[实用新型]工装篮及应用该工装篮的脱胶装置

权利要求书

1.一种工装篮，其特征在于，包括：

工装篮框架；所述工装篮框架内形成有用于容纳硅片的容纳空间，工装篮框架的顶部设有供硅片进出容纳空间的开口；

用于从两侧夹紧硅片的侧支撑组件，设置于容纳空间内，分别连接在工装篮框架的两侧；侧支撑组件沿工装篮框架的长度方向延伸；侧支撑组件内设有磁吸件。

2.根据权利要求1所述的工装篮，其特征在于，还包括：

用于从底部承托硅片的底部支撑组件，设置于容纳空间内；所述底部支撑组件沿工装篮框架的长度方向延伸，连接于工装篮框架的底部。

3.根据权利要求2所述的工装篮，其特征在于，所述工装篮框架包括：框架前板、框架后板和框架底板；

所述框架前板和框架后板平行且相对设置，框架前板和框架后板分别垂直连接在框架底板长度方向的两端；

所述侧支撑组件连接于框架前板和框架后板之间；底部支撑组件连接于框架前板和框架后板之间。

4.根据权利要求3所述的工装篮，其特征在于，所述侧支撑组件包括：

弹性绳，沿工装篮框架的长度方向延伸，连接于框架前板和框架后板之间；

磁性环，作为所述磁吸件，套设于所述弹性绳上；多个磁性环间隔设置；

缓冲套筒，套设于多个磁性环外侧，与磁性环压紧配合。

5.根据权利要求4所述的工装篮，其特征在于，还包括：螺纹套；

所述框架前板设有前板通孔；螺纹套的一端与弹性绳相连，另一端穿设于前板通孔内；螺纹套内设有与螺纹紧固件配合的螺纹孔。

6.根据权利要求5所述的工装篮，其特征在于，所述螺纹套的螺纹孔与螺纹套的中心线垂直；

所述框架前板的侧面设有中心线与前板通孔垂直的供螺纹紧固件穿过的前板连接孔；螺纹紧固件穿过前板连接孔后旋入螺纹套的螺纹孔内固定。

7.根据权利要求5所述的工装篮，其特征在于，所述前板通孔为长圆孔，沿工装篮框架的宽度方向延伸。

8.根据权利要求2所述的工装篮，其特征在于，所述底部支撑组件包括：

不锈钢杆，垂直连接于框架前板和框架后板之间；

橡胶套，套设于不锈钢杆的外侧。

9.一种应用权利要求1-8任一项所述工装篮的脱胶装置，其特征在于，包括：

分片工作台；

运送机构，设置于所述分片工作台上；工装篮设置于所述运送机构，可在运送机构的带动下沿工装篮的长度方向移动；

用于与磁吸件产生磁性吸引力的磁性件，设置于所述工装篮行程区域的两侧；

用于喷射分片介质的分片喷嘴，设置于所述工装篮行程区域的两侧，且临近所述磁性件；所述分片喷嘴的出口方向朝向工装篮行程区域。

10.根据权利要求9所述的脱胶装置，其特征在于，所述运送机构包括：

沿工装篮的长度方向延伸的运送螺杆；

与运送螺杆通过螺纹配合的运送滑台，所述运送滑台与工装篮相连；

用于驱动运送螺杆转动的驱动电机。