[实用新型]晶圆传送装载设备

权利要求书

1.一种晶圆传送装载设备，其特征在于，包括：

箱体(1)，所述箱体(1)的侧壁具有第一窗口(11)；

晶圆盒装载组件(2)，所述晶圆盒装载组件(2)设在所述箱体(1)具有所述第一窗口(11)的一侧，所述晶圆盒装载组件(2)包括升降平台(22)，所述升降平台(22)相对于所述箱体(1)可升降移动；

关窗件(3)，所述关窗件(3)设在所述升降平台(22)上，所述关窗件(3)在所述升降平台(22)的驱动下可在第一位置和第二位置之间移动，在所述第一位置，所述关窗件(3)封闭所述第一窗口(11)，在所述第二位置，所述关窗件(3)开启所述第一窗口(11)。

2.根据权利要求1所述的晶圆传送装载设备，其特征在于，所述晶圆盒装载组件(2)还包括固定平台(21)，所述固定平台(21)用于承载晶圆盒(7)的本体；

所述升降平台(22)的中部具有用于容纳所述固定平台(21)的容纳空间，所述升降平台(22)相对于所述固定平台(21)可升降移动，以将罩设在所述晶圆盒(7)的本体外的盒盖在所述第二位置时开启并在所述第一位置时关闭。

3.根据权利要求2所述的晶圆传送装载设备，其特征在于，所述关窗件(3)包括由所述升降平台(22)向上延伸的上段部分，以及由所述升降平台(22)向下延伸的下段部分，所述下段部分具有第二窗口，在所述第一位置，所述上段部分封闭所述第一窗口(11)，在所述第二位置，所述第一窗口(11)与所述第二窗口连通。

4.根据权利要求2所述的晶圆传送装载设备，其特征在于，所述关窗件(3)为板体，所述关窗件(3)设在所述升降平台(22)朝向所述箱体(1)的一端，并与所述箱体(1)设有所述第一窗口(11)的侧壁抵接。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的晶圆传送装载设备，其特征在于，还包括机械手(4)，所述机械手(4)用于抓取晶圆，所述机械手(4)设在所述箱体(1)内，且所述机械手(4)的至少部分相较于所述箱体(1)可沿第一方向移动，以使所述机械手(4)的至少部分可通过所述第一窗口(11)伸出和退回所述箱体(1)。

6.根据权利要求5所述的晶圆传送装载设备，其特征在于，所述机械手(4)包括：

主臂(41)，所述主臂(41)与所述箱体(1)相连；

前臂(42)，所述前臂(42)的一端与所述主臂(41)可绕竖直方向转动地相连；

叉盘(43)，所述叉盘(43)与所述前臂(42)的另一端可绕竖直方向转动地相连。

7.根据权利要求6所述的晶圆传送装载设备，其特征在于，所述机械手(4)还包括第一升降件(44)，所述第一升降件(44)与所述箱体(1)相连，所述主臂(41)设在所述第一升降件(44)上，以在所述第一升降件(44)的驱动下相较于所述箱体(1)升降移动。

8.根据权利要求5所述的晶圆传送装载设备，其特征在于，还包括传送件(5)，所述传送件(5)设在所述箱体(1)内，且所述传送件(5)的至少部分相较于所述箱体(1)可沿第二方向移动；

所述机械手(4)设在所述传送件(5)上，以在所述传送件(5)的驱动下沿所述第二方向移动。

9.根据权利要求1-4中任一项所述的晶圆传送装载设备，其特征在于，还包括风机过滤机组(6)，所述风机过滤机组(6)设在所述箱体(1)上，并与所述箱体(1)的内部空间连通。

10.根据权利要求1-4中任一项所述的晶圆传送装载设备，其特征在于，还包括基座(8)和连接件，所述箱体(1)设在所述基座(8)上，所述晶圆盒装载组件(2)具有调节孔，所述调节孔为沿第一方向延伸的条形，所述连接件设在所述调节孔内并与所述基座(8)相连，以连接所述晶圆盒装载组件(2)和基座(8)。