[发明专利]一种供电安全回路和半导体工艺设备

权利要求书

1.一种供电安全回路，其特征在于，所述供电安全回路用于接入厂务进电和不间断电源，进行配电输出；所述供电安全回路包括：供电模块、开关控制模块和延时控制模块，

所述供电模块用于处于闭合状态时，接入所述厂务进电进行配电输出；

所述开关控制模块与所述供电模块连接，用于在处于闭合状态时，控制所述延时控制模块闭合；

所述延时控制模块的控制端与所述开关控制模块、所述供电模块连接，所述延时控制模块的电源输入端与所述不间断电源连接，用于在处于闭合状态时，基于所述不间断电源控制所述供电模块闭合；且在所述厂务进电波动时，延时控制所述供电模块断开，在预设时间内所述厂务进电恢复时，保持所述开关模块闭合。

2.根据权利要求1所述的供电安全回路，其特征在于，所述供电模块包括：

断路器，用于接入所述厂务进电；

与所述断路器输出端连接的接触器主触点，用于在其闭合时，进行配电输出。

3.根据权利要求2所述的供电安全回路，其特征在于，所述开关控制模块包括：

与所述断路器输出端连接第一直流电源单元，用于将所述厂务进电转换为第一直流电；

与所述第一直流电源单元连接形成回路的开关单元，所述开关单元的控制输出端与所述延时控制模块连接，用于在其闭合时，基于所述第一直流电控制所述延时控制模块闭合。

4.根据权利要求3所述的供电安全回路，其特征在于，所述开关单元包括：

进电开关，所述进电开关的公共端与所述第一直流电源单元的第一直流端连接，用于在其闭合时，传递所述第一直流电；

继电器，所述继电器的负端与所述进电开关的常开端连接，所述继电器的正端与所述第一直流电源单元的第二直流端连接，用于通入所述第一直流电时，控制所述延时控制模块闭合。

5.根据权利要求4所述的供电安全回路，其特征在于，当所述进电开关为按钮开关时，所述开关单元还包括：

接触器辅助触点，所述接触器辅助触点与所述按钮开关并联，所述接触器辅助触点与所述延时控制模块连接，用于在所述按钮开关处于断开状态，且所述延时控制模块处于闭合状态时，传递所述第一直流电。

6.根据权利要求4所述的供电安全回路，其特征在于，所述开关单元还包括：

互锁开关，所述互锁开关与所述进电开关的常开端和所述继电器负端连接，用于在所述供电模块所在柜门对应的柜门开关闭合且急停按钮旋起时闭合，连通所述进电开关和所述继电器。

7.根据权利要求3所述的供电安全回路，其特征在于，所述延时控制模块包括：

第二直流电源单元，用于接入所述不间断电源，输出第二直流电；

延时控制单元，与所述第二直流电源单元形成回路，所述延时控制单元与所述供电模块、所述开关控制模块连接，用于在处于闭合状态时，基于所述第二直流电控制所述供电模块和所述开关控制模块闭合；且在所述厂务进电波动时，延时控制所述供电模块断开。

8.根据权利要求7所述的供电安全回路，其特征在于，所述延时控制单元包括：

延时控制子单元，与第二直流电源单元形成回路，所述延时控制子单元与所述开关控制模块连接，用于在所述开关单元闭合时，闭合通入所述第二直流电，且在所述厂务进电波动时，延时断电；

开关控制子单元，与所述延时控制子单元并联，所述开关控制子单元与所述开关单元连接，用于通入所述第二直流电，控制所述接触器主触点闭合，且在所述延时控制子单元处于延时断电时，延时控制所述开关单元断开。

9.根据权利要求8所述的供电安全回路，其特征在于，所述延时控制子单元包括：

继电器触点，所述继电器触点的常开端与第二直流电源单元的第一直流端连接，所述继电器触点与所述开关单元连接，用于在所述开关单元处于闭合时，闭合通入所述第二直流电；

延时继电器，所述延时继电器的启动端与所述继电器触点的公共端连接，所述延时继电器的负端与所述第二直流电源单元的第二直流端连接，用于在所述厂务进电波动时，延时断电。