[实用新型]一种高频摆动四轴激光振镜

权利要求书

1.一种高频摆动四轴激光振镜，其特征在于：包括内部中空的壳体(1)，壳体(1)内部布设有四组振镜组件，包括第一轴振镜组件(2)、第二轴振镜组件(5)、第三轴振镜组件(3)和第四轴振镜组件(4)，单组振镜组件中均包括有反射镜片和带动该反射镜片转动的振镜电机；所述壳体(1)相邻两个面上分别内外贯穿开设有进光口(11)和出光口，从进光口(11)射入壳体(1)内部的入射光束(81)，依次于第一轴振镜组件(2)的第一反射镜片(20)、第二轴振镜组件(5)的第二反射镜片(50)、第三轴振镜组件(3)的第三反射镜片(30)和第四轴振镜组件(4)的第四反射镜片(40)上反射后，经由出光口射出壳体(1)；所述第一反射镜片(20)、第二反射镜片(50)的转动角度小于第三反射镜片(30)、第四反射镜片(40)的转动角度。

2.如权利要求1所述的一种高频摆动四轴激光振镜，其特征在于：所述第一反射镜片(20)、第二反射镜片(50)在相应振镜电机带动下进行高频摆动，第三反射镜片(30)、第四反射镜片(40)在相应振镜电机带动下进行100HZ以下的摆动。

3.如权利要求1所述的一种高频摆动四轴激光振镜，其特征在于：所述第一反射镜片(20)、第二反射镜片(50)摆动的机械角度范围为±0.2°，第三反射镜片(30)、第四反射镜片(40)摆动的机械角度范围为±10°。

4.如权利要求1所述的一种高频摆动四轴激光振镜，其特征在于：由第二反射镜片(50)反射后射向第三反射镜片(30)的第二反射光(83)与入射光束(81)平行。

5.如权利要求1所述的一种高频摆动四轴激光振镜，其特征在于：各组振镜组件分别通过相应的支座固定安装于壳体(1)内壁面上。

6.如权利要求5所述的一种高频摆动四轴激光振镜，其特征在于：还包括冷却组件，冷却组件中的管接头一(61)、管接头二(62)分别与外部进水、出水连通，管接头一(61)、管接头二(62)之间分别通过冷却管路(6)将各组振镜组件的支座串联连通；单个支座上均开设有供冷却管路(6)贯通相接的通孔(212)。

7.如权利要求6所述的一种高频摆动四轴激光振镜，其特征在于：壳体(1)内部后壁面上安装有驱动板(7)，驱动板(7)与外部电源、各组振镜组件电性连接。

8.如权利要求7所述的一种高频摆动四轴激光振镜，其特征在于：所述壳体(1)后壁面内开设有通水孔(15)，通水孔(15)一端连通于出水接头(14)，通水孔(15)另一端连通于冷却组件中的管接头二(62)；所述管接头一(61)经由开设于壳体(1)上的孔连通于进水接头(13)，从进水接头(13)、冷却组件、通水孔(15)和出水接头(14)之间串联构成通路。

9.如权利要求8所述的一种高频摆动四轴激光振镜，其特征在于：所述通水孔(15)包括有上下间隔平行布设的两段水平部，两段水平部的其中一个端部之间经由竖直部连通，上方水平部的另一端连通对接有出水接头(14)，下方水平部的另一端连通对接有管接头二(62)；所述管接头一(61)、进水接头(13)连通安装于壳体(1)两段水平部的间隔之间，进水接头(13)、出水接头(14)均安装于壳体(1)外壁面上。

10.如权利要求5所述的一种高频摆动四轴激光振镜，其特征在于：所述支座的结构为：包括T型结构的座体(211)，座体(211)水平臂与壳体(1)内壁面贴合并锁装固定，座体(211)竖直臂上开设有供振镜电机贯穿的装夹孔(213)，装夹孔(213)与座体(211)竖直臂顶面之间开始有连通的通槽(214)，贯穿座体(211)竖直臂、通槽(214)两侧壁开设有锁装孔(215)。