[发明专利]多相位兼容UV固化压合机构及固化压合工艺在审
申请号: | 202310681954.2 | 申请日: | 2023-06-09 |
公开(公告)号: | CN116646425A | 公开(公告)日: | 2023-08-25 |
发明(设计)人: | 鲁乾坤;张文来;霍利 | 申请(专利权)人: | 苏州沃特维自动化系统有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/05;H01L21/677 |
代理公司: | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人: | 刘涛 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多相 兼容 uv 固化 机构 工艺 | ||
1.多相位兼容UV固化压合机构,包括控制器、UV灯固化运动机构(7)、压板同步升降机构(6),其特征在于:
还包括底板运动机构(4)和压板分距机构(5);
底板运动机构(4)包括安装板(41),安装板(41)上固定安装有两条平行的第一滑轨(42),两条第一滑轨(42)之间固定安装有电机(43),电机(43)通过传动部分与底板(49)联接,底板(49)的两个端部分别滑动安装在两条第一滑轨(42)上;
压板分距机构(5)包括固定压板部分、以及位于固定压板部分一侧的可动压板部分,固定压板部分包括固定不动的固定压板(51),可动压板部分包括可动压板(52),可动压板(52)的两个端部分别与两个动力导向组件联接;
UV灯固化运动机构(7)、压板同步升降机构(6)、底板运动机构(4)和压板分距机构(5)的动作均由控制器控制。
2.根据权利要求1所述的多相位兼容UV固化压合机构,其特征在于:所述传动部分包括第一同步轮(44),第一同步轮(44)与电机(43)的输出轴固定连接,第一同步轮(44)通过同步带与第二同步轮(45)连接,第二同步轮(45)固定连接在第一丝杆(46)轴端,第一丝杆(46)与第一螺母(47)配合,第一螺母(47)与螺母固定块(48)固定连接,螺母固定块(48)还与底板(49)固定连接。
3.根据权利要求1所述的多相位兼容UV固化压合机构,其特征在于:所述动力导向组件包括气缸(53),气缸(53)与压板支撑板(54)联接,压板支撑板(54)滑动安装在第二滑轨(55)上,压板支撑板(54)的上方固定连接可动压板(52)的端部。
4.根据权利要求1所述的多相位兼容UV固化压合机构,其特征在于:所述UV灯固化运动机构(7)包括伺服直线模组(71),伺服直线模组(71)的上方设有UV灯固定板(72),伺服直线模组(71)的一侧设有第三滑轨(73),UV灯固定板(72)的其中一个端面与第三滑轨(73)滑动连接,UV灯固定板(72)上固定安装有UV灯(74)。
5.根据权利要求1所述的多相位兼容UV固化压合机构,其特征在于:所述压板同步升降机构(6)包括伺服电机(61),伺服电机(61)联接第一升降传动部分、以及位于第一升降传动部分一侧的第二升降传动部分,两个升降传动部分的上方固定联接压板的两个端部。
6.根据权利要求5所述的多相位兼容UV固化压合机构,其特征在于:所述伺服电机(61)的输出轴与第三同步轮(62)固定连接,第三同步轮(62)通过同步带与第一升降传动部分中的第四同步轮(63)连接,第四同步轮(63)与第二丝杆(64)轴端固定连接,第二丝杆(64)与第二螺母配合,第二螺母与主动边升降板(65)固定连接,主动边升降板(65)滑动连接在第四滑轨上,主动边升降板(65)的上方固定联接压板的其中一个端部。
7.根据权利要求6所述的多相位兼容UV固化压合机构,其特征在于:所述第三同步轮(62)还通过同步带与第二升降传动部分中的第五同步轮(66)连接,第五同步轮(66)与第三丝杆(67)轴端固定连接,第三丝杆(67)与第三螺母配合,第三螺母与从动边升降板(68)固定连接,从动边升降板(68)滑动连接在第五滑轨上,从动边升降板(68)的上方固定联接压板的其中另一个端部。
8.根据权利要求5所述的多相位兼容UV固化压合机构,其特征在于:所述压板包括固定压板(51)和可动压板(52),压板采用金属材质,压板上开设有倒梯形槽型镂空(81),压板的下表面贴设有软质非金属材料衬垫。
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的