[实用新型]用于外延预清洗设备的热氮吹干槽

权利要求书

1.用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，包括槽体(6)，其特征在于：所述槽体(6)的顶部通过合页活动安装有槽盖(2)，所述槽盖(2)的底部设置有红外发射器(19)，所述槽体(6)的两侧内壁皆设置有放置板(15)，所述放置板(15)的下方设置有槽板(16)，所述槽板(16)的表面开设有槽孔(12)，所述槽体(6)的底部和内壁皆环绕设置有管路(14)，所述槽体(6)内部的底端设置有管体(13)，所述管体(13)和管路(14)之间相互贯通连接，所述管路(14)的一端贯穿槽体(6)设置有连接头(7)，所述槽体(6)的一侧表面设置有翅片加热器(5)。

2.根据权利要求1所述的用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，其特征在于：所述槽体(6)的底部靠近四个边角处皆设置有支撑腿(10)，且支撑腿(10)的底端皆设置有吸盘(11)。

3.根据权利要求1所述的用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，其特征在于：所述槽体(6)底部一侧设置有排放口(8)，且排放口(8)上设置有控制阀(9)。

4.根据权利要求1所述的用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，其特征在于：所述槽盖(2)的顶部设置有把手(1)，所述槽盖(2)的一侧靠近两端处皆设置有锁扣(3)，且锁扣(3)对应的槽体(6)顶部两侧皆设置有锁座(4)。

5.根据权利要求1所述的用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，其特征在于：所述槽盖(2)的底部外沿环绕设置有密封垫(20)，所述密封垫(20)的材质为橡胶，且槽体(6)内口有效尺寸为长×宽×高＝470mm×370mm×400mm。

6.根据权利要求1所述的用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，其特征在于：所述槽体(6)的一侧表面固定安装有控制按钮(18)，且控制按钮(18)的输出端通过导线与红外发射器(19)和翅片加热器(5)的输入端电性连接。

7.根据权利要求1所述的用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，其特征在于：所述槽体(6)的一侧表面固定安装有蓄电池(17)，且蓄电池(17)的输出端通过导线与红外发射器(19)和翅片加热器(5)的输入端电性连接。