[发明专利]一种芯片检测分选设备在审
申请号: | 202310833302.6 | 申请日: | 2023-07-10 |
公开(公告)号: | CN116598233A | 公开(公告)日: | 2023-08-15 |
发明(设计)人: | 李峰;宋斌杰;粟勇;杨俊辉;陈飞;陈云;钟函君 | 申请(专利权)人: | 珠海市申科谱工业科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/66 |
代理公司: | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人: | 黄国勇 |
地址: | 519000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 检测 分选 设备 | ||
1.一种芯片检测分选设备,它包括底座(1)和固定架(2),所述固定架(2)设于所述底座(1)的后段,其特征在于:所述芯片检测分选设备还包括芯片上料模组(3)、端面检测模组(4)、转台(8)、芯片下料模组(6)、预对位相机模组(9)以及芯片搬运模组(7),所述转台(8)设于所述底座(1)的中部,所述转台(8)设有若干组吸附工位,若干所述吸附工位对应设有一组可调整角度的吸附台(81),若干所述吸附台(81)均与产品吸附配合,所述端面检测模组(4)设置于所述转台(8)的周边并与一组所述吸附工位检测配合,所述预对位相机模组(9)与所述固定架(2)相连接并设于所述吸附工位的上方,所述芯片上料模组(3)和所述芯片下料模组(6)分别设于所述转台(8)的两侧,所述芯片搬运模组(7)设置在所述固定架(2)上,所述芯片上料模组(3)与外部机械手配合上料并带动产品至所述芯片搬运模组(7)的下方,所述芯片搬运模组(7)吸取芯片并将芯片放置到所述吸附台(81),所述预对位相机模组(9)对芯片拍照定位,所述吸附台(81)根据拍照结果调整芯片角度,所述转台(8)将所述吸附台(81)转至所述端面检测模组(4)对芯片端面拍照检测,所述芯片搬运模组(7)重新吸附产品并将其移动至所述芯片下料模组(6)中。
2.根据权利要求1所述的一种芯片检测分选设备,其特征在于:所述芯片上料模组(3)包括第一X轴装置(31)、第一Y轴装置(32)、连接板(33)、第一转盘(34)、旋转驱动装置以及顶针模组(5),所述第一X轴装置(31)与所述底座(1)固定连接,所述第一Y轴装置(32)与所述第一X轴装置(31)的活动端相连接,所述连接板(33)与所述第一Y轴装置(32)的输出端相连接,所述第一转盘(34)转动连接于所述连接板(33)中,所述旋转驱动装置的固定端与所述连接板(33)相连接,所述旋转驱动装置的活动端与所述第一转盘(34)相连接,所述第一转盘(34)和所述连接板(33)的下端设有开孔,所述开孔与所述顶针模组(5)相配合,所述顶针模组(5)设于所述第一Y轴装置(32)的后端并将产品顶出便于所述芯片搬运模组(7)吸附产品。
3.根据权利要求2所述的一种芯片检测分选设备,其特征在于:所述顶针模组(5)包括顶针移载装置(51)、顶针调节座(52)、顶针定位座(53)、顶针驱动装置(54)以及顶针组(55),所述顶针移载装置(51)的固定端与所述底座(1)固定连接,所述顶针调节座(52)与所述顶针移载装置(51)的活动端相连接,所述顶针定位座(53)设置于所述顶针调节座(52)的活动端,所述顶针驱动装置(54)与所述顶针定位座(53)的一侧相连接,所述顶针组(55)设置于所述顶针定位座(53)的上部,所述顶针驱动装置(54)的输出端与所述顶针组(55)顶推配合,所述顶针组(55)与产品顶推配合。
4.根据权利要求1所述的一种芯片检测分选设备,其特征在于:所述端面检测模组(4)包括上料检测组件(41)、下料检测组件(42)以及端面检测组件(43),所述上料检测组件(41)和所述下料检测组件(42)均与所述固定架(2)相连接,所述上料检测组件(41)设于所述上料模组的上方,所述下料检测组件(42)设置于所述芯片下料模组(6)的上方,所述端面检测组件(43)设置于所述底座(1)的中部并对产品外表面拍照检测。
5.根据权利要求4所述的一种芯片检测分选设备,其特征在于:所述上料检测组件(41)包括上料调节座(411)、上料连接块(412)、第一检测相机(413)以及预扫相机(414),所述上料调节座(411)与所述固定架(2)相连接,所述上料连接块(412)与所述上料调节座(411)的活动端相连接,所述第一检测相机(413)和所述预扫相机(414)均连接在所述上料连接块(412)上,所述第一检测相机(413)对产品正面检测,所述预扫相机(414)检测产品位置。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于珠海市申科谱工业科技有限公司,未经珠海市申科谱工业科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202310833302.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造