[实用新型]一种夹持稳定的激光芯片蚀刻夹具有效
申请号: | 202223157095.7 | 申请日: | 2022-11-28 |
公开(公告)号: | CN218827045U | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
发明(设计)人: | 冷祥;卢胜前;李宁 | 申请(专利权)人: | 无锡市华辰芯光半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/67 |
代理公司: | 合肥晟科正创专利代理事务所(普通合伙) 34274 | 代理人: | 刘闯 |
地址: | 214028 江苏省无锡市新*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 夹持 稳定 激光 芯片 蚀刻 夹具 | ||
本实用新型属于芯片刻蚀技术领域,尤其为一种夹持稳定的激光芯片蚀刻夹具,包括底座,所述底座的顶部对称固定有两个立板,两个所述立板的顶部固定有支撑板,所述支撑板的顶部对称滑动连接有两个夹板,两个所述夹板的底部均固定有连接块,所述支撑板的顶部对称开设有两个适配于连接块的条形通口,两个所述连接块分别滑动贯穿相对应的条形通口。本实用新型通过设置底座、立板、支撑板、夹板、连接块、条形通口、滑板、转杆、齿轮、齿条、螺杆和旋钮等结构,可以实现两个夹板往相反的方向移动,从而可以将芯片夹持固定住,与现有通过弹簧弹力夹持的方式相比,夹持的更为稳定。
技术领域
本实用新型涉及芯片刻蚀技术领域,具体为一种夹持稳定的激光芯片蚀刻夹具。
背景技术
激光芯片在生产加工过程中需要在其表面进行刻蚀,在刻蚀时需要使用夹具将芯片固定住,根据现有授权专利公告号CN206774507U所述的一种便于芯片刻蚀的夹具,该专利中通过第一弹簧和第二弹簧的弹力将左夹具和右夹具夹紧,从而将芯片夹持住,但是这种夹持固定的方式不够稳定,因为弹簧容易发生形变,所以芯片夹持的不够稳定,因此我们提出了一种夹持稳定的激光芯片蚀刻夹具来解决上述问题。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种夹持稳定的激光芯片蚀刻夹具,解决了上述背景技术中所提出的问题。
(二)技术方案
本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案:
一种夹持稳定的激光芯片蚀刻夹具,包括底座,所述底座的顶部对称固定有两个立板,两个所述立板的顶部固定有支撑板,所述支撑板的顶部对称滑动连接有两个夹板,两个所述夹板的底部均固定有连接块,所述支撑板的顶部对称开设有两个适配于连接块的条形通口,两个所述连接块分别滑动贯穿相对应的条形通口,所述底座和支撑板之间设置有用于驱动两个连接块往相反方向移动的驱动组件。
进一步地,所述驱动组件包括对称滑动连接在底座顶部的两个滑板,两个所述滑板的顶部分别与相邻连接块的底部固定连接,所述底座的中部通过轴承转动连接有转杆,所述转杆的顶端通过轴承与支撑板的底部转动连接,所述转杆的表面套设固定有齿轮,两个所述滑板的一侧壁均固定有齿条,两个所述齿条均与齿轮啮合连接,其中一个所述立板的侧壁螺纹连接有螺杆,所述螺杆的一端固定有旋钮,所述螺杆的另一端通过轴承与相邻滑板的一侧壁转动连接。
进一步地,两个所述滑板的底部均固定有T型限位块,所述底座的顶部对称开设有两个适配于T型限位块的T型限位槽。
进一步地,其中一个所述立板的侧壁开设有适配于螺杆的螺纹孔,所述旋钮的表面开设有防滑纹路。
进一步地,两个所述夹板的底部均对称固定有两个滑块,所述支撑板的顶部对称开设有四个适配于滑块的滑槽,两个所述夹板的一侧壁均固定有橡胶垫。
(三)有益效果
与现有技术相比,本实用新型提供了一种夹持稳定的激光芯片蚀刻夹具,具备以下有益效果:
本实用新型,通过设置底座、立板、支撑板、夹板、连接块、条形通口、滑板、转杆、齿轮、齿条、螺杆和旋钮等结构,可以实现两个夹板往相反的方向移动,从而可以将芯片夹持固定住,与现有通过弹簧弹力夹持的方式相比,夹持的更为稳定。
附图说明
图1为本实用新型整体正面结构示意图;
图2为本实用新型整体俯视结构示意图;
图3为本实用新型连接块结构示意图;
图4为本实用新型支撑板结构示意图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造