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- [实用新型]一种光学镜片旋转式镀膜装置-CN202223495390.3有效
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金小平
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江苏天宁光子科技有限公司
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2022-12-27
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2023-06-09
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C23C14/50
- 本实用新型公开一种光学镜片旋转式镀膜装置，包括竖向放置的镀膜筒体，该镀膜筒体的底部设置有一密封底座，密封底座内安装有一旋转电机，该旋转电机的转轴伸入到镀膜筒体内且对应安装有一旋转圆盘，该旋转圆盘的中心位置处设置有一向上凸起的限位筒；密封底座的两侧还安装有镀膜蒸汽进气管，镀膜蒸汽进气管连接安装有镀膜蒸汽送气泵。本装置镀膜筒体的内部是放置有竖板的，竖板上的工位槽内嵌装有多个光学镜片，竖板的下端设置有限位杆，将限位杆插进旋转圆盘上的限位筒中，这样设置后，竖板是可以直接竖向放置在镀膜筒体内的，并且可以在旋转圆盘的带动下实现旋转，同时下端进入镀膜蒸汽对工位槽中的光学镜片进行镀膜，实现旋转镀膜。
- 一种光学镜片旋转镀膜装置
- [实用新型]异形镜真空镀膜翻转工装-CN202223214965.X有效
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宋杉
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武汉特光科技有限公司
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2022-11-28
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2023-06-09
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C23C14/50
- 本实用新型公开了一种异形镜真空镀膜翻转工装，其在底板的上表面固定连接有两个侧板，底板的上方设置有支撑板，底板的上表面安装有四个电动伸缩杆，四个电动伸缩杆的伸缩端均与支撑板的底面固定连接，支撑板的上方设置有固定机构，固定机构包括矩形框。本实用新型通过设置翻转机构，在完成异形镜其中一面的镀膜后，可使异形镜在真空镀膜机的内部自动翻转，从而不但能够提高异形镜的镀膜效率，而且能够有效保证异形镜表面镀膜的洁净度，通过设置弹性橡胶垫，在对异形镜进行夹持固定时不会对异形镜的外表面造成损伤。
- 异形真空镀膜翻转工装
- [发明专利]一种镀膜夹具的拨片装置-CN202310194258.9在审
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吴伟亮;汪毅;邓永琪;梁海洋;张龙
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苏州星蓝纳米技术有限公司
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2023-03-03
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2023-06-06
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C23C14/50
- 为了解决现有镀膜操作复杂耗费时间、镀膜精度不高的问题，本发明提出一种镀膜夹具的拨片装置，其包括：多个套筒、连接盘、托盘，连接盘与托盘相平行，连接盘的外边缘设有多个通孔，托盘的上端面外边缘设有多个插孔，一个通孔对应一个插孔，所述套筒的本体穿过通孔与连接盘连接，所述套筒的底部设有转轴，所述转轴与插孔活动连接，所述托盘下方可转动连接有一旋转板，旋转板连接的一端设有一拨片，拨片的自由端向套筒方向弯折并与套筒抵接，当托盘转动时，套筒随托盘一起转动，拨片保持不动，从而拨片带动套筒产生自转，无需对拨片与夹具进行安装和精准配位，操作简单，精度高。
- 一种镀膜夹具装置
- [实用新型]一种具有定位功能的镀膜夹具-CN202223438708.4有效
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朱庆瑞
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吉林省卓瑞斯达光电技术有限公司
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2022-12-21
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2023-06-06
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C23C14/50
- 本实用新型涉及镀膜领域，且公开了一种具有定位功能的镀膜夹具，包括支撑块，所述支撑块的内壁固定连接有复位弹簧，所述复位弹簧的一侧固定连接有定位夹块，所述支撑块的底壁固定连接有吸持块，所述支撑块的底壁活动连接有调节螺杆，所述调节螺杆的底部固定连接有调节把手。该具有定位功能的镀膜夹具，有利于调节螺杆转动时带动活动块滑动，使得活动块带动吸持块内部的空气密度缩小，从而使得通过气压对球面镜的一侧进行吸住，提高了整体夹具的牢固性，避免了意外脱落的问题，同时方便了定位夹块受到挤压后带动复位弹簧进行压缩，从而通过复位弹簧的弹性，使得定位夹块复位滑动后对球面镜进行夹紧定位，提高了操作的便捷性。
- 一种具有定位功能镀膜夹具
- [实用新型]石墨舟陶瓷套的安装装置-CN202320009170.0有效
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余乾煇;钟健;胡云川;熊苏;张泸
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通威太阳能（成都）有限公司
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2023-01-04
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2023-06-06
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C23C14/50
- 本实用新型涉及一种石墨舟陶瓷套的安装装置，包括安装平台、输送机构及拾取机构。安装平台上设有用于放置石墨舟的放置区，输送机构将陶瓷套输送至预设取料位置，拾取机构对预设取料位置处的陶瓷套进行拾取，并且，拾取机构将从预设取料位置处拾取的陶瓷套转运至放置区处而进行陶瓷套的下料，进而能够将陶瓷套安装在陶瓷杆上。将待安装陶瓷套的石墨舟放置在放置区上，利用输送机构将各个陶瓷套有序地输送至预设取料位置，再利用拾取机构移动至预设取料位置处进行陶瓷套的拾取，拾取完陶瓷套的拾取机构带动陶瓷套移动至放置区处并对陶瓷套进行下料，从而将各个陶瓷套套设在陶瓷杆上。如此循环，能够高效地对陶瓷套进行安装，保证镀膜效率。
- 石墨陶瓷安装装置
- [实用新型]装夹治具-CN202223388937.X有效
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许飞;高俊扬;屈亚哲;刘佳;张乐;李纪平;聂松林
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富联裕展科技（河南）有限公司
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2022-12-16
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2023-06-06
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C23C14/50
- 本实用新型提供一种装夹治具，包括夹持组件、承载件和抵持组件，夹持组件包括用于分别抵持工件的相对两侧的第一夹持件及第二夹持件；承载件包括穿设于第一夹持件及第二夹持件的串杆及与串杆连接的止挡件；抵持组件包括固定件、弹性件及抵持件，固定件连接承载件，弹性件的两端分别连接固定件及抵持件，抵持件用于抵持第二夹持件背离第一夹持件的一侧。上述装夹治具通过固定件固定抵持件，通过弹性件使得抵持件形成对第二夹持件的弹性抵持，并与抵持件、固定件形成一体式结构，简化了工件的装夹步骤，降低了作业的劳动强度，从而提高了工件的装夹效率。
- 装夹治具
- [实用新型]一种镀膜基板装载架及镀膜设备-CN202123184034.5有效
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戴晓东;马淑莹
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光驰科技（上海）有限公司
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2021-12-17
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2023-06-06
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C23C14/50
- 本实用新型属于真空镀膜技术领域，公开了一种镀膜基板装载架及镀膜设备，其包括骨架盘、调节组件和装载板，骨架盘包括平行间隔设置的两个安装盘，外部驱动机构能够驱动骨架盘绕安装盘的中心线转动；调节组件包括固定板，至少一个固定板设置于至少其中一个安装盘上，固定板和安装盘两者中的一个上具有多个安装位，固定板通过不同安装位安装于安装盘时，能够使固定板沿安装盘的径向位于不同的安装位置，骨架盘和调节组件均设置于工艺腔内；装载板用于装载基板，装载板连接于固定板朝向工艺腔的内壁的一端。本实用新型的镀膜基板装载架及镀膜设备，兼容不同曲面曲率的基板，降低了生产成本。
- 一种镀膜装载设备
- [实用新型]加工平台-CN202320169732.8有效
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请求不公布姓名
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深圳市原速光电科技有限公司
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2023-01-18
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2023-06-06
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C23C14/50
- 本实用新型公开了一种加工平台。加工平台包括第一平台、顶针、第二平台以及驱动装置。第一平台设置有承载面和通孔，承载面用于承载工件，通孔沿垂直于承载面的方向贯穿第一平台。顶针包括主体、第一端部和第二端部，第一端部和第二端部分别连接于主体相对的两端，顶针穿设于通孔且能够在通孔内运动，第一端部用于顶升工件。第二平台设置有抵持面，第二端部与抵持面接触抵持。驱动装置用于驱使第二平台或者第一平台沿垂直于承载面的方向运动。通过将顶针与第二平台分离设置，使得第二平台仅通过接触抵持支撑顶针，当第一平台与第二平台发生在顶针的径向上的相对运动时，顶针能够随着第一平台运动，减小顶针卡死于通孔内并发生损坏的可能性。
- 加工平台
- [发明专利]一种真空镀膜装置-CN202310181132.8在审
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金龙钊;金梦娣
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安徽泰臻真空科技有限公司
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2023-02-24
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2023-06-02
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C23C14/50
- 本发明公开了一种真空镀膜装置，涉及镀膜装置技术领域。该一种真空镀膜装置，包括外壳机构，外壳机构包括层壳一，层壳一的上端口内侧壁固定连接有壳板一，层壳一的上端面固定连接有层壳二，层壳二的内部设置有压移机构，压移机构包括底板，底板贯穿嵌入且固定连接壳板一的表面中部，底板的下表面四侧等距均匀的贯穿且固定连接有底管，底管呈现管状且其上端面齐平底板的上表面，底管的内部均插入有立柱，四个立柱的上端共同固定连接有压移板，立柱的上端外侧绕接有弹簧一，弹簧一的上端对应固定连接压移板且其下端对应固定连接底板，该一种真空镀膜装置，使得圆滑的基片能够均匀且快速的进行镀膜，提高装置的镀膜能力。
- 一种真空镀膜装置
- [发明专利]双向笼式载具移载装置-CN202310335788.0在审
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虞文韬;谢振岗;晏海燕;王来泉
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维达力实业(深圳)有限公司
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2023-03-27
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2023-06-02
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C23C14/50
- 本发明的实施例提供了一种双向笼式载具移载装置，涉及真空镀膜领域。旨在能够改善真空环境下送料效率低的问题。双向笼式载具移载装置包括移载腔室、移动架、货笼、升降机构、移动架横移机构以及货笼横移机构；移动架沿横向方向可移动地设置在移载腔室两端的开口之间，货笼沿横向方向可移动地设置在移动架上；升降机构用于驱动移动架升降；移动架横移机构用于驱动移动架横移；货笼横移机构包括依次传动连接的第一电机、第一磁流体密封轴、软轴以及货笼横移传动组件。第一电机安装在移载腔室外部，通过第一磁流体密封轴将动力传递到移载腔室内部，加上内部机械结构实现真空镀膜机的笼式载具的自动上下料需求。
- 双向笼式载具移载装置
- [发明专利]薄膜沉积设备-CN202310238231.5有效
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刘祥;周东平;王晓芳
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上海陛通半导体能源科技股份有限公司
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2023-03-14
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2023-06-02
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C23C14/50
- 本发明提供一种薄膜沉积设备，包括：用于承载基板的基座、夹持模块和旋转模块；夹持模块包括两个以上夹持器及第一驱动单元，夹持器与基板的边缘形貌相匹配，第一驱动单元包括推杆及气缸，推杆与夹持器及气缸相连接，在气缸驱动下，推杆带动夹持器移动，以自基板侧面对基板进行夹紧或释放；旋转模块包括第一齿轮、第二齿轮和第二驱动单元，第一齿轮与推杆相连接，第二齿轮与第一齿轮相啮合，第二驱动单元与第二齿轮相连接，通过第二驱动单元带动第二齿轮旋转，由此带动夹持模块及基板旋转。本发明可以避免基板污染，且各结构的设置非常紧凑，可以在不增加腔体尺寸的情况下满足各结构的布局，旋转作业简单高效，有助于提高设备产出率。
- 薄膜沉积设备
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