[实用新型]一种硅片倒角吸盘以及吸盘加工用夹持装置有效

专利信息
申请号: 202222532387.8 申请日: 2022-09-23
公开(公告)号: CN218053361U 公开(公告)日: 2022-12-16
发明(设计)人: 李炜;王看看 申请(专利权)人: 徐州威聚电子材料有限公司
主分类号: B28D5/00 分类号: B28D5/00
代理公司: 南京聚匠知识产权代理有限公司 32339 代理人: 徐红洋
地址: 221700 江苏省徐州市丰县经济*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 倒角 吸盘 以及 工用 夹持 装置
【说明书】:

本实用新型公开了一种硅片倒角吸盘以及吸盘加工用夹持装置,涉及吸盘制作技术领域;而本实用新型包括工作台,所述工作台上表面中间端固定设有圆形的底座,所述底座上以底座中心点环形分布开设有滑槽,所述滑槽内滑动设有长杆,所述长杆位于滑槽外壁一端固定设有夹持板;本实用新型中电机通过第二转轴带动第二齿轮进行转动,第二齿轮可驱动啮合设置的第一齿轮进行转动,第一齿轮转动时可推动活动插设而在弧形槽内的移动杆进行移动,从而可带动长杆回收到滑槽内,使得环形分布的夹持板同时移动对放置在摆放板的吸盘本体进行有效的定位夹持,可避免吸盘本体受到晃动,影响后续打孔效果。

技术领域

本实用新型涉及吸盘制作技术领域,具体为一种硅片倒角吸盘以及吸盘加工用夹持装置。

背景技术

真空吸盘,又称真空吊具,是真空设备执行器之一。一般来说,利用真空吸盘抓取制品是最廉价的一种方法,在硅片的加工过程中,需要对硅片进行倒角,在对硅片进行倒角的步骤中,经常会配合吸盘进行使用。

现有技术中吸盘生产用时存在以下问题:

现有真空吸盘在进行生产时需要对其表面进行打孔操作,在对真空吸盘真孔吸盘进行打孔时为避免晃动需要对其进行夹持,但在面对一些体积较大的真空吸盘时,夹持稳定效果变差,影响打孔的效果。

针对上述问题,发明人提出一种硅片倒角吸盘以及吸盘加工用夹持装置用于解决上述问题。

实用新型内容

为了解决在对真空吸盘进行打孔时,可其进行稳定夹持的问题;本实用新型的目的在于提供一种硅片倒角吸盘。

为解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案:一种硅片倒角吸盘,包括吸盘本体,所述吸盘本体还包括吸附面,所述吸盘本体位于吸附面开设有若干环形分布吸气槽,所述吸气槽内开设有以吸盘本体中心点环形分布的吸气孔,通过环形分布的吸气槽和吸气孔可使得吸附面在对硅片进行吸附时,硅片受力均匀,对硅片进行保护。

优选地,一种硅片倒角吸盘加工用夹持装置,包括工作台,所述工作台上表面中间端固定设有圆形的底座,所述底座上以底座中心点环形分布开设有滑槽,所述滑槽内滑动设有长杆,所述长杆位于滑槽外壁一端固定设有夹持板,所述底座上表面中点处转动设有第一转轴,所述第一转轴上端固定设有的第一齿轮,所述第一齿轮上开设有与滑槽分布相同的弧形槽,所述长杆远离夹持板一端的上表面固定设有移动杆,所述移动杆上端活动插设在弧形槽内,第一齿轮转动时可推动活动插设而在弧形槽内的移动杆进行移动,从而可带动长杆回收到滑槽内,使得环形分布的夹持板同时移动对放置在摆放板的吸盘本体进行有效的定位夹持,可避免吸盘本体受到晃动,影响后续打孔效果,所述底座上表面靠近第一齿轮一设有驱动装置,驱动装置包括第二转轴,所述第二转轴转动在底座上,所述第二转轴上端固定设有第二齿轮,所述第二齿轮与第一转轴相互啮合,所述第一转轴下端贯穿底座和工作台,所述底座位于工作台下表面一端设有电机,电机可提供足够的动力使得夹持板可对吸盘本体进行稳定的夹持,所述工作板下表面靠近电机固定设有支撑架,所述电机固定摆放在支撑架上,对电机进行支撑,使得电机可稳定进行工作。

优选地,所述底座上表面固定设有三个等间距分布的固定块,三个所述固定块上端共同固定设有摆放板,所述摆放板侧壁相对的两端开设有凹槽,所述凹槽固定设有弹簧,所述弹簧端部固定设有拉块,所述拉块位于放置板外壁一端固定设有竖直设置的限位板,弹簧拉动拉块使得两个限位板可对吸盘本体进行限位,使其可设置在摆放板上,避免在启动电机时,吸盘本体受到电机震动导致掉落。

优选地,所述固定块高度高于第一转轴的上端所处的水平位置,使得摆放板和第一齿轮间正常进行工作;所述夹持板同限位板面向第一齿轮一侧为弧形,可贴合吸盘本体边缘,对吸盘本体进行稳定夹持。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果在于:

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