专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种用于半导体生产的精度高的半导体晶圆切割设备-CN202123228700.0有效
  • 胡晓亮;焦二强;邵奇;李建刚;张亮 - 麦斯克电子材料股份有限公司
  • 2021-12-21 - 2022-12-16 - B28D5/02
  • 本实用新型公开了一种用于半导体生产的精度高的半导体晶圆切割设备,包括工作台和支撑座,所述工作台的上表面固定安装有切割板,所述切割板的上表面两侧均固定安装有对接块,所述对接块的上表面固定安装有导向柱,所述对接块的内壁固定安装有气缸,所述气缸的输出端固定安装有支撑板,所述工作台的上表面一侧固定安装有吸尘箱,所述吸尘箱的上表面固定安装有排风管,所述排风管的内部固定安装有排气扇,所述吸尘箱的一侧固定安装有伸缩管。本实用新型使切割设备具有更高的精度,能够有效的防止在切割时产生的震颤,并且使切割设备具有吸尘的功能,在切割时就可同步进行吸尘,避免了在切割过程中灰尘飞扬的情况,具有实用性。
  • 一种用于半导体生产精度切割设备
  • [发明专利]一种高效率半导体双轴划片机-CN202211098390.1在审
  • 廖招军;李旺军;张智广;其他发明人请求不公开姓名 - 苏州特斯特半导体设备有限公司
  • 2022-09-09 - 2022-12-13 - B28D5/02
  • 本发明公开了一种高效率半导体双轴划片机,包括机架以及安装于所述机架上的大理石床身,包括:用于旋转、并吸附固定工件的工作台;与所述工作台连接、并用于提供X轴方向水平移动的X轴直线电机模组,所述X轴直线电机模组包括连接所述大理石床身的定子底座以及安装于所述定子底座上的X轴直线定子和X轴直线导轨,所述X轴直线导轨上滑动连接有X轴滑台,所述X轴滑台上安装有与所述工作台连接的X轴装配座。本发明不仅能够提升主轴划片机的移动速度和精度,而且能够通过主轴划片机上的滑台与直线导轨进行移动,以提升主轴划片机的稳定性,从而使得本发明的划片机具有高效率、高精度、实用性广、适应性强等优点。
  • 一种高效率半导体划片
  • [实用新型]一种防飞溅的IC载板切割装置-CN202220746341.3有效
  • 王宏;查红平;贾涛;徐福林;谢圣林;郭永昌 - 江西红板科技股份有限公司
  • 2022-04-01 - 2022-12-13 - B28D5/02
  • 一种防飞溅的IC载板切割装置,包括工作台、机架、切割组件及两个呈左右对称设计的承载固定组件;所述机架包括立于工作台上端的两个支撑架及连接两个支撑架的横杆,所述横杆的下端设有第一滑轨,所述切割组件装设于第一滑轨上并可沿第一滑轨滑动,所述承载固定组件装设于工作台的上端且位于切割组件下方;所述承载固定组件包括承载台及固定压盖,所述承载台的上端设有滑动槽,所述滑动槽的中部设有承载槽,两侧设有第二滑轨,所述固定压盖装设于第二滑轨上并可沿第二滑轨滑动。本实用新型通过设计承载固定组件对IC载板进行承载固定,使IC载板不必贴胶带即可杜绝切割过程中可能发生的切割单元飞溅的现象;本实用新型实用性强,具有较强的推广意义。
  • 一种飞溅ic切割装置
  • [实用新型]一种晶圆精准切割装置-CN202221790253.X有效
  • 韩亚萍;胡路 - 苏州北汀羽电子有限公司
  • 2022-07-12 - 2022-12-13 - B28D5/02
  • 本实用新型涉及电子产品加工技术领域,尤其为一种晶圆精准切割装置,包括底座、支撑框和电机,所述底座的上端固定连接有限位框,所述限位框的内侧滑动连接有限位滑杆,所述限位滑杆的内端固定连接有定位夹板,所述底座的上端后侧固定连接有支撑框,所述支撑框的内侧上端转动连接有转动板,所述转动板的下端外侧固定连接有限位伸缩杆,本实用新型中,通过设置的限位框、定位夹板和螺纹轴,利用限位框的作用能够对晶圆进行限位放置,同时通过对螺纹轴的转动使传动块能够带动传动杆进行转动,从而使定位夹板能够进行移动,进而使定位夹板能够对放置的晶圆进行限位固定使用,进而能够提升对晶圆切割加工的精准度。
  • 一种精准切割装置
  • [实用新型]一种双片切槽刀具-CN202222038970.3有效
  • 范荣;李士昌 - 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司;盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
  • 2022-08-04 - 2022-12-13 - B28D5/02
  • 一种双片切槽刀具,包括圆盘形的刀体,所述刀体的外周侧设有沿周向设置的环形槽,以使得所述刀体的两侧分别形成第一刀片和第二刀片,所述第一刀片的外边缘和第二刀片的外边缘各自向两侧凸起以形成切割部。上述方案通过在刀体上设置环形槽,使得刀体的两侧分别形成第一刀片和第二刀片,从而当刀体转动时,第一刀片和第二刀片同时进行切割作业,即一次加工两个搁槽,有效提升了加工效率;同时,通过切割部的设置,使得切割搁槽时第一刀片和第二刀片的侧面能够与搁槽之间形成缝隙,从而因切割而产生的废料能够由该缝隙排出,保证第一刀片和第二刀片对搁槽的切割更为稳定,有效提升了搁槽的加工质量。
  • 一种双片切槽刀具
  • [实用新型]一种半导体生产用方便调节的切片装置-CN202220966280.1有效
  • 严林海 - 上海卡玖科技有限公司
  • 2022-04-25 - 2022-12-13 - B28D5/02
  • 本实用新型公开了一种半导体生产用方便调节的切片装置,包括底板,所述底板顶部的四周均固定连接有第一电动伸缩杆,所述第一电动伸缩杆的顶部固定连接有工作台,所述工作台顶部的左端固定连接有第一夹板,所述工作台顶部的右端固定连接有固定板,固定板的左侧固定连接有第三电动伸缩杆,第三电动伸缩杆的左端固定连接有第二夹板,工作台的顶部通过支架固定连接有顶板。本实用新型通过第一电动伸缩杆、第一夹板、切割刀片、顶板、第二电动伸缩杆、第一电机、第二夹板、第三电动伸缩杆、螺纹杆、滑槽、滑块、螺纹套、红外线测距传感器和第二电机相互配合,解决了现在的切片装置不便于人们调节切片厚度,导致使用不便的问题。
  • 一种半导体生产方便调节切片装置
  • [发明专利]一种可防止产生崩边的半导体晶圆制备的硅片划片系统-CN202111365979.9有效
  • 吴海亮;申政澔;张乔栋;陈宝康 - 江苏纳沛斯半导体有限公司
  • 2021-11-18 - 2022-12-09 - B28D5/02
  • 本发明涉及晶圆制备技术领域,具体是一种可防止产生崩边的半导体晶圆制备的硅片划片系统,包括底座,所述底座的顶部开设有水槽,底座的顶部固定连接有外壳,外壳的一侧开设有安装槽,安装槽内转动连接有两个转动门板,外壳的内壁固定连接有移动机构;本发明能够通过驱动电机移动带动驱动轴和离心转杆转动,离心转杆通过异形转杆带动滑动杆、齿条进行往复,齿条带动转动齿轮、转动轴和喷气头进行往复转动,气泵通过导气管和喷气头对放置台进行喷气,实现了对晶圆表面进行吹气,进而能够将晶圆上的含有杂质污水吹走,保证晶圆表面的洁净度,避免晶圆的残留的杂质影响砂轮对晶圆进行切割,有效的防止了切割晶圆时产生崩边。
  • 一种可防止产生半导体制备硅片划片系统
  • [发明专利]一种用于半导体发光元件的加工设备-CN202211107716.2在审
  • 王灿 - 江苏东燃机电科技有限公司
  • 2022-09-13 - 2022-12-06 - B28D5/02
  • 本发明公开了一种用于半导体发光元件的加工设备,本发明涉及半导体元件加工技术领域。该用于半导体发光元件的加工设备,包括设备主体,所述设备主体的顶部固定连接有XY移动平台,所述XY移动平台的滑块底部固定连接有提升器,所述提升器的驱动端固定连接有驱动器,所述驱动器的驱动端固定连接有钻头,半导体元件加工时,固定座水平中心线上方的挤压头受重力向下移动,进而顶开密封板,钻头加工中产生的废屑沿着导流板进入收集筒的内部,对废屑进行收集,固定座水平中心线上方的挤压头退出排料口,密封板在限位条的弹性力下堵住排料口,避免废屑溢出,进而完成对废屑的自动收集处理。
  • 一种用于半导体发光元件加工设备
  • [实用新型]一种硅片切割装置-CN202221851626.X有效
  • 吴友洲;戚晓峰 - 江苏德比新材料科技有限公司
  • 2022-07-19 - 2022-12-06 - B28D5/02
  • 本实用新型公开了一种硅片切割装置,包括机座,所述机座上侧开设有定位槽,机座一端上侧安装有上支架,上支架上侧中部安装有气缸,气缸下侧安装有上压板,上压板下侧安装有定位板,且定位板和定位槽上下一一对应设置,机座一端通过传动轴安装有切割刀片,传动轴一端通过齿轮组传动连接有第一电机,定位槽内部通过丝杠滑动设置有送料板,本实用新型通过设有的定位槽、上压板和定位板,将待切割的硅棒水平放置卡设在定位槽内,气缸驱动上压板和定位板下移将硅棒压紧定位在定位槽内,定位稳定性高,有利于提高切割精准度,然后通过第一电机驱动切割刀片旋转进行切割硅片,硅片落入储物斗内进行储放,切割效率较高,操作方便快捷。
  • 一种硅片切割装置
  • [实用新型]一种硅锭材料加工处理用的切割机-CN202220747610.8有效
  • 邵永杰 - 杭州跨界耐磨零部件有限公司
  • 2022-04-01 - 2022-12-06 - B28D5/02
  • 本实用新型公开了一种硅锭材料加工处理用的切割机,包括桌板,桌板底部的四角均固定连接有桌腿,桌板顶部的右侧开设有限位槽,限位槽的内腔活动连接有限位机构,限位机构的顶部固定连接有限位板,限位板顶部的左侧固定连接有定位板。本实用新型通过设置桌板、桌腿、限位槽、限位机构、第三电动伸缩杆、限位壳、限位板、定位板、第一螺纹杆、活动板、第一旋转把手、盒体、通孔、第二螺纹杆、第二旋转把手、螺纹套、空心柱、第一电动伸缩杆、限位块、第二电动伸缩杆、电机、切割片、定位壳和定位块的配合使用,解决了现有的硅锭材料加工处理用的切割机不具备对硅锭材料进行固定作用,且只能对硅锭材料进行单面切割的问题。
  • 一种材料加工处理切割机
  • [实用新型]一种用于半导体封测的晶圆切割装置-CN202122415661.9有效
  • 谢安全;张池 - 广东深莱特科技股份有限公司
  • 2021-10-08 - 2022-11-29 - B28D5/02
  • 本实用新型涉及半导体封测技术领域,具体为一种用于半导体封测的晶圆切割装置,包括切片存储箱,所述切片存储箱的上侧设置有切割工作箱,所述切割工作箱的下侧左右端位置处均设置有吸气斗,所述吸气斗的下端安装有导尘软管,所述切割工作箱的上侧安装有风机、过滤箱、进气网与制冷器,所述切割工作箱的内部上端安装有切割套筒,所述切片存储箱的内部设置有弧形物料卡板,所述弧形物料卡板的外侧安装有固定推杆,所述弧形物料卡板的内侧设置有晶体柱。本实用新型通过制冷器对装置的内部进行冷却,降低切割过程锯片摩擦产生热量,能匀速调节切割位,降低工作过程产生的粉尘,能避免切割后的物料飞溅。
  • 一种用于半导体切割装置
  • [实用新型]一种脆性板材裂片机的滚轮滚压系统-CN202221367917.1有效
  • 叶华才;陈海;张恩召;钟圣平;龙飞;王练芳 - 深圳市光道激光技术有限公司
  • 2022-06-02 - 2022-11-25 - B28D5/02
  • 本实用新型公开了一种脆性板材裂片机的滚轮滚压系统,包括XYZ轴移动装置、旋转装置、滚轮装置,所述旋转装置安装于XYZ轴移动装置之上,所述滚轮装置安装于旋转装置的动力输出端;所述旋转装置用于驱动滚轮装置正向或反向旋转,以切换滚轮装置的滚动方向;所述滚轮装置包括滚轮安装座、滚轮及整平机构,所述滚轮安装座包括上安装板和下安装架,上安装板和下安装架之间连接有弹簧,所述滚轮安装于下安装架的下端,所述整平机构安装于下安装架的侧部;所述滚轮用于滚压脆性板材,使脆性板材裂片,所述整平机构伸向滚轮的侧方,用于整平脆性板材。本实用新型能直接滚压脆性板材,能从不同方向滚压脆性板材,能在滚压脆性板材的过程中整平脆性板材。
  • 一种脆性板材裂片滚轮系统
  • [实用新型]一种水晶钻孔加工装置-CN202222013650.2有效
  • 陈春福 - 江西国贸饰品有限公司
  • 2022-08-01 - 2022-11-25 - B28D5/02
  • 本实用新型提供了一种水晶钻孔加工装置,包括底板,在底板顶部固定连接有电机,电机主轴通过钻夹头连接有钻头,底板顶部还设有一侧面为敞开状的封闭箱,钻夹头穿过封闭箱敞开侧面相对侧面,位于封闭箱内部,底板上还安装有伸缩装置,伸缩装置带动水钻固定装置往复移动,固定装置包括连接杆、密封板和弹簧,连接杆靠近钻头端为固定部,另一端为调节部,调节部固定安装在伸缩装置伸缩端,密封板可滑动套接在连接杆上,弹簧套在连接杆外,位于所述密封板和调节部之间,伸缩装置往钻头位子移动钻孔,密封板封住封闭箱。本实用新型密闭钻孔,防尘效果好,钻孔水钻固定可靠的特点。
  • 一种水晶钻孔加工装置
  • [发明专利]辅助装置-CN202210518861.3在审
  • 女屋拓土 - 株式会社迪思科
  • 2022-05-13 - 2022-11-22 - B28D5/02
  • 本发明提供辅助装置,该辅助装置能够自动地更换切削刀具,该辅助装置能够后续安装于已经交付给用户的切削装置。与切削装置连结的辅助装置包含:切削刀具保管单元,其对多个切削刀具进行保管;搬出搬入单元,其对切削刀具的正面进行保持而将切削刀具相对于切削刀具保管单元搬出和搬入;Y轴方向定位单元,其将搬出搬入单元相对于切削刀具保管单元定位于Y轴方向的作用位置和退避位置;Z轴移动单元,其使搬出搬入单元在Z轴方向上移动;以及X轴移动单元,其使搬出搬入单元在X轴方向上移动而对安装在切削装置的切削单元的主轴上的切削刀具进行作用。
  • 辅助装置

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