[实用新型]一种夹持式预对准平台

权利要求书

1.一种夹持式预对准平台，其特征在于，包括：

旋转平台，其包括：

平台主体，其上布置晶圆，所述平台主体被配置为带动晶圆旋转；以及

夹持装置，其布置在所述平台主体的侧面，所述夹持装置被配置为夹持所述晶圆的侧面，其中所述夹持装置为气缸驱动的夹持装置。

2.根据权利要求1所述的夹持式预对准平台，其特征在于，还包括：

升降结构，其布置在所述旋转平台的侧面，所述升降结构被配置为在竖直方向上运动以从所述旋转平台取放晶圆。

3.根据权利要求2所述的夹持式预对准平台，其特征在于，所述升降结构包括承载结构，所述承载结构被配置为承载晶圆。

4.根据权利要求3所述的夹持式预对准平台，其特征在于，所述升降结构包括U形凹槽，其中所述升降结构通过所述U形凹槽插在所述旋转平台的外侧。

5.根据权利要求1所述的夹持式预对准平台，其特征在于，所述夹持装置的数量为3个，所述夹持装置彼此间隔120°布置在所述平台主体的周围。

6.根据权利要求1所述的夹持式预对准平台，其特征在于，还包括：

扫描装置，其被配置为扫描晶圆。

7.根据权利要求2所述的夹持式预对准平台，其特征在于，还包括：

机械手，其被配置为从所述升降结构取放晶圆。

8.根据权利要求1所述的夹持式预对准平台，其特征在于，所述夹持装置的第一端固定在平台主体上，所述夹持装置的第二端相对第一端向上升高，并且在气缸的驱动下向外伸出或向中心缩回。

9.根据权利要求8所述的夹持式预对准平台，其特征在于，所述夹持装置的第二端包括晶圆承载部以及设置在晶圆承载部外围的卡位凸起，当将晶圆放置在所述夹持装置上时，通过气缸驱动，所述夹持装置的卡位凸起夹紧晶圆。