[实用新型]一种固体源内置的反应腔体装置

权利要求书

1.一种固体源内置的反应腔体装置，其特征在于，所述装置的组成部分包括：进气端密封法兰(1)、固体源加热装置(2)、反应腔体(3)、反应腔加热装置(4)、出气端密封法兰(5)、单向阀(8)、固体源瓶(9)和气动阀(10)；

反应腔体(3)的出气端和进气端，分别安装有出气端密封法兰(5)和进气端密封法兰(1)；

单项阀(8)、固体源瓶(9)和气动阀(10)组成内置式的固体源装置结构，所述固体源装置结构安装在反应腔体(3)中且安装位置接近所述进气端，其中，气动阀(10)安装于反应腔体(3)外，并通过输气管穿过进气端密封法兰(1)连接固体源瓶(9)，固体源瓶(9)的出气口上安装单向阀(8)；

在反应腔体(3)外安装有固体源加热装置(2)和反应腔加热装置(4)；

真空泵(6)通过输气管连接出气端密封法兰(5)，用于将反应腔体(3)内抽真空；

制造反应腔体(3)的材料，采用耐高温且耐腐蚀的材料，包括石英或不锈钢；制造单向阀(8)和固体源瓶(9)的材料，采用不锈钢。

2.根据权利要求1所述的固体源内置的反应腔体装置，其特征在于，反应腔体(3)同时穿过了固体源加热装置(2)和反应腔加热装置(4)以便于加热；

固体源加热装置(2)的固定安装在接近所述固体源装置结构的位置。

3.根据权利要求1所述的固体源内置的反应腔体装置，其特征在于，气动阀(10)用于控制固体源路的开启或关闭；

其中，气动阀(10)若采用定时阀，则用于控制固体源路的开启时长。

4.根据权利要求1所述的固体源内置的反应腔体装置，其特征在于，单向阀(8)用于控制固体源瓶(9)的开启大小，其中，通过调节氮气N2的压强大小，从而调节单向阀(8)的开启大小。

5.根据权利要求1或2所述的固体源内置的反应腔体装置，其特征在于，固体源(2)加热装置，用于对固体源瓶(9)进行加热；

反应腔加热装置(4)，用于对反应腔体(3)内放置的对待沉积样品(7)进行加热。

6.根据权利要求1-4中任意一项所述的固体源内置的反应腔体装置，其特征在于，进气端密封法兰(1)和出气端密封法兰(5)采用氟橡胶密封。

7.根据权利要求1-4中任意一项所述的固体源内置的反应腔体装置，其特征在于，固体源加热装置(2)和反应腔加热装置(4)中安装有加热电阻丝。