[发明专利]具有源容器重量监测的反应器系统

权利要求书

1.一种反应器系统，包括:

反应室；

源外壳；

定位在源外壳中的源容器，该源容器包括适于接收一定体积的源材料的内部空间，其中该内部空间联接到反应室；以及

容器重量监测组件，其包括位于源容器的底壁和源外壳的支撑元件之间的传感器组件，其中源组件包括多个力传感器，其配置为感测源容器和源材料的组合重量。

2.根据权利要求1所述的反应器系统，其中，每个力传感器配置为输出指示由所述源容器施加在所述一个或多个力传感器上的力的信号。

3.根据权利要求1所述的反应器系统，其中，每个力传感器包括测力传感器，并且所述测力传感器以120度偏移的圆形图案布置。

4.根据权利要求1所述的反应器系统，还包括位于所述源容器的底壁和所述支撑元件之间的容器底座加热器，其中，所述一个或多个力传感器包括嵌入在容器底座加热器的外表面中的气动测力传感器。

5.根据权利要求2所述的反应器系统，其中，所述容器重量监测组件还包括控制器，其配置为处理所述多个力传感器中的每个的信号，并根据处理信号计算所述源材料的重量。

6.根据权利要求5所述的反应器系统，其中，处理所述信号包括将转换因子应用于所述组合重量，以去除所述源容器的重量和由盖子附接硬件施加在源容器的盖子上的力。

7.根据权利要求5所述的反应器系统，其中，所述控制器基于所述源材料的计算重量与最小阈值的比较生成指示重量的指示符。

8.根据权利要求5所述的反应器系统，其中，所述盖子附接硬件包括输入管线和输出管线，并且其中，所述输入管线和输出管线中的每个包括波纹管或盘管。

9.根据权利要求8所述的反应器系统，其中，所述波纹管或盘管位于所述源容器的盖子和所述源外壳的上壁之间。

10.根据权利要求2所述的反应器系统，其中，所述源外壳的内空间的工作温度大于150℃。

11.一种适于监测源可用性的反应器系统，包括:

源外壳；

源容器，其位于源外壳的内空间中，其中源容器包括限定用于接收源材料的内部空间的底壁、盖子和侧壁；

定位成与源容器的底壁相邻并接触的多个力传感器，其中多个力传感器中的每个配置成输出指示施加在多个力传感器中的相应一个上的力的信号；

用于多个力传感器中的每个的信号调节元件，其适于调节由多个力传感器中的每个输出的信号；以及

控制器，其配置为处理由信号调节元件输出的信号，以计算源材料的重量。

12.根据权利要求11所述的反应器系统，其中，所述多个力传感器中的每个包括测力传感器，并且所述测力传感器彼此等距布置。

13.根据权利要求11所述的反应器系统，还包括位于所述源容器的底壁和所述支撑元件之间的容器底座加热器，其中，所述多个力传感器中的每个包括嵌入在容器底座加热器的外表面中的气动测力传感器。

14.根据权利要求11所述的反应器系统，其中，处理所述信号包括将转换因子应用于所述源容器和所述源材料的组合重量，以考虑源容器的重量和由盖子附接硬件施加在源容器的盖子上的力。

15.根据权利要求11所述的反应器系统，其中，所述控制器基于所述源材料的计算重量与再填充警报阈值的比较生成指示源材料的当前重量的指示符。

16.根据权利要求14所述的反应器系统，其中，所述盖子附接硬件包括输入管线和输出管线，并且其中，所述输入管线和输出管线中的每个包括波纹管或盘管。