[实用新型]一种消除太阳能电池绕扩、绕度的沉积炉

权利要求书

1.一种消除太阳能电池绕扩、绕度的沉积炉，其特征在于，包括：

炉管主体，所述炉管主体内部设置有反应腔，所述炉管主体的底部设有进气口，所述炉管主体的顶部设有出气口；

旋转组件，所述旋转组件包括转轴和底托，所述转轴与所述炉管主体转动连接，所述转轴沿竖直方向贯穿所述炉管主体的底部并延伸至所述反应腔内部，所述底托固定安装在所述转轴的顶部，所述底托用于支撑固定载片舟；以及

驱动件，用于驱动所述转轴转动。

2.如权利要求1所述的一种消除太阳能电池绕扩、绕度的沉积炉，其特征在于，所述底托上设置有导气部，所述导气部用于传导气体至载片舟。

3.如权利要求2所述的一种消除太阳能电池绕扩、绕度的沉积炉，其特征在于，所述导气部的数量为多个，沿所述底托的圆周均匀分布。

4.如权利要求3所述的一种消除太阳能电池绕扩、绕度的沉积炉，其特征在于，所述导气部包括多组导气孔，所述导气孔竖直方向贯穿所述底托。

5.如权利要求4所述的一种消除太阳能电池绕扩、绕度的沉积炉，其特征在于，所述导气孔为矩形孔，同一所述导气部的所述导气孔相互平行设置。

6.如权利要求5所述的一种消除太阳能电池绕扩、绕度的沉积炉，其特征在于，所述导气孔的长度方向与所述底托的径向垂直。

7.如权利要求6所述的一种消除太阳能电池绕扩、绕度的沉积炉，其特征在于，所述导气孔与载片舟上的硅片一一对应设置。

8.如权利要求1所述的一种消除太阳能电池绕扩、绕度的沉积炉，其特征在于，所述底托上端面设置有固定销，所述固定销与载片舟上的定位槽配合安装。

9.如权利要求1所述的一种消除太阳能电池绕扩、绕度的沉积炉，其特征在于，所述驱动件为电机，所述电机固定安装在所述炉管主体的底部。