[发明专利]一种碳化硅籽晶粘贴设备

权利要求书

1.一种碳化硅籽晶粘贴设备(10)，其特征在于，包括：

机柜(100)，所述机柜(100)的侧壁开设有进风口(102)；

控制装置(200)，所述控制装置(200)设置于所述机柜(100)内；

加热装置(300)，所述加热装置(300)设置于所述机柜(100)内且与所述控制装置(200)电连接，用于支撑且加热籽晶，以使所述籽晶粘贴于托盘；

排风装置(400)，所述排风装置(400)包括排风管(410)和设置于所述排风管(410)的风机(420)和压力传感器(430)，所述排风管(410)设置于所述机柜(100)的顶壁，所述风机(420)和所述压力传感器(430)分别与所述控制装置(200)电连接，所述压力传感器(430)用于检测所述排风管(410)的排风压力，所述控制装置(200)用于根据所述排风管(410)的排风压力控制所述风机(420)的频率，以使所述排风管(410)的排风压力恒定；

均流装置(500)，所述均流装置(500)包括多个均流板(510)，所述多个均流板(510)均竖直设置于所述机柜(100)的顶壁内侧，用于均匀流向所述排风管(410)的气流。

2.根据权利要求1所述的碳化硅籽晶粘贴设备(10)，其特征在于，所述排风管(410)竖直设置，所述多个均流板(510)绕所述排风管(410)的轴线均匀间隔排布。

3.根据权利要求2所述的碳化硅籽晶粘贴设备(10)，其特征在于，所述多个均流板(510)顶部均可拆卸连接于所述机柜(100)的顶壁内侧，底部均与所述加热装置(300)间隔设置。

4.根据权利要求3所述的碳化硅籽晶粘贴设备(10)，其特征在于，沿从所述机柜(100)侧壁至所述排风管(410)的轴线的方向，所述均流板(510)的底部与所述机柜(100)的顶壁的距离逐渐减小。

5.根据权利要求1所述的碳化硅籽晶粘贴设备(10)，其特征在于，所述机柜(100)的侧壁设置有出风口(104)，所述出风口(104)位于所述机柜(100)的后侧，所述进风口(102)分别位于所述机柜(100)的左侧和右侧。

6.根据权利要求5所述的碳化硅籽晶粘贴设备(10)，其特征在于，所述出风口(104)包括沿竖直方向间隔排布的多行出风孔，沿从下到上的方向，每行出风孔的数量逐渐增多且孔径逐渐减小。

7.根据权利要求1所述的碳化硅籽晶粘贴设备(10)，其特征在于，所述加热装置(300)上设置有多个温度传感器(310)，所述多个温度传感器(310)分别与所述控制装置(200)电连接，用于检测所述籽晶不同部位的温度，所述控制装置(200)用于根据所述籽晶不同部位的温度调节所述加热装置(300)对应位置的加热温度，以使所述籽晶不同部位的温度相同。

8.根据权利要求1-7任一项所述的碳化硅籽晶粘贴设备(10)，其特征在于，所述机柜(100)的内部设置有水平延伸的隔板(110)，所述隔板(110)将所述机柜(100)的内腔分隔为工作室(120)和控制室(130)，所述工作室(120)位于所述控制室(130)的上方，所述加热装置(300)和所述均流装置(500)均位于所述工作室(120)内且所述加热装置(300)安装于所述隔板(110)上，所述控制装置(200)位于所述控制室(130)内。

9.根据权利要求8所述的碳化硅籽晶粘贴设备(10)，其特征在于，所述控制装置(200)包括控制器(210)和触摸屏(220)，所述触摸屏(220)、所述加热装置(300)、所述风机(420)及所述压力传感器(430)分别与所述控制器(210)电连接。

10.根据权利要求8所述的碳化硅籽晶粘贴设备(10)，其特征在于，所述控制室(130)内设置有配重块。