[实用新型]工装篮及应用该工装篮的脱胶装置有效
申请号: | 202220852244.2 | 申请日: | 2022-04-14 |
公开(公告)号: | CN217114336U | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 丁海军;李璐;邢旭;兰勇刚 | 申请(专利权)人: | 乐山高测新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/67 |
代理公司: | 北京科慧致远知识产权代理有限公司 11739 | 代理人: | 宋珊珊;李瑞 |
地址: | 614000 四川省乐山市五*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工装 应用 脱胶 装置 | ||
本申请实施例提供一种工装篮及应用该工装篮的脱胶装置,其中,工装篮包括:工装篮框架;所述工装篮框架内形成有用于容纳硅片的容纳空间,工装篮框架的顶部设有供硅片进出容纳空间的开口;用于从两侧夹紧硅片的侧支撑组件,设置于容纳空间内,分别连接在工装篮框架的两侧;侧支撑组件沿工装篮框架的长度方向延伸;侧支撑组件内设有磁吸件。本申请实施例提供的工装篮能盛装硅片并在切片机、脱胶装置之间运送。
技术领域
本申请涉及一种硅片制造技术,尤其涉及一种工装篮及应用该工装篮的脱胶装置。
背景技术
片状单晶硅电池的制造过程通常包括:利用开方机将圆柱形的单晶硅棒切成方棒,然后利用切片机将方棒切割成方形的硅片,再依次经过清洗、脱胶和分片插片等步骤。硅片从切片机下来后放入一种工装篮中,进入脱胶机进行脱胶。脱胶完成的硅片再放入另一种工装篮进行分片。该过程中,两种不同的工装篮是分别与脱胶过程和分片过程相适配的,需要将硅片从一个工装篮转移至另一个工装篮,由于硅片较薄,在转移过程中较容易发生损坏,导致成品率较低,浪费原料,提高生产成本。
发明内容
为了解决上述技术缺陷之一,本申请实施例中提供了一种工装篮及应用该工装篮的脱胶装置。
根据本申请实施例的第一个方面,提供了一种工装篮,包括:
工装篮框架;所述工装篮框架内形成有用于容纳硅片的容纳空间,工装篮框架的顶部设有供硅片进出容纳空间的开口;
用于从两侧夹紧硅片的侧支撑组件,设置于容纳空间内,分别连接在工装篮框架的两侧;侧支撑组件沿工装篮框架的长度方向延伸;侧支撑组件内设有磁吸件。
如上所述的工装篮,还包括:
用于从底部承托硅片的底部支撑组件,设置于容纳空间内;所述底部支撑组件沿工装篮框架的长度方向延伸,连接于工装篮框架的底部。
如上所述的工装篮,所述工装篮框架包括:框架前板、框架后板和框架底板;
所述框架前板和框架后板平行且相对设置,框架前板和框架后板分别垂直连接在框架底板长度方向的两端;
所述侧支撑组件连接于框架前板和框架后板之间;底部支撑组件连接于框架前板和框架后板之间。
如上所述的工装篮,所述侧支撑组件包括:
弹性绳,沿工装篮框架的长度方向延伸,连接于框架前板和框架后板之间;
磁性环,作为所述磁吸件,套设于所述弹性绳上;多个磁性环间隔设置;
缓冲套筒,套设于多个磁性环外侧,与磁性环压紧配合。
如上所述的工装篮,还包括:螺纹套;
所述框架前板设有前板通孔;螺纹套的一端与弹性绳相连,另一端穿设于前板通孔内;螺纹套内设有与螺纹紧固件配合的螺纹孔。
如上所述的工装篮,所述螺纹套的螺纹孔与螺纹套的中心线垂直;
所述框架前板的侧面设有中心线与前板通孔垂直的供螺纹紧固件穿过的前板连接孔;螺纹紧固件穿过前板连接孔后旋入螺纹套的螺纹孔内固定。
如上所述的工装篮,所述前板通孔为长圆孔,沿工装篮框架的宽度方向延伸。
如上所述的工装篮,所述底部支撑组件包括:
不锈钢杆,垂直连接于框架前板和框架后板之间;
橡胶套,套设于不锈钢杆的外侧。
根据本申请实施例的第二个方面,提供了一种应用上述工装篮的脱胶装置,包括:
分片工作台;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造