[实用新型]一种晶圆存取库

说明书

本实用新型公开了一种晶圆存取库，包括：存取库，所述存取库对即将入库的晶圆进行存放，所述存取库包括存取架和移载机，所述存取架对晶圆进行存放，所述移载机把位于存取架的晶圆进行存放和拿取；输送线，所述输送线对晶圆输送；存片机，所述存片机把晶圆转运至输送线；取片机，所述取片机把来自输送线上的晶圆进行取出。本实用新型的有益效果是：通过将装有晶圆的卡塞放置到存片机中，并通过将存片机中装有晶圆的卡塞输送至移载机的输入端，并通过移载机将装有晶圆的卡塞存放至存取架上，当进行使用时候，通过移载机将存取架上的装有晶圆的卡塞移送至输送线，再通过取片机将晶圆取出至下一工序。

技术领域

本实用新型涉及半导体晶圆片存放技术领域，特别是一种晶圆存取库。

背景技术

在半导体行业中，晶圆是其的一个重要组成部分，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。

半导体晶圆(或者说晶圆盒)的储存库中，设置有若干存储格，以及在储存库中使用堆垛机对存储格中的晶圆盒进行取放操作，但实际晶圆盒的存取过程中，有些晶圆盒在进出储存库中需要人工干预，比如工人将晶圆盒放入储存库，及工人从储存库中取出晶圆盒等等。另外，鉴于工人进出储存库的过程中容易出现不可控因素，比如造成芯片碰撞破碎、与堆垛机发生触碰等情形，工人并不便于进入储存库中直接取放晶圆盒，使整体的存取效率低下，自动化程度低，为此我们提供一种晶圆存取库来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种晶圆存取库。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

一种晶圆存取库，包括：存取库，所述存取库对即将入库的晶圆进行存放，所述存取库包括存取架和移载机，所述存取架对晶圆进行存放，所述移载机把位于存取架的晶圆进行存放和拿取；输送线，所述输送线对晶圆输送；存片机，所述存片机把晶圆转运至输送线；取片机，所述取片机把来自输送线上的晶圆进行取出；其中，所述输送线位于并列设置的存片机、取片机与存取库之间，将晶圆转运至存片机中，通过移载机将存片机转运至输送线的晶圆放置到存取架上，当需要取片时，通过移载机将晶圆取出并转运至输送线，取片机将位于输送线的晶圆进行搬运取出。

优选的，所述存片机包括用于安装的第一机架，所述第一机架上安装有上料转盘机构，所述上料转盘机构包括固定安装在第一机架上的第一固定架，所述第一固定架上安装有第一DD马达，所述第一DD马达动力输出端安装有第一转盘，所述第一转盘上设置有若干个关于第一转盘轴线均匀间隔分布的第一治具，每个所述第一治具上设置至少一个第一卡塞，所述第一转盘的入料端的下方设置检测器；所述第一机架上还设置有搬运机构和读码器，所述搬运机构对第一转盘上的第一卡塞进行搬运至输送线上，所述读码器位于搬运机构一侧。

优选的，所述取片机包括第二机架，所述第二机架上设置有检测转盘机构，所述检测转盘机构的一检测位设置第一读码检测机构，所述检测转盘机构的输入位设置搬运机构和第一取片机构，所述检测转盘机构的输出位设置有第二取片机构，所述第二取片机构一侧设置放置架，所述第二机架上还设置有出库缓存机构，且出库缓存机构位于搬运机构的一侧，所述出库缓存机构包括安装在第二机架上的第二固定架，所述第二固定架底面安装第三伺服电机，安装在第三伺服电机动力输出端的载板上设置有至少一个第四治具，所述第四治具上设置第五卡塞，所述第二取片机构另一侧设置有第四卡塞，其中所述第一取片机构把第五卡塞内的晶圆片转运至检测转盘机构输入位；

所述检测转盘机构包括安装在第二机架上的第一安装板，所述第一安装板一侧面固定安装第六伺服电机，所述第六伺服电机动力输出端安装有第二转盘，所述第二转盘上开设有若干个关于第二转盘中心均匀间隔设置的放置槽，所述第一安装板另一侧面固定设置第三气缸，所述第三气缸上的安装架安装有第一读码检测相机。