[实用新型]半导体元件单侧夹持机构

说明书

本实用新型涉及一种半导体元件单侧夹持机构，包括夹持机构基座、夹持机构滑台、夹爪驱动机构和夹爪组件，夹持机构滑台沿着X轴负方向的一侧设置有夹爪驱动机构，夹爪驱动机构可驱动夹持机构滑台沿着X轴方向移动，夹爪组件位于夹持机构滑台的下方位置，夹爪组件沿着X轴的正方向依次包括固定侧夹爪和活动侧夹爪。本实用新型采用特殊设计的单侧开闭的夹爪组件，在位置编码器的控制下，提供了对微小元器件精确的定位能力，可以精确控制夹爪组件的张开幅度，防止夹爪组件触碰到周围的结构造成损坏。

技术领域

本实用新型涉及半导体元件加工相关技术领域，尤其涉及一种半导体元件单侧夹持机构。

背景技术

半导体行业中，存在大量微型、易损的芯片，比如电阻电容、探针等微型元件，相当多的情况下这些小而脆弱的元件需要精确的定位及装配，传统的真空拾取元件的方式难以提供合适的固定力，常见的气动或电动夹爪均为双侧开闭，夹持位置的重复精度较大，影响微小元件装配的精度。

有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种半导体元件单侧夹持机构，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种半导体元件单侧夹持机构。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

半导体元件单侧夹持机构，包括夹持机构基座、夹持机构滑台、夹爪驱动机构和夹爪组件，夹持机构基座沿着Y轴正方向的一侧设置有夹持机构滑台，夹持机构滑台与夹持机构基座并列设置，夹持机构滑台沿着X轴负方向的一侧设置有夹爪驱动机构，夹爪驱动机构通过驱动机构固定板安装在夹持机构基座上，夹爪驱动机构可驱动夹持机构滑台沿着X轴方向移动，夹爪组件位于夹持机构滑台的下方位置，夹爪组件沿着X轴的正方向依次包括固定侧夹爪和活动侧夹爪，固定侧夹爪通过固定侧夹爪安装板安装在夹持机构基座的底部，活动侧夹爪通过活动侧夹板安装板安装在夹持机构滑台底部沿着X轴正方向的一侧。

作为本实用新型的进一步改进，夹持机构滑台上还沿着X轴方向设置有光栅尺，光栅尺的正上方设置有与光栅尺相互配合使用的光栅尺读数头，光栅尺读数头通过读数头安装板安装在夹持机构基座上。

作为本实用新型的进一步改进，活动侧夹爪和夹持机构滑台之间还设置有力传感器，力传感器沿着X轴正方向的一侧与夹持机构滑台相连接，力传感器沿着X轴负方向的一侧通过活动侧夹板安装板与活动侧夹爪的顶部相连接。

作为本实用新型的进一步改进，夹爪驱动机构为音圈电机，音圈电机沿着X轴负方向依次包括音圈电机动子和音圈电机定子，音圈电机定子通过驱动机构固定板安装在夹持机构基座上，音圈电机动子安装在夹持机构滑台上沿着X轴负方向的一侧，音圈电机定子与沿着X轴正方向一侧的音圈电机动子相互配合使用。

作为本实用新型的进一步改进，夹持机构滑台和夹持机构基座之间还连接设置有精密导轨，精密导轨沿着X轴方向设置，夹持机构滑台通过精密导轨在夹持机构基座上沿着X轴方向移动。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

本实用新型采用特殊设计的单侧开闭的夹爪组件，在位置编码器的控制下，提供了对微小元器件精确的定位能力，可以精确控制夹爪组件的张开幅度，防止夹爪组件触碰到周围的结构造成损坏。通过力传感器的结构设置，使得夹爪组件的伺服系统具有力反馈功能，可以有效的保护元件不会损坏，有效提升了微小元件的搬运精度和搬运良率。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明