[实用新型]一种晶圆清洗装置

权利要求书

1.一种晶圆清洗装置，用于清洗晶圆，其特征在于，所述晶圆清洗装置包括：

底座，所述底座上设置有清洗腔，所述底座的底部设置有与所述清洗腔连通的排液孔；

承载台，其顶面用于放置所述晶圆；

驱动机构，用于驱动所述承载台升降和旋转，所述驱动机构设置在所述清洗腔内，所述承载台的下端装配在驱动机构中；

第一喷射组件，用于向晶圆的背面喷射清洗液，所述第一喷射组件设置在所述清洗腔内且设置在承载台周围；

第二喷射组件，用于向清洗腔的内壁喷射清洗液，所述第二喷射组件设置在所述清洗腔内。

2.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述第二喷射组件上设置有注入孔和与所述注入孔连通的多个第一喷射孔，多个所述第一喷射孔环绕所述承载台分布。

3.根据权利要求2所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述第二喷射组件为环形，所述承载台和第一喷射组件位于所述第二喷射组件的环内，多个第一喷射孔分别沿着所述第二喷射组件的环形方向布置。

4.根据权利要求2或3所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述第一喷射孔的轴线沿从下到上且远离所述承载台的方向倾斜。

5.根据权利要求4所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述第二喷射组件的表面的外边缘处开设有倾斜面，所述第一喷射孔开设在所述倾斜面上。

6.根据权利要求1或2或3或5所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述晶圆清洗装置还包括用于将清洗液导流到清洗腔底部的中层盖，所述驱动机构位于所述中层盖的下方，所述中层盖的上表面为导流面且向清洗腔底部延伸，所述中层盖上设置有通孔和设置在通孔周围的安装孔，所述承载台穿过通孔，所述第一喷射组件包括背洗喷嘴，所述背洗喷嘴穿过安装孔并固定在中层盖上，所述第二喷射组件固定在中层盖的上表面。

7.根据权利要求6所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述导流面为弧形面。

8.根据权利要求1或2或3或5或7所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述底座的底部还设置有防水安装台，所述驱动机构位于所述防水安装台内，所述承载台穿过所述防水安装台装配在所述驱动机构上。

9.根据权利要求8所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述底座的底部还设置有与所述清洗腔连通的排气孔。

10.根据权利要求1或2或3或5或7或9所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述晶圆清洗装置还包括用于放置清洗液外洒的上盖，所述上盖安装在底座上，所述上盖开设有开口。