[发明专利]一种晶圆干燥装置

权利要求书

1.一种晶圆干燥装置，其特征在于，包括支撑洗涤机构（100）、蒸汽递送机构（200）以及离心传动机构（300）；

所述支撑洗涤机构（100）包括容纳槽（110）、安装在容纳槽（110）外壁上的主垫块（120）和副垫块（130）、螺纹连接在主垫块（120）中的牵引拉杆（140）、活动安装在牵引拉杆（140）底端的梁杆（150）、连接在容纳槽（110）和梁杆（150）之间的弹性伸缩杆（160）、安装在容纳槽（110）中部的套管（170）、连接在容纳槽（110）底部的外壳（180）以及连接在容纳槽（110）内壁上的垫圈（190）；

所述蒸汽递送机构（200）安装在支撑洗涤机构（100）上，包括安装在容纳槽（110）上的撑杆（210）、连接在横管（220）顶部的横管（220）、活动安装在横管（220）外端的轴管（230）、连接在轴管（230）底端的气管（240）、连接在气管（240）上的四个密封罩（250）以及呈圆周分布于密封罩（250）内壁上的多组夹具（260）；

所述离心传动机构（300）安装在支撑洗涤机构（100）内，包括安装在梁杆（150）内的电机（310）、连接在电机（310）顶端的顶盖（320）、安装在电机（310）上且位于容纳槽（110）内侧的护套（330）、活动安装在护套（330）内部的多个芯柱（340）、连接于护套（330）和芯柱（340）之间的拉簧（350）、活动安装在护套（330）内侧滑槽中的扣件（360）、连接在扣件（360）上的弹簧（370）以及连接在扣件（360）外侧的限位压簧（380）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥装置，其特征在于，所述容纳槽（110）内侧底部开设的四处槽口内连接有四个柱形垫板，且容纳槽（110）的内壁开设有向内凹陷的环槽。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥装置，其特征在于，所述主垫块（120）的内部开设有竖孔，且竖孔内连接有螺纹套管。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥装置，其特征在于，所述牵引拉杆（140）上开设有螺纹端杆，且牵引拉杆（140）顶部的转盘上活动安装有摇杆。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥装置，其特征在于，所述梁杆（150）的内端连接有U字形拉杆以及两个圆环形套圈。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥装置，其特征在于，所述轴管（230）顶端开设有环形端头内开设有均匀分布的凹槽，且凹槽内活动连接有滚轮。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥装置，其特征在于，所述夹具（260）是由矩形垫板、L形支杆以及橡胶底垫组成。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥装置，其特征在于，所述护套（330）外部的四处圆盘内开设有排放热蒸汽的气孔，且圆盘内侧的底部开设有呈圆周分布的滑槽。

9.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥装置，其特征在于，所述扣件（360）的底部开设有插接在滑槽中的T字形滑块。