[实用新型]一种开放式晶圆匣搬运车

权利要求书

1.一种开放式晶圆匣搬运车，包括主体结构，所述主体结构上设置有用于承载开放式晶圆匣的承载结构、用于实现开放式晶圆匣移送/释放动作的执行机构以及用于实现所述主体结构移动的行走机构，其特征在于，所述执行机构包括夹紧组件和驱动所述夹紧组件运动的驱动装置，所述驱动装置驱动所述夹紧组件运动靠近或远离所述开放式晶圆匣，所述夹紧组件用于夹紧或松开所述开放式晶圆匣。

2.根据权利要求1所述的开放式晶圆匣搬运车，其特征在于，所述夹紧组件包括定心抓手，所述定心抓手包括驱动器本体和两个夹爪，所述驱动器本体驱动两个所述夹爪相向运动实现夹紧，或者驱动两个所述夹爪相背运动实现张开。

3.根据权利要求2所述的开放式晶圆匣搬运车，其特征在于，所述开放式晶圆匣两侧相对设置有两个边肋，两个所述夹爪的端部均设置有卡件，所述卡件和所述边肋其中一个上设置有卡销，另一个上设置有卡槽；

两个所述夹爪夹紧所述开放式晶圆匣时，两个所述夹爪的卡件分别夹紧在两个所述边肋上，所述卡销与所述卡槽插接配合。

4.根据权利要求3所述的开放式晶圆匣搬运车，其特征在于，所述卡件和所述边肋至少一个上设置有保护垫；两个所述夹爪夹紧所述开放式晶圆匣时，所述保护垫位于所述卡件和所述边肋之间。

5.根据权利要求2所述的开放式晶圆匣搬运车，其特征在于，所述夹紧组件还包括图像采集设备，所述图像采集设备用于采集所述开放式晶圆匣的图像。

6.根据权利要求5所述的开放式晶圆匣搬运车，其特征在于，所述夹紧组件还包括用于提供光源以便于图像采集设备采集图像的光源组件。

7.根据权利要求1所述的开放式晶圆匣搬运车，其特征在于，所述主体结构包括电池安装口和用于安装定位电池的电池辊道组件，所述电池辊道组件包括两个座体和多个相互平行设置的滚柱，所述滚柱的两端分别与两个所述座体转动连接；所述电池安装时，所述电池从所述电池安装口放置于所述电池辊道组件上，并通过多个所述滚柱输送至指定位置。

8.根据权利要求7所述的开放式晶圆匣搬运车，其特征在于，多个所述滚柱沿所述电池的输送方向倾斜分布，且靠近所述电池安装口一侧的滚柱高度高于远离所述电池安装口一侧的滚柱高度。

9.根据权利要求1所述的开放式晶圆匣搬运车，其特征在于，所述承载结构包括用于承载所述开放式晶圆匣的托盘，所述托盘安装在所述主体结构上且所述托盘和所述主体结构之间设置有缓冲垫，所述托盘上设置有四个用于定位所述开放式晶圆匣的定位块。

10.根据权利要求1所述的开放式晶圆匣搬运车，其特征在于，所述主体结构包括底座结构，所述行走机构安装于所述底座结构上，所述行走机构包括驱动轮组和减震组件；

所述驱动轮组包括行走轮和固定在所述行走轮一端面的安装板；

所述减震组件包括第二弹簧、固定于所述底座结构的轴承组件和弹簧压板，以及沿垂直于所述安装板端面的方向上设置的两个限位块，所述轴承组件包括轴承座和轴承；

所述安装板的第一端沿垂直于其端面方向延伸有定位轴，所述定位轴固定在所述轴承内，所述安装板的第二端沿垂直于其端面方向延伸有弹簧座，所述第二弹簧安装在所述弹簧座和所述弹簧压板之间，所述行走轮位于所述安装板的第一端和第二端之间，且所述安装板的第二端位于两个所述限位块之间。