[实用新型]一种晶圆存取库

权利要求书

1.一种晶圆存取库，其特征在于，包括：

存取库(3)，所述存取库(3)对即将入库的晶圆进行存放，所述存取库(3)包括存取架(31)和移载机(32)，所述存取架(31)对晶圆进行存放，所述移载机(32)把位于存取架(31)的晶圆进行存放和拿取；

输送线(4)，所述输送线(4)对晶圆输送；

存片机(1)，所述存片机(1)把晶圆转运至输送线(4)；

取片机(2)，所述取片机(2)把来自输送线(4)上的晶圆进行取出；

其中，所述输送线(4)位于并列设置的存片机(1)、取片机(2)与存取库(3)之间，将晶圆转运至存片机(1)中，通过移载机(32)将存片机(1)转运至输送线(4)的晶圆放置到存取架(31)上，当需要取片时，通过移载机(32)将晶圆取出并转运至输送线(4)，取片机(2)将位于输送线(4)的晶圆进行搬运取出。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆存取库，其特征在于：所述存片机(1)包括用于安装的第一机架(11)，所述第一机架(11)上安装有上料转盘机构(12)，所述上料转盘机构(12)包括固定安装在第一机架(11)上的第一固定架(121)，所述第一固定架(121)上安装有第一DD马达(122)，所述第一DD马达(122)动力输出端安装有第一转盘(124)，所述第一转盘(124)上设置有若干个关于第一转盘(124)轴线均匀间隔分布的第一治具(125)，每个所述第一治具(125)上设置至少一个第一卡塞(126)，所述第一转盘(124)的入料端的下方设置检测器(123)；所述第一机架(11)上还设置有搬运机构(6)和读码器(14)，所述搬运机构(6)对第一转盘(124)上的第一卡塞(126)进行搬运至输送线(4)上，所述读码器(14)位于搬运机构(6)一侧。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆存取库，其特征在于：所述取片机(2)包括第二机架(21)，所述第二机架(21)上设置有检测转盘机构(23)，所述检测转盘机构(23)的一检测位设置第一读码检测机构(8)，所述检测转盘机构(23)的输入位设置搬运机构(6)和第一取片机构(7)，所述检测转盘机构(23)的输出位设置有第二取片机构(24)，所述第二取片机构(24)一侧设置放置架(22)，所述第二机架(21)上还设置有出库缓存机构(25)，且出库缓存机构(25)位于搬运机构(6)的一侧，所述出库缓存机构(25)包括安装在第二机架(21)上的第二固定架(251)，所述第二固定架(251)底面安装第三伺服电机(252)，安装在第三伺服电机(252)动力输出端的载板上设置有至少一个第四治具(253)，所述第四治具(253)上设置第五卡塞(254)，所述第二取片机构(24)另一侧设置有第四卡塞(26)，其中所述第一取片机构(7)把第五卡塞(254)内的晶圆片转运至检测转盘机构(23)输入位；

所述检测转盘机构(23)包括安装在第二机架(21)上的第一安装板(231)，所述第一安装板(231)一侧面固定安装第六伺服电机(232)，所述第六伺服电机(232)动力输出端安装有第二转盘(233)，所述第二转盘(233)上开设有若干个关于第二转盘(233)中心均匀间隔设置的放置槽(234)，所述第一安装板(231)另一侧面固定设置第三气缸(235)，所述第三气缸(235)上的安装架安装有第一读码检测相机(236)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆存取库，其特征在于：还包括倒片机(5)，所述倒片机(5)包括用于安装的第三机架(51)，所述第三机架(51)上表面设置有若干个第三取片机构(52)，相邻的另一个第三取片机构(52)的侧面设置有第一读码检测机构(8)，所述第三取片机构(52)一侧设置第三治具(53)，所述第三治具(53)上设置有若干个与第三取片机构(52)数量相同的第三卡塞(54)，所述第三治具(53)与第三取片机构(52)之间也设置有第一读码检测机构(8)；

所述第三取片机构(52)包括安装在第三机架(51)上的第七直线模组(521)，所述第七直线模组(521)动力输出端设置第八直线模组(522)，所述第八直线模组(522)动力输出端设置第三吸盘(523)。