[发明专利]基板处理装置

说明书

提供一种能够将具有多个批量处理部的基板处理装置的设置面积设定为较小,并且能够容易地实施批量处理部的维护的技术。本发明的一个方式的基板处理装置包括:运入运出部,其具有供容纳有基板的容器被运入运出的第一侧面、以及与上述第一侧面相反侧的第二侧面；基板输送部,其沿与上述第二侧面正交的第一水平方向延伸；以及多个批量处理部,其沿上述基板输送部的长度方向相邻,上述多个批量处理部分别具有:处理容器,其容纳多个上述基板而进行处理；气体供给单元,其向上述处理容器内供给气体；以排气单元,其对上述处理容器内的气体进行排气,在上述排气单元的上方,设置用于进行上述多个批量处理部的维护的第一维护区域。

技术领域

本发明涉及基板处理装置。

背景技术

公知有在对多片基板一并进行处理的立式热处理装置中,对于一个装载机模块设置多个工艺模块的构成(例如,参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本国特开2020-113746号公报

发明内容

本发明要解决的问题

本发明提供给一种能够将具有多个批量处理部的基板处理装置的设置面积设定为较小,并且能够容易地实施批量处理部的维护的技术。

用于解决问题的方法

本发明的一个方式的基板处理装置包括:运入运出部,其具有供容纳有基板的容器被运入运出的第一侧面、以及与上述第一侧面相反侧的第二侧面；基板输送部,其沿与上述第二侧面正交的第一水平方向延伸；以及多个批量处理部,其沿上述基板输送部的长度方向相邻,上述多个批量处理部分别具有:处理容器,其容纳多个上述基板而进行处理；气体供给单元,其向上述处理容器内供给气体；以及排气单元,其对上述处理容器内的气体进行排气,在上述排气单元的上方,设置用于进行上述多个批量处理部的维护的第一维护区域。

发明的效果

根据本发明,能够将具有多个批量处理部的基板处理装置的设置面积设定为较小,并且能够容易地实施批量处理部的维护。

附图说明

图1是示出实施方式的基板处理装置的立体图(1)。

图2是示出实施方式的基板处理装置的立体图(2)。

图3是示出实施方式的基板处理装置的立体图(3)。

图4是示出运入运出部的概略图(1)。

图5是示出运入运出部的概略图(2)。

图6是示出运入运出部的概略图(3)。

图7是示出运入运出部的概略图(4)。

图8是示出运入运出部的概略图(5)。

图9是示出基板输送部以及批量处理部的概略图。

图10是示出实施方式的变形例的基板处理装置的立体图(1)。

图11是示出实施方式的变形例的基板处理装置的立体图(2)。

图12是安装于排气单元的栅栏的分解立体图。

图13是示出安装于排气单元的栅栏的立体图。

图14是示出加热器交换方法的一个例子的立体图(1)。

图15是示出加热器交换方法的一个例子的立体图(2)。

图16是示出加热器交换方法的一个例子的立体图(3)。

图17是示出加热器交换方法的一个例子的立体图(4)。