[发明专利]具有至少一个电容器的集成电路装置及其制造方法无效
| 申请号： | 98121381.2 | 申请日： | 1998-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN1151557C | 公开（公告）日： | 2004-05-26 |
| 发明（设计）人： | H·克罗瑟;V·勒曼;W·霍恩莱恩;H·雷辛格尔 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | H01L25/18 | 分类号： | H01L25/18 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 马铁良;叶恺东 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 至少 一个 电容器 集成电路 装置 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
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