正零件镀膜外观符合要求。
一种用于车灯镀膜工装制作方法

[实用新型]一种便于拆装的镀膜伞-CN202320805045.0有效
发明人：张河 -专利权人：南阳致美光电有限公司
申请日： 2023-04-12 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型属于镀膜伞技术领域，尤其为一种便于拆装的镀膜伞，针对现有的镀膜伞通常是一体设置，无法进行拆装，导致存储运输较为不便的问题，现提出如下方案，其包括固定板和三个镀膜伞构件，所述镀膜伞构件包括顶环板、底环板和膜板，所述固定板的外侧开设有三个弧形槽，所述镀膜伞构件的一侧固定安装有弧形板，所述弧形板滑动安装于对应的弧形槽内，所述固定板的顶部开设有圆槽，所述圆槽内竖直滑动安装有圆板，所述圆板的底部固定安装有多个卡板，所述弧形板的顶部开设有竖向槽。本实用新型结构设计合理，通过固定板上的限位槽和弧形板的配合实现固定板与三个镀膜伞构件的连接，实现对镀膜伞的快速拆装，可靠性高。
一种便于拆装镀膜

[实用新型]一种镀膜机工件旋转机构-CN202321027290.X有效
发明人：赵家坤;丰奕红;赵军 -专利权人：浙江春宇包装材料有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜机技术领域，尤其是一种镀膜机工件旋转机构，包括底座、液压缸和升降箱，所述升降箱内部设有夹持装置，所述夹持装置包括旋转箱和第一电机，所述旋转箱内表面与第二液压缸固定相连，所述第二液压缸的伸缩端与第一齿条的表面相抵紧，该镀膜机工件旋转机构，通过夹持装置和升降箱的配合，第一电机带动第三齿轮转动，使两侧的夹持杆转动，使两侧的夹持杆可以固定工件的边缘，可以使与工件接触的面积更小，第二电机带动第一齿轮转动可以带动旋转箱转动，对工件表面进行镀膜即可，通过夹持装置可以对工件表面边缘进行夹持，固定工件的位置，可以使工件可以被镀膜的面积增大，使对工件表面镀膜的效率增加。
一种镀膜机工旋转机构

[实用新型]一种清洗PVD一体化夹具-CN202321201697.X有效
发明人：吕兆辉;赵新亮;黄杰 -专利权人：江苏科林泰电子有限公司
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：一种清洗PVD一体化夹具，包括：T支撑筒，所述T支撑筒内侧活动放置可旋转的夹座，所述夹座一端固定连接放置筒，所述放置筒内置伸缩气缸，所述伸缩气缸的活塞杆位于夹座水平段内侧，且伸缩气缸的活塞杆固定连接适配在夹座水平段内侧的移动杆，所述移动杆位于夹座弧形槽内侧中部通过螺栓固定夹设连接柱，所述夹座的弧形槽内两侧均铰接夹块，所述夹座的弧形槽边缘设有L型卡槽，所述L型卡槽适配待清洗、覆膜的零部件，所述夹块一端位于连接柱的通孔内，另一端位于有L型卡槽处。其结构简单，夹紧待清洗、覆膜的零部件牢固，且自动化程度高，使得待清洗、覆膜的零部件完全暴露在外面，清洗、镀膜更完全。
一种清洗 pvd 一体化夹具

[实用新型]一种具有温度调节功能的蒸镀样品架-CN202321271960.2有效
发明人：王凡;胡宇航;李伟;周文彬 -专利权人：昆山晟成光电科技有限公司;苏州晟成光伏设备有限公司
申请日： 2023-05-24 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型属于蒸镀技术领域，涉及一种具有温度调节功能的蒸镀样品架，包括夹持组件、冷板组件、第一驱动杆和第二驱动杆，所述冷板组件包括冷板以及设于所述冷板上表面中部的密封连接头，所述冷板内设有回环往复的冷却液回路，所述冷却液回路的进出口均位于所述密封连接头的下投影范围内，所述第一驱动杆的下端穿过所述密封连接头与所述冷板固定，所述第一驱动杆内设有分别与所述冷却液回路的进出口对接的两个冷却液输送管。本磁性样品架冷却液通过第一驱动杆内部的冷却液输送管进入冷板，通过调节冷板相对样件的远近精确控制散热速度，保证蒸镀时的镀膜质量，密封位置设置于密封连接头处，避免渗漏。
一种具有温度调节功能样品

[实用新型]一种汽车雾灯灯罩生产镀膜装置-CN202321044318.0有效
发明人：顾志成;王雅;孙正作;朱进进;陈华 -专利权人：丹阳市天舜车辆部件有限公司
申请日： 2023-05-05 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及车灯罩镀膜技术领域，且公开了一种汽车雾灯灯罩生产镀膜装置，所述镀膜机构包括镀膜箱，所述镀膜箱的内部连接有安装盘，所述安装盘的内部均匀连接有安装块，所述安装块外壁的两侧均连接有连接板，所述安装盘的内部均匀设置有安装孔，两侧所述连接板的内部均连接有螺栓，本汽车雾灯灯罩生产镀膜装置通过转动齿轮即可控制齿牙板向外移动，从而使齿牙板脱离插槽的内部，从而能够自由调节安装套的高度位置，反之即可对安装套进行固定安装，通过根据不同规格大小的车灯罩调节安装套在安装杆的高度位置，从而能够供多个车灯罩同时镀膜，既能提高镀膜箱内部的空间利用率也能提高镀膜产能。
一种汽车雾灯灯罩生产镀膜装置

[实用新型]板式加热器以及加热腔-CN202320969400.8有效
发明人：徐升东;徐和平 -专利权人：理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型提供板式加热器以及加热腔。所述板式加热器包括支架、依次安装在所述支架上的加热件以及辐射板，所述辐射板用于将所述加热件产生的热量辐射出去，所述辐射板包括多个辐射单元，任意两个相邻辐射单元彼此重叠，相邻辐射单元的相邻侧面在重叠区域中具有预定间隙。本实用新型能提高对载板中的硅片加热的均匀性，并能提高工艺的均匀性以及太阳能电池的转换效率。
板式加热器以及加热

[实用新型]一种光学镜片镀膜用镀膜板组件-CN202321077581.X有效
发明人：李小锋 -专利权人：瑞安市视尚光学眼镜科技有限公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光学镜片镀膜用镀膜板组件，包括镀膜板和外套板，所述镀膜板外周设置在外套板内部，所述镀膜板外周设置有多个限位槽，所述镀膜板中部设置有多个固定机构；所述固定机构包括卡槽、隐藏槽、弹簧和卡块，所述卡槽开设在镀膜板中部，所述隐藏槽开设在卡槽外周。本实用新型所述的一种光学镜片镀膜用镀膜板组件，将镜片放在导引槽内部，然后向下按压镜片，使得镜片边缘挤压卡块，松手后，通过弹簧顶住卡块，从而可以很好的固定住镜片，需要拆卸镜片时，将镀膜板放在外套板内部，向下按压镀膜板，使得顶柱伸入固定机构内部，从而将镜片向上顶出，使得镜片脱离卡块的限制，可以方便的取下镜片，安装拆卸镜片十分方便。
一种光学镜片镀膜组件