[实用新型]用于除去石英罩表面金属离子的超纯水溢流装置

权利要求书

1.一种用于除去石英罩表面金属离子的超纯水溢流装置，其特征在于：包括水槽(1)、带孔平台(2)、平台支撑(3)和溢流管道(4)；其中水槽(1)、带孔平台(2)和平台支撑(3)均为PP材质；

所述带孔平台(2)用于放置倒扣的石英罩，且所述带孔平台(2)设置在水槽(1)内部，以使得水槽(1)内部在带孔平台(2)上侧形成蓄水腔(101)；

所述平台支撑(3)设置在带孔平台(2)下表面并与水槽(1)内壁紧配，所述平台支撑(3)中设置暂存空间(301)，所述暂存空间(301)通过带孔平台(2)与蓄水腔(101)相通；

其中，所述带孔平台(2)中部向上形成溢流凸起(201)，以使得溢流凸起(201)与石英罩之间形成溢流空间(203)；

所述溢流凸起(201)顶部中间设置有溢流口(202)，所述溢流管道(4)从水槽(1)底部向上穿过平台支撑(3)与溢流口(202)相连。

2.根据权利要求1所述的用于除去石英罩表面金属离子的超纯水溢流装置，其特征在于：所述水槽(1)上设置有进水管道(5)，所述进水管道(5)上安装调节阀(6)；

所述进水管道(5)与水槽(1)之间的连接接口位于石英罩上侧。

3.根据权利要求1所述的用于除去石英罩表面金属离子的超纯水溢流装置，其特征在于：所述平台支撑(3)底部设置有排水管道(7)，所述排水管道(7)上安装排水阀(8)。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的用于除去石英罩表面金属离子的超纯水溢流装置，其特征在于：所述水槽(1)顶部设置有槽盖(9)，所述槽盖(9)顶部设置有把手。