[实用新型]一种硅片倒角吸盘以及吸盘加工用夹持装置

权利要求书

1.一种硅片倒角吸盘，包括吸盘本体(3)，其特征在于：所述吸盘本体(3)还包括吸附面(31)，所述吸盘本体(3)位于吸附面(31)开设有若干环形分布吸气槽(32)，所述吸气槽(32)内开设有以吸盘本体(3)中心点环形分布的吸气孔(33)。

2.如权利要求1所述的一种硅片倒角吸盘加工用夹持装置，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)上表面中间端固定设有圆形的底座(11)，所述底座(11)上以底座(11)中心点环形分布开设有滑槽(111)，所述滑槽(111)内滑动设有长杆(12)，所述长杆(12)位于滑槽(111)外壁一端固定设有夹持板(13)，所述底座(11)上表面中点处转动设有第一转轴(14)，所述第一转轴(14)上端固定设有的第一齿轮(15)，所述第一齿轮(15)上开设有与滑槽(111)分布相同的弧形槽(16)，所述长杆(12)远离夹持板(13)一端的上表面固定设有移动杆(17)，所述移动杆(17)上端活动插设在弧形槽(16)内，所述底座(11)上表面靠近第一齿轮(15)一设有驱动装置。

3.如权利要求2所述的一种硅片倒角吸盘加工用夹持装置，其特征在于，所述驱动装置包括第二转轴(18)，所述第二转轴(18)转动在底座(11)上，所述第二转轴(18)上端固定设有第二齿轮(19)，所述第二齿轮(19)与第一转轴(14)相互啮合，所述第一转轴(14)下端贯穿底座(11)和工作台(1)，所述底座(11)位于工作台(1)下表面一端设有电机(20)。

4.如权利要求3所述的一种硅片倒角吸盘加工用夹持装置，其特征在于，所述工作板下表面靠近电机(20)固定设有支撑架(21)，所述电机(20)固定摆放在支撑架(21)上。

5.如权利要求2所述的一种硅片倒角吸盘加工用夹持装置，其特征在于，所述底座(11)上表面固定设有三个等间距分布的固定块(22)，三个所述固定块(22)上端共同固定设有摆放板(23)，所述摆放板(23)侧壁相对的两端开设有凹槽(25)，所述凹槽(25)固定设有弹簧(26)，所述弹簧(26)端部固定设有拉块(27)，所述拉块(27)位于放置板外壁一端固定设有竖直设置的限位板(24)。

6.如权利要求5所述的一种硅片倒角吸盘加工用夹持装置，其特征在于，所述固定块(22)高度高于第一转轴(14)的上端所处的水平位置。

7.如权利要求5所述的一种硅片倒角吸盘加工用夹持装置，其特征在于，所述夹持板(13)同限位板(24)面向第一齿轮(15)一侧为弧形。