[实用新型]一种金属剥离工艺装置

权利要求书

1.一种金属剥离工艺装置，其特征在于，包括：高压喷头、电机、摆臂、可转角度晶圆夹具、超声波振子、电源、不锈钢槽体、循环泵、药液管路；

所述不锈钢槽体设置有带孔隔板，将不锈钢槽体分隔成剥离药剂浸泡槽和剥离药剂循环槽；

所述剥离药剂浸泡槽侧壁开孔；

所述剥离药剂循环槽下部开孔并延伸出药液管路与循环泵连接，循环泵的输出端与药液管路连接，药液管路通过剥离药剂浸泡槽侧壁开孔伸入剥离药剂浸泡槽，将剥离药剂通过高压喷头循环泵入剥离药剂浸泡槽；

所述超声波振子贴紧安装在所述剥离药剂浸泡槽底部，所述电源与超声波振子电连接；

所述电机的输出轴与摆臂连接，所述摆臂伸入剥离药剂浸泡槽中，摆臂的终端连接高压喷头，通过摆臂转动带动高压喷头上下移动；

所述可转角度晶圆夹具卡接半导体晶圆，将半导体晶圆整体浸没在剥离药剂中，所述可转角度晶圆夹具安装在所述剥离药剂浸泡槽中；

所述高压喷头喷淋剥离药剂冲击半导体晶圆的表面。

2.根据权利要求1所述的一种金属剥离工艺装置，其特征在于，所述可转角度晶圆夹具可调角度为0°-90°；

所述可转角度晶圆夹具包括：承载盘和支架；

所述承载盘设置有角度调节部，角度调节部通过旋转轴实现承载盘与支架连接。