[实用新型]一种多自由度定位检知系统及具有其的测试设备有效
申请号: | 202222504929.0 | 申请日: | 2022-09-20 |
公开(公告)号: | CN218414531U | 公开(公告)日: | 2023-01-31 |
发明(设计)人: | 薛刚;袁晓林 | 申请(专利权)人: | 通富微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/66 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理有限公司 11435 | 代理人: | 郭栋梁 |
地址: | 226006 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自由度 定位 系统 具有 测试 设备 | ||
1.一种多自由度定位检知系统,其特征在于,所述系统包括:
定轴轮机构;
设置在所述定轴轮机构上方的滚轮运动机构,所述滚轮运动机构可围绕所述定轴轮机构的定轴转动并可沿上下方向运动,以对位于所述滚轮运动机构下方的底座上的半导体产品进行贴合压实;
与所述底座相邻设置的定位轮机构,所述定位轮机构用于检测所述底座上是否存在所述半导体产品以及配合所述定轴轮机构将所述半导体产品定位到设定位置。
2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述定位轮机构包括定位轮、第一滑块、固定支架和产品检知传感器;所述定位轮和所述产品检知传感器均设置在所述第一滑块上,所述第一滑块设置在所述固定支架的滑轨上。
3.根据权利要求2所述的系统,其特征在于,所述定位轮机构还包括卡料检知装置,所述卡料检知装置用于监测所述定位轮的移动位移是否超过预设阈值。
4.根据权利要求3所述的系统,其特征在于,所述卡料检知装置包括卡料检知传感器、金属感应片和定位轮拉簧;所述卡料检知传感器和所述金属感应片相对设置,所述卡料检知传感器位于所述固定支架上,所述金属感应片位于所述第一滑块上,所述定位轮拉簧的第一端连接所述固定支架,所述定位轮拉簧的第二端连接所述金属感应片。
5.根据权利要求4所述的系统,其特征在于,所述定位轮机构还包括报警器,所述报警器用于当所述卡料检知传感器无法感应到所述金属感应片时发出报警信号。
6.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述滚轮运动机构包括滚轮支架、第二滑块和滚轮;所述滚轮支架设置在所述定轴轮机构上,所述第二滑块和所述滚轮均位于所述滚轮支架的侧面,所述第二滑块设置在所述滚轮支架的滑轨上,所述滚轮设置在所述第二滑块上且位于所述底座上方。
7.根据权利要求6所述的系统,其特征在于,所述滚轮运动机构还包括滚轮固定块;所述滚轮固定块位于所述第二滑块和所述滚轮之间且与所述滚轮一体设置在所述第二滑块上。
8.根据权利要求7所述的系统,其特征在于,所述滚轮运动机构还包括上下拉簧和调节螺丝;所述上下拉簧的第一端与所述滚轮支架相连接,所述上下拉簧的第二端与所述调节螺丝的第一端相连接,所述调节螺丝的第二端固定在所述滚轮固定块上。
9.根据权利要求1至8中任意一项所述的系统,其特征在于,所述定轴轮机构包括定轴轮支架和定轴轮;所述定轴轮可在所述定轴轮支架上绕轴转动。
10.一种测试设备,其特征在于,所述设备包括底座以及权利要求1至9中任意一项所述的系统。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造