[实用新型]一种夹持稳定的激光芯片蚀刻夹具有效
| 申请号： | 202223157095.7 | 申请日： | 2022-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN218827045U | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 冷祥;卢胜前;李宁 | 申请（专利权）人： | 无锡市华辰芯光半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 合肥晟科正创专利代理事务所(普通合伙) 34274 | 代理人： | 刘闯 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 夹持 稳定 激光 芯片 蚀刻 夹具 | ||
1.一种夹持稳定的激光芯片蚀刻夹具，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部对称固定有两个立板(2)，两个所述立板(2)的顶部固定有支撑板(3)，所述支撑板(3)的顶部对称滑动连接有两个夹板(4)，两个所述夹板(4)的底部均固定有连接块(5)，所述支撑板(3)的顶部对称开设有两个适配于连接块(5)的条形通口(6)，两个所述连接块(5)分别滑动贯穿相对应的条形通口(6)，所述底座(1)和支撑板(3)之间设置有用于驱动两个连接块(5)往相反方向移动的驱动组件(7)。
2.根据权利要求1所述的一种夹持稳定的激光芯片蚀刻夹具，其特征在于：所述驱动组件(7)包括对称滑动连接在底座(1)顶部的两个滑板(701)，两个所述滑板(701)的顶部分别与相邻连接块(5)的底部固定连接，所述底座(1)的中部通过轴承转动连接有转杆(702)，所述转杆(702)的顶端通过轴承与支撑板(3)的底部转动连接，所述转杆(702)的表面套设固定有齿轮(703)，两个所述滑板(701)的一侧壁均固定有齿条(704)，两个所述齿条(704)均与齿轮(703)啮合连接，其中一个所述立板(2)的侧壁螺纹连接有螺杆(705)，所述螺杆(705)的一端固定有旋钮(706)，所述螺杆(705)的另一端通过轴承与相邻滑板(701)的一侧壁转动连接。
3.根据权利要求2所述的一种夹持稳定的激光芯片蚀刻夹具，其特征在于：两个所述滑板(701)的底部均固定有T型限位块(707)，所述底座(1)的顶部对称开设有两个适配于T型限位块(707)的T型限位槽(8)。
4.根据权利要求2所述的一种夹持稳定的激光芯片蚀刻夹具，其特征在于：其中一个所述立板(2)的侧壁开设有适配于螺杆(705)的螺纹孔(9)，所述旋钮(706)的表面开设有防滑纹路。
5.根据权利要求1所述的一种夹持稳定的激光芯片蚀刻夹具，其特征在于：两个所述夹板(4)的底部均对称固定有两个滑块(10)，所述支撑板(3)的顶部对称开设有四个适配于滑块(10)的滑槽(11)，两个所述夹板(4)的一侧壁均固定有橡胶垫(12)。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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