[实用新型]一种蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线

说明书

本实用新型涉及一种蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线。该自动化产线，包括皮带运输机构、机械手组件、粗抛机、清洗机和精抛机。自动化产线配置为机械手组件能抓取皮带运输机构上的贴有蓝宝石衬底的承载件进入粗抛机，并能抓取粗抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入清洗机中，以及能抓取清洗机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入精抛机，以及能抓取精抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入皮带运输机构上。本实用新型利用自动化设备设计自动化产线代替目前的贴有蓝宝石衬底的承载件的上下料、清洗以及工序间的搬运主要靠人工来完成的产线，能够实现工件从传送带上自动上下料，减少了人工参与对衬底的污染和损伤，提高了产品的质量和生产效率。

技术领域

本实用新型涉及蓝宝石衬底加工装置领域，特别涉及一种蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线。

背景技术

在能源问题日益突出的今天，LED因其具有亮度高，体积小，耗电量低，寿命长等优点而广泛应用于显示屏，背光源，车灯，装饰灯等，成为了半导体行业发展的亮点。

蓝宝石晶体因具有莫氏硬度高、耐高温和化学性质稳定等优点，是目前LED 产业中使用最为广泛的衬底材料。随着LED产业的迅速发展，作为其衬底材料的蓝宝石生产规模也不断扩大。蓝宝石衬底的加工过程大致如下：在长晶生成的蓝宝石晶坨中掏棒得到晶棒后，再经切割、研磨、粗抛(如铜抛)和精抛(如 CMP抛光，Chemical Mechanical Polishing，化学机械抛光)等一系列加工后得到蓝宝石衬底。在目前的蓝宝石衬底粗抛和精抛加工生产线中，自动化程度依然较低，贴有蓝宝石衬底的承载件的上下料、清洗以及工序间的搬运主要靠人工来完成。工人需要将数量众多的贴有蓝宝石衬底的承载件的放置到抛光机中进行加工，还要将抛光后的贴有蓝宝石衬底的承载件取下送入清洗机中清洗。整个流程繁琐且工作量较大，在运输过程中，由于人工的操作也难免对部分蓝宝石衬底造成污染和损伤。从而导致产量降低，生产成本也随之增加。

实用新型内容

为了解决在目前的蓝宝石衬底粗抛和精抛加工生产线中，自动化程度依然较低，贴有蓝宝石衬底的承载件的上下料、清洗以及工序间的搬运主要靠人工来完成的问题，本实用新型提出一种蓝宝石衬底粗抛和精抛加工的自动化产线的方案，以达到提高整个生产过程的自动化程度，减少上下料过程中人为因素造成对晶片的污染和损伤，从而提高蓝宝石衬底的抛光质量，降低成本，提高生产效率的目的。本实用新型采用的技术方案具体如下。

一种蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线，包括皮带运输机构、机械手组件、粗抛机、清洗机和精抛机；所述机械手组件包括第一机械手和第二机械手。所述自动化产线配置为所述第一机械手能抓取所述皮带运输机构上的贴有蓝宝石衬底的承载件进入所述粗抛机，并能抓取所述粗抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入所述清洗机中；所述第二机械手能抓取所述清洗机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入所述精抛机，以及能抓取所述精抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入所述皮带运输机构上。

作为该蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线的一种优选方式，所述皮带运输机构包括第一皮带和第二皮带。所述第一机械手配置为能抓取所述第一皮带上的贴有蓝宝石衬底的承载件进入所述粗抛机，以及能抓取所述粗抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入所述清洗机中。所述第二机械手配置为能抓取所述清洗机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入所述精抛机，以及能抓取所述精抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入所述第二皮带。

作为该蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线的一种优选方式，所述第一皮带、所述第一机械手、所述清洗机、所述第二机械手和所述第二皮带按照从前到后的顺序设置在同一直线上；所述粗抛机设置在所述第一机械手的侧边；所述精抛机设置在所述第二机械手的侧边。

作为该蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线的一种优选方式，所述粗抛机和所述精抛机设置在所述直线的同一侧。

该蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线可以包括用于装载并固定蓝宝石衬底的承载件，也可以不包括该承载件。