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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]前体容器冷却组件、包括该组件的系统及其使用方法-CN202310413275.7在审
发明人： P·沙尔玛;A·沃拉;A·金蒂 -专利权人： ASMIP私人控股有限公司
申请日： 2023-04-18 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：公开了前体容器冷却组件、包括该组件的反应器系统以及使用该组件和系统的方法。前体容器冷却组件包括热电冷却装置和流体冷却板，以保持前体容器或前体容器冷却组件的其他部分的期望温度。
容器冷却组件包括系统及其使用方法

[发明专利]用于室盖冷却的方法和设备-CN202310318742.8在审
发明人： A·金蒂;A·法德尼斯;K·范德如里奥;T·菲茨杰拉德 -专利权人： ASM IP私人控股有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：一种用于半导体处理的反应器系统，例如用于化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)和其他沉积步骤，其利用具有两个或更多个反应室的反应器模块。反应器系统包括冷却系统的部件，以在包围包含反应室的壳体或容器的室盖上提供增强的温度均匀性。部分地，冷却系统适于利用对流传热，并且包括位于反应室喷淋头的外部部分之间的中心空间中的室盖中心的带翅片的散热器。此外，冷却系统包括风扇，该风扇定位成使其出口位于中心空间并位于带翅片的散热器上方，使得空气被导入中心空间并到散热器上。
用于冷却方法设备

[发明专利]用于液体源的温度控制系统-CN202310210472.9在审
发明人： A·金蒂;P·沙尔玛;S·比亚尼 -专利权人： ASM IP私人控股有限公司
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：一种用于半导体处理的反应器系统，其利用需要保持在特定温度控制带或范围内的液体源进行沉积。反应器系统包括温度控制系统，其包括加热和冷却装置，用于为储存液体源的容器提供加热和冷却，以将液体源保持在期望的温度控制带或范围内。以这种方式，加热和冷却装置可以用于反应器系统，其中容器需要被冷却、需要被加热，或者使用同时或交替的加热和冷却，以在特定的温度控制范围内提供对源温度的增强控制。
用于液体温度控制系统

[发明专利]具有源容器重量监测的反应器系统-CN202310082879.8在审
发明人： V·莫图帕利;P·沙尔玛;A·金蒂;E·希罗;T·邓恩 -专利权人： ASM IP私人控股有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种用于反应器系统中的源容器重量监测组件，用于提供对来自源容器的源或过程材料的可用性的实时和直接测量。该组件包括位于源容器的底壁和容器的支撑元件(例如源容器外壳的底座)之间的一个或多个力或负载传感器，例如测力传感器。传感器定位成至少部分地支撑容器，并且信号调节元件处理来自传感器的输出电信号，然后控制器利用转换因子处理来自信号调节部件的输出信号，例如以确定源容器和存储在其中的过程材料(例如固体、液体或气体前体)的当前重量。控制器使用该重量来计算源容器中可用的过程材料或化学物质的量。
有源容器重量监测反应器系统

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