[实用新型]一种半导体设备减震装置

说明书

本实用新型公开一种半导体设备减震装置，用于放置在置物面上包括设备本体；减震机构，与所述设备本体连接，通过所述设备本体压缩所述减震机构，使所述减震机构进行气体压缩；以及弹性件，被构建在所述设备本体与所述置物面之间。本申请通过将减震机构与设备本体连接，并且将弹性件构建在设备本体与置物面之间，实现对设备本体减震的效果，减震机构的内部可进行气体压缩，当设备本体受外力震动对减震机构进行压缩时，减震机构内部的气体被压缩，进而使设备本体的震动在减震机构内压缩气体过程中被抵消，同时，弹性件对设备本体也会隔离部分震动，因此弹性件与减震机构同时作用于设备本体上，进而实现对设备本体减震的效果。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备领域，具体涉及一种半导体设备减震装置。

背景技术

半导体指的是导电能力介于导体和绝缘体之间的材料，常见的有硅、锗、碳化硅、氮化镓等，一般说半导体都是说半导体材料。在对半导体进行生产时，需要使用专业的半导体设备进行生产。

但半导体设备在实际使用中仍存在以下弊端：

现有的半导体设备在使用时，前期的生产和后期的包装都会产生震动，例如，在对半导体设备进行开孔和固定连接时，电机带动钻头进行下降，钻头在半导体设备上开孔和固定时，旋转产生的力会造成半导体设备产生震动，当震动过大时，会产生对人体有危害的噪音，并且当震动过大时，半导体容易出现较高的瑕疵品，进而会影响半导体的生产。

因此，市面上迫切需要能改进的技术，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的一种半导体设备减震装置，可有效解决现有半导体设备在使用时存在过大震动，降低半导体生产质量的问题。

根据本实用新型的一个方面，提供了一种半导体设备减震装置，用于放置在置物面上，包括：

设备本体；

减震机构，与所述设备本体连接，通过所述设备本体压缩所述减震机构，使所述减震机构进行气体压缩；

以及弹性件，被构建在所述设备本体与所述置物面之间。

在一些实施方式中，所述设备本体包括工作台和支撑板，所述减震机构设置于所述工作台与支撑板之间。由此，支撑板用于支撑，工作台产生震动后减震机构进行减震。

在一些实施方式中，所述减震机构包括：

支撑柱，所述支撑柱的内部设有第一气腔；

连接柱，所述连接柱设置于所述第一气腔内，且与所述支撑柱相对滑动；

密封塞，设置于所述连接柱的下方。由此，支撑柱与连接柱相互滑动进行压缩气体，密封塞用于保证压缩气体时的气密性。

在一些实施方式中，所述连接柱与所述工作台连接，所述支撑柱与所述支撑板连接。由此，提供减震机构与工作台和支撑板的连接关系，进而实现将震动传递至减震机构压缩气体。

在一些实施方式中，所述连接柱设有第二气腔，所述第二气腔与所述第一气腔相连通。由此，气体压缩后作用于连接柱的底部和内部。

在一些实施方式中，所述工作台设有空心圆孔，所述减震机构还包括固定塞，所述固定塞设置于所述空心圆孔内，所述空心圆孔与所述第二气腔相连通。由此，空心圆孔、第一气腔和第二气腔相互连通，通过空心圆孔可注入高压气体。

在一些实施方式中，所述弹性件的一端与所述工作台连接，所述弹性件的另一端与所述支撑板抵接。由此，提供了弹性件受力的两端位置，且作用于工作台。

在一些实施方式中，包括重力感应器，所述重力感应器设置于所述减震机构与支撑板之间。由此，通过重力感应器检测工作台的受力情况，以便进行监控。