[发明专利]一种供电安全回路和半导体工艺设备

说明书

本发明实施例提供了一种供电安全回路和半导体工艺设备，所述供电安全回路用于接入厂务进电和不间断电源，进行配电输出；供电安全回路包括供电模块处于闭合状态时，接入所述厂务进电进行配电输出；开关控制模块与所述供电模块连接，在处于闭合状态时，控制所述延时控制模块闭合；延时控制模块与所述开关控制模块和所述供电模块在处于闭合状态时，基于不间断电源所述控制所述供电模块闭合；且在所述厂务进电波动时，延时控制所述供电模块断开。通过本发明实施例可以在厂务供电出现短时异常情况时，保证供电回路的导通，保证整体设备的正常运行和工艺运行。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别是涉及一种供电安全回路和一种半导体工艺设备。

背景技术

现有供电回路可实现安全供电、远距离控制功能，但对电网波动，和对短时断电无容错能力，一旦发生电网波动或短时断电情况，供电回路会即时切断，导致正在进行半导体工艺进行中断，对于成本高昂的半导体工艺来说损失巨大，影响半导体产品的成品率。

发明内容

鉴于上述问题，提出了本发明实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种供电安全回路和一种半导体工艺设备。

为了解决上述问题，本发明实施例公开了一种供电安全回路，所述供电安全回路用于接入厂务进电和不间断电源，进行配电输出；所述供电安全回路包括：供电模块、开关控制模块和延时控制模块，

所述供电模块用于处于闭合状态时，接入所述厂务进电进行配电输出；

所述开关控制模块与所述供电模块连接，用于在处于闭合状态时，控制所述延时控制模块闭合；

所述延时控制模块的控制端与所述开关控制模块、所述供电模块连接，所述延时控制模块的电源输入端与所述不间断电源连接，用于在处于闭合状态时，基于所述不间断电源控制所述供电模块闭合；且在所述厂务进电波动时，延时控制所述供电模块断开，在预设时间内所述厂务进电恢复时，保持所述开关模块闭合。

可选地，所述供电模块包括：

断路器，用于接入所述厂务进电；

与所述断路器输出端连接的接触器主触点，用于在其闭合时，进行配电输出。

可选地，所述开关控制模块包括：

与所述断路器输出端连接第一直流电源单元，用于将所述厂务进电转换为第一直流电；

与所述第一直流电源单元连接形成回路的开关单元，所述开关单元的控制输出端与所述延时控制模块连接，用于在其闭合时，基于所述第一直流电控制所述延时控制模块闭合。

可选地，所述开关单元包括：

进电开关，所述进电开关的公共端与所述第一直流电源单元的第一直流端连接，用于在其闭合时，传递所述第一直流电；

继电器，所述继电器的负端与所述进电开关的常开端连接，所述继电器的正端与所述第一直流电源单元的第二直流端连接，用于通入所述第一直流电时，控制所述延时控制模块闭合。

可选地，当所述进电开关为按钮开关时，所述开关单元还包括：

接触器辅助触点，所述接触器辅助触点与所述按钮开关并联，所述接触器辅助触点与所述延时控制模块连接，用于在所述按钮开关处于断开状态，且所述延时控制模块处于闭合状态时，传递所述第一直流电。

可选地，所述开关单元还包括：

互锁开关，所述互锁开关与所述进电开关的常开端和所述继电器负端连接，用于在所述供电模块所在柜门对应的柜门开关闭合且急停按钮旋起时闭合，连通所述进电开关和所述继电器。

可选地，所述延时控制模块包括：