[实用新型]一种晶圆片的刮边机有效
| 申请号： | 202320789064.9 | 申请日： | 2023-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN219457545U | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 张栖源 | 申请（专利权）人： | 江西点亮科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/68;H01L21/687 |
| 代理公司： | 温州名创知识产权代理有限公司 33258 | 代理人： | 王超峰 |
| 地址： | 335000 江西省鹰*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 刮边机 | ||
1.一种晶圆片的刮边机，包括H形座(1)，其特征在于：所述H形座(1)的下表面固定有电机(2)，所述电机(2)的驱动轴(3)外固定有第一定位轮(4)，所述H形座(1)的另一侧设置有折角移动座(5)，所述折角移动座(5)内通过轴承连接有轴杆(6)，所述轴杆(6)的外表面固定有第二定位轮(7)，所述第一定位轮(4)和第二定位轮(7)内卡接有晶圆片(8)，所述H形座(1)的一侧固定有第一气缸(9)，所述第一气缸(9)的外端设置支撑板(10)，所述支撑板(10)的外表面固定刮刀(11)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片的刮边机，其特征在于：所述H形座(1)的另一侧外表面固定有第二气缸(90)，第二气缸(90)的推进杆端面固定连接在折角移动座(5)的外表面。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆片的刮边机，其特征在于：所述第一定位轮(4)和第二定位轮(7)的外表面设置有定位环槽。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆片的刮边机，其特征在于：所述第一定位轮(4)和第二定位轮(7)的外表面覆有橡胶层。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆片的刮边机，其特征在于：所述电机(2)分布设置在H形座(1)的一侧两端。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆片的刮边机，其特征在于：所述折角移动座(5)的下表面贴合在H形座(1)的内侧表面。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆片的刮边机，其特征在于：所述刮刀(11)通过螺丝固定在支撑板(10)的外表面。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西点亮科技有限公司，未经江西点亮科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202320789064.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：预制式电缆井
- 下一篇：螺栓冷镦机的定位装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
