[发明专利]一种半导体工艺产线设备配置方法及装置

权利要求书

1.一种半导体工艺产线设备配置方法，其特征在于，具体包括如下步骤：

构建半导体工艺产线的数据库，并对数据库设置使用权限，其中，数据库包括工艺子库、制程子库和设备子库；

基于数据库使用权限，在工艺子库中获取目标半导体的工艺类型，确定工艺制程路线；

解析确定的工艺制程路线，在制程子库中获取每步工艺制程对应的设备类型，并给出设备配置清单，其中，设备配置清单为各个设备类型的设备信息，包括主工艺设备信息、附属设备信息及设备对比信息的至少一种；

基于设备配置清单，通过设备选型模型遍历设备子库中对应的设备，给出目标设备集，并配置目标设备的生产能力和可用率；

基于半导体工艺产线的评价策略，确定各目标设备的数量，完成半导体工艺产线设备配置；

其中，在制程子库中获取每步工艺制程对应的设备类型，具体包括如下步骤：

获取制程子库中预先设定的工艺制程与设备类型适配关系；

基于制程子库和工艺制程路线，确定每个工艺制程对应的设备类型；

其中，预先设定的工艺制程与设备类型适配关系中各步工艺制程均对应至少一种设备类型，设备类型包括主工艺设备和附属设备；

基于设备配置清单，通过设备选型模型遍历设备子库中对应的设备，给出目标设备集，并配置目标设备的生产能力和可用率，具体包括如下步骤：

以设备配置清单为依据，根据设备配置清单中各个设备类型的设备信息，对设备子库进行初次筛选，得到初筛设备清单；

基于目标半导体的基础属性，以及对应工艺制程的权重，对初筛设备清单进行二次筛选，给出初始目标设备清单；

根据构建的设备选型模型，遍历初始目标设备清单，给出目标设备集；

配置给出各目标设备的生产能力和可用率；根据构建的设备选型模型，遍历初始目标设备清单，给出目标设备集，具体包括如下步骤：

获取每步工艺制程的属性，形成工艺制程属性集合U，U={U₁，U₂，U₃，……，U_n}；

遍历并分析初始目标设备清单，获取多组初始目标设备的要求属性，形成初始目标设备要求属性集合J，J={J₁₁，J₁₂，J₁₃，……，J_1m，……，J_p1，J_p2，J_p3，……J_pm}；

分析工艺制程属性集合与各组初始目标设备要求属性集合的关联程度，并给出关联度集合，关联度集合具体表示为：

;

其中，为工艺制程属性集合与初始目标设备要求属性集合的关联度集合，U_i为第i个工艺制程属性的抽象数值，n为工艺制程属性的总数，J_1j为第1组中第j个初始目标设备要求属性的抽象数值，J_pj为第p组中第j个初始目标设备要求属性的抽象数值，p为初始目标设备的组数，m为每组初始目标设备要求属性的总数；

基于对关联度集合的分析，给出目标设备集。

2.如权利要求1所述半导体工艺产线设备配置方法，其特征在于，构建半导体工艺产线的数据库，具体包括如下步骤：

获取半导体工艺产线的源数据，识别源数据中的缺失值和异常值；

判定缺失值和异常值的数据类型，并进行筛分，其中，数据类型分为目标参数字段和非目标参数字段；

对源数据中目标参数字段的缺失值和异常值进行归零处理，得到预处理数据源；

将预处理数据源进行标准化格式处理后，对应录入数据库的工艺子库、制程子库及设备子库。

3.如权利要求1所述半导体工艺产线设备配置方法，其特征在于，对数据库设置使用权限包括：划分对数据库使用的权限类型，以及与权限类型对应的用户权限，其中，权限类型包括读取、添加、更新以及删除中的至少一种。