[发明专利]圆形玻璃钝化二极体晶粒的制法

权利要求书

1、一种圆形玻璃钝化二极体晶粒的制法，其特征在于具有下列步骤：

a)在扩散晶片上被覆一层光阻剂后烘干；

b)曝光及显影：在所说晶片的P面上端罩设一层在其上端设有透光圈的光罩，将该罩设有光罩的晶片放置在玻璃片上夹紧，送入曝光机感光并以显影液显影；

c)蚀刻沟槽：将显影后的晶片以酸液蚀刻于未感光部分，蚀刻至晶片下层N⁺部分，形成沟槽；

d)去除光阻剂：将蚀刻完成的晶片浸入双氧水与硫酸混合液中，除去光阻剂；

e)栅层清洗：将除去光阻剂的晶片在去离子水中清洗，除去其表面的混合液使栅层显现，然后脱水、烘干；

f)玻璃粉栅层被覆：以玻璃浆充分填实于蚀刻完成的圆形沟槽中；

g)高温玻璃化：在石英管内，720℃下烧结1小时，清洗；

h)镀镍及烧结：在无电电镀液中镀镍后，在石英管内，650℃和通氮气氛下烧结，再镀镍一次；

i)衬片及圆铁片定位胶合：将上端铺设有一层白蜡的玻璃衬片置于电热板上，使白蜡呈熔融状，将二次镀镍后的晶片  N面粘固在表面熔融有白蜡的玻璃衬片上，并使白蜡覆盖晶片整面，再将预先粘设有小圆铁片的胶带通过白蜡正确地粘贴密合在晶片上，小圆铁片数目与晶片P面未填入玻璃浆的端面相对应，从电热板上取下该上端粘固有圆铁片及下端粘固有玻璃衬片的晶片，移至自然冷却的平板上冷却，将冷却后的晶片撕去胶带，送入喷砂机内喷砂；

j)喷砂及分离圆晶粒：对晶片表面粘设有小圆铁片的一面进行喷砂，当喷砂完成后，在玻璃衬片上形成许多小圆形晶粒，将该玻璃衬片与许多小圆形晶粒浸泡在三氯乙烷中清洗，分离，并以磁铁将小圆铁片吸出，即得周边被覆有玻璃的圆形晶体。

2、按照权利要求1所说的圆形玻璃钝化二极体晶粒的制法，其特征在于：在c)步骤中所用蚀刻酸液由9份硝酸、9份冰醋酸、14份氢氟酸和4份硫酸混合而成。

3、按照权利要求1所说的圆形玻璃钝化二极体晶粒的制法，其特征在于：在d)步骤中去除光阻剂用的混合液中硫酸与双氧水比例为37∶1。

4、按照权利要求1所说的圆形玻璃钝化二极体晶粒的制法，其特征在于：在f)步骤中所说的玻璃浆由玻璃粉加去离子水再加5％的粘接剂充分搅拌而成。

5、按照权利要求1所说的圆形玻璃钝化二极体晶粒的制法，其特征在于：在i)步骤中该胶带在底侧面粘设有其面积可覆盖于晶片未填入玻璃浆各端面的小圆铁片，以使粘设有小圆铁片的胶带粘贴密合在晶片上时，各该小圆铁片恰可一一密贴于晶片P面不填入玻璃浆的端面上。