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[发明专利]一种研磨盘平面度的检测方法、装置、设备和存储介质-CN202210240436.2有效
发明人：胡中伟;陆涵钧;赖志远;崔长彩;于怡青;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-03-10 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种研磨盘平面度的检测方法、装置、设备和存储介质，涉及平面度测量技术领域。其中，这种检测方法包含步骤S1至步骤S5。S1获取研磨盘的N条径向测量数据。S2分别消除N条径向测量数据的机械误差，以获得N条初始数据。S3根据N条初始数据，分别将各个磨块的高度信息均值化，并删除非磨块的高度信息，以获得N条磨块表面高度数据。S4分别缩放N条磨块表面高度数据至相同的数据长度，然后计算平均值，以获得磨盘径向高度数据。S5根据磨盘径向高度数据进行三维重构，以获得研磨盘的面型模型。采用本发明的检测方法能够根据测量到的高度数据快速计算得到研磨盘的表面模型，从而快速识别研磨盘的平面度，具有很好的实际意义。
一种研磨平面检测方法装置设备存储介质

[发明专利]一种蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线及其控制方法-CN202111532741.0有效
发明人：胡中伟;籍佩佩;王寒山;徐西鹏;于怡青;赖志远 -专利权人：华侨大学
申请日： 2021-12-15 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： B24B37/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线包括控制单元以及分别与控制单元电连接的载片传送装置、双面研磨机、晶片清洗机、控制单元和上下料机械手。上下料机械手包括升降装置、旋转装置和机械手吸盘，且上下料机械手被构造成可通过控制单元控制旋转装置旋转，进而带动机械手吸盘在载片传送装置、双面研磨机和晶片清洗机之间移动，以及可通过控制单元控制升降装置沿竖直方向移动，进而带动机械手吸盘沿竖直方向移动，以夹取或放置蓝宝石衬底。本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线工作时全程无需人工参与且各装置间配合严密，保证整个系统平稳运行，极大的缩短了上下料时间以及降低了人工操作对衬底的影响，从而保证生产效率。
一种蓝宝石衬底研磨自动上下生产线及其控制方法

[实用新型]一种晶棒自动化运输装置及其系统-CN202220580463.X有效
发明人：鲍春同;胡中伟;赖志远;黄辉;于怡青;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-03-17 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶棒自动化运输装置及其系统，包括：第一传输机构、第二传输机构、配置在第一和第二传输机构之间的上下料机械臂机构、控制机构；上下料机械臂机构包括旋转机构、配置在旋转机构上的升降机构、配置在升降机构上的伸缩机构、配置在伸缩机构上的夹取机构；旋转机构用于带动升降机构在传输机构和晶棒多线切割机之间旋转；升降机构用于带动伸缩和夹取机构升降；伸缩机构用于伸出收回夹取机构；夹取机构用于夹取放在第一传输机构的待加工晶棒并放在切割机内部，夹取切割机内部已加工晶棒放在第二传输机构上；传输、上下料机械臂机构与控制机构连接。旨在解决现有晶棒线切方案存在晶棒随待线切晶棒重量的增加，人工难以搬运的问题。
一种自动化运输装置及其系统

[实用新型]一种蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线-CN202220568458.7有效
发明人：王寒山;胡中伟;赖志远;陈悦;章玉强;于怡青;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线。该自动化产线，包括皮带运输机构、机械手组件、粗抛机、清洗机和精抛机。自动化产线配置为机械手组件能抓取皮带运输机构上的贴有蓝宝石衬底的承载件进入粗抛机，并能抓取粗抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入清洗机中，以及能抓取清洗机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入精抛机，以及能抓取精抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入皮带运输机构上。本实用新型利用自动化设备设计自动化产线代替目前的贴有蓝宝石衬底的承载件的上下料、清洗以及工序间的搬运主要靠人工来完成的产线，能够实现工件从传送带上自动上下料，减少了人工参与对衬底的污染和损伤，提高了产品的质量和生产效率。
一种蓝宝石衬底自动化

[发明专利]一种蓝宝石衬底铜抛-CMP抛光的自动化产线及生产方法-CN202210256476.6在审
发明人：胡中伟;王寒山;赖志远;陈悦;章玉强;于怡青;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种蓝宝石衬底铜抛‑CMP抛光的自动化产线及生产方法。该自动化产线，包括皮带运输机构、机械手组件、铜抛机、清洗机和CMP抛光机。自动化产线配置为机械手组件能抓取皮带运输机构上的贴有蓝宝石衬底的承载件进入铜抛机，并能抓取铜抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入清洗机中，以及能抓取清洗机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入CMP抛光机，以及能抓取CMP抛光机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入皮带运输机构上。本发明利用自动化设备设计自动化产线代替目前的贴有蓝宝石衬底的承载件的上下料、清洗以及工序间的搬运主要靠人工来完成的产线，能够实现工件从传送带上自动上下料，减少了人工参与对衬底的污染和损伤，提高了产品的质量和生产效率。
一种蓝宝石衬底 cmp 抛光自动化生产方法

[实用新型]一种蓝宝石晶坨一体式伸缩起吊装置-CN202220660646.2有效
发明人：王淑寅;胡中伟;赖志远;陈悦;章玉强;王寒山 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： B66C1/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蓝宝石晶坨一体式伸缩起吊装置，包括升降机构和夹爪机构。升降机构具有一活动端和一固定端，活动端能向下伸展或者向上收缩，固定端固定在生长蓝宝石晶坨的长晶炉上。夹爪机构连接于该活动端。夹爪机构通过伸张和收缩夹爪来夹取蓝宝石晶坨。该蓝宝石晶坨一体式伸缩起吊装置安装形式简便多样，具体可以安装在长晶炉原有的机械臂上，或者是本装置自带机械臂安装在长晶炉上。该伸缩起吊装置可以实现独立吊运体积大且重的蓝宝石晶坨，而不需要使用外部吊车，可减少蓝宝石晶坨从长晶炉内取出和搬运的操作时间，在节省人力物力的同时也可保障吊装过程的稳定性和安全性，提高生产效率。
一种蓝宝石晶坨一体式伸缩起吊装置

[实用新型]一种平面度检测装置-CN202220535579.1有效
发明人：陆涵钧;胡中伟;赖志远;崔长彩;于怡青;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-03-10 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种平面度检测装置，涉及平面度测量装置技术领域。这种平面度检测装置包含旋转定位组件、直线位移组件和测量组件。旋转定位组件包括用以接合于研磨设备的固定座，以及可转动的安装在固定座的旋转座。直线位移组件接合于旋转定位组件和测量组件之间，用以驱动测量组件沿着预定轨迹移动。测量组件包括接合于滑台的夹紧底座、接合于底座的夹紧件，以及夹持于夹紧底座和夹紧件之间的检测件。其中，检测件用以检测被测物体的距离。旋转定位组件能够让平面度检测装置在工作位置和收纳位置之间进行切换，直线位移组件能够让测量组件沿着预定轨迹进行活动，以测量预定轨迹上的高度数据，以得到研磨盘的平面度，效率更高。
一种平面检测装置

[发明专利]一种晶棒自动化运输装置及其方法-CN202210261719.5在审
发明人：胡中伟;鲍春同;赖志远;黄辉;于怡青;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-03-17 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶棒自动化运输装置及其方法，包括：第一传输机构、第二传输机构、配置在第一和第二传输机构之间的上下料机械臂机构、控制机构；上下料机械臂机构包括旋转机构、配置在旋转机构上的升降机构、配置在升降机构上的伸缩机构、配置在伸缩机构上的夹取机构；旋转机构用于带动升降机构在传输机构和晶棒多线切割机之间旋转；升降机构用于带动伸缩和夹取机构升降；伸缩机构用于伸出收回夹取机构；夹取机构用于夹取放在第一传输机构的待加工晶棒并放在切割机内部，夹取切割机内部已加工晶棒放在第二传输机构上；传输、上下料机械臂机构与控制机构连接。旨在解决现有晶棒线切方案存在晶棒随待线切晶棒重量的增加，人工难以搬运的问题。
一种自动化运输装置及其方法

[实用新型]一种新型超薄涂层游星轮夹具-CN201920943007.5有效
发明人：林琳;胡中伟;赖志远;于怡青;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2019-06-21 - 公布日： 2020-03-10 - 主分类号： B24B37/28 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种新型超薄涂层游星轮夹具，所述游星轮夹具的上表面及下表面均设置有涂层，所述游星轮夹具沿周向设置有多个锯齿；所述游星轮夹具上开设有若干个装载孔，用于放置超薄工件；所述工件的厚度大于所述游星轮夹具的厚度。应用本技术方案可实现提供游星轮夹具的刚度和强度，减小游星轮夹具的变形风险，提高游星轮夹具的使用寿命。
一种新型超薄涂层游星夹具

[实用新型]一种真空吸附式游星轮夹具-CN201822044389.6有效
发明人：林琳;胡中伟;赖志远;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2018-12-06 - 公布日： 2019-10-11 - 主分类号： B24B37/27 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空吸附式游星轮夹具，包括载片层、驱动层、密封圈和气门芯。该游星轮夹具采用载片层‑驱动层‑载片层的夹芯式结构，载片层与驱动层之间通过螺栓连接；该密封圈放置于载片层与驱动层内预设的密封圈槽中；该气门芯则螺接于载片层上预设的螺纹孔中。该载片层上圆周分布有若干载片槽，载片槽内均匀分布微小通孔，工件放置于载片槽内时，工件、载片层、密封圈、驱动层及气门芯之间形成一密闭空间。将气门芯连接气泵，抽取密闭空间内的空气形成负压，使工件吸附于游星轮载具上。上述夹具可在保持生产效率的同时大幅减少传统游星轮夹具由于过薄、翘曲等缺陷引起工件破损现象，从而降低生产成本，并且特别适用于薄片工件的加工。
载片层夹具驱动层游星轮气门芯密封圈载片真空吸附式密闭空间预设本实用新型夹芯式结构薄片工件工件放置工件吸附螺栓连接密封圈槽破损现象生产效率圆周分布螺纹孔负压螺接气泵翘曲通孔载具抽取加工

[发明专利]一种新型超薄涂层游星轮夹具及其制作方法-CN201910542553.2在审
发明人：胡中伟;林琳;赖志远;于怡青;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2019-06-21 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： B24B37/28 文献下载
摘要：本发明提供了一种新型超薄涂层游星轮夹具及其制作方法，所述游星轮夹具的上表面及下表面均设置有涂层，所述游星轮夹具沿周向设置有多个锯齿；所述游星轮夹具上开设有若干个装载孔，用于放置超薄工件；所述工件的厚度大于所述游星轮夹具的厚度。应用本技术方案可实现提供游星轮夹具的刚度和强度，减小游星轮夹具的变形风险，提高游星轮夹具的使用寿命。
夹具游星轮超薄涂层锯齿超薄工件使用寿命周向设置上表面下表面装载孔减小制作变形应用

[发明专利]一种真空吸附式游星轮夹具及其使用方法-CN201811486276.X在审
发明人： 赖志远;胡中伟;林琳;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2018-12-06 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： B24B37/27 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空吸附式游星轮夹具及其使用方法，包括载片层、驱动层、密封圈和气门芯。该游星轮夹具采用载片层‑驱动层‑载片层的夹芯式结构，载片层与驱动层之间通过螺栓连接；该密封圈放置于载片层与驱动层内预设的密封圈槽中；该气门芯则螺接于载片层上预设的螺纹孔中。该载片层上圆周分布有若干载片槽，载片槽内均匀分布微小通孔，工件放置于载片槽内时，工件、载片层、密封圈、驱动层及气门芯之间形成一密闭空间。将气门芯连接气泵，抽取密闭空间内的空气形成负压，使工件吸附于游星轮载具上。上述夹具可在保持生产效率的同时减少传统游星轮夹具由于过薄、翘曲等缺陷引起工件破损现象，从而降低生产成本，适用于薄片工件的加工。
载片层夹具驱动层游星轮气门芯密封圈载片真空吸附式密闭空间预设夹芯式结构薄片工件工件放置工件吸附螺栓连接密封圈槽破损现象生产效率圆周分布螺纹孔负压螺接气泵翘曲通孔载具抽取加工

[实用新型]一种硬脆性材料大深径比、微小异形孔的精密超声打孔机-CN201721469351.2有效
发明人： 赖志远;邵铭剑;胡中伟;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2017-11-07 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： B26F1/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硬脆性材料大深径比、微小异形孔的精密超声打孔机，包括机床主体和控制系统，所述机床主体包括工作台、立柱、滑轨、滑块、步进电机和角度调节装置，工作台上安装有电动位移台，步进电机连接滑块，该角度调节装置装接在滑块上，其上装接有超声振动装置，超声振动装置上安装有压力传感器，控制系统连接电动位移台、压力传感器、步进电机、角度调节装置和超声振动装置。控制系统通过控制滑块和角度调节装置调节工具头轴心位置，保证了工具头轴线和运动方向之间的平行度，避免工具头角度与打孔方向不平行导致工具头发生弯曲或折断。控制系统通过压力传感器来实现加工压力调节，保护工具头和工件的同时也有益于控制孔壁粗糙度。
角度调节装置控制系统超声振动装置步进电机工具头超声打孔机电动位移台压力传感器硬脆性材料大深径比机床主体滑块形孔精密本实用新型工具头轴线打孔方向加工压力控制滑块连接滑块轴心位置不平行粗糙度控制孔平行度有压力传感器工作台折断滑轨立柱装接头发保证

[实用新型]一种超声打孔机工具头在线电火花修整装置-CN201721232588.9有效
发明人：朱杰刚;胡中伟;赖志远;方从富;于怡青;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2017-09-25 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： B23B37/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种超声打孔机工具头在线电火花修整装置，包括机床主体和修整装置；该机床主体包括机架、导轨、滑块、超声振动系统、工具头和工装；该修整装置包括修整槽、绝缘支架、修整工具和脉冲电源；该机床主体还包括位移台，该位移台能滑动连接在机架上，该工装和修整槽都装设在位移台之上且通过位移台的滑动使工具头配合工装或修整槽；该绝缘支架安装在修整槽内，该修整工具装设在绝缘支架顶部，该脉冲电源的两极分别电接工具头与修整工具，通过工具头与修整工具之间的相切运动使工具头与修整工具之间产生脉冲放电，以去除工具头的磨损部位实现修整。它具有如下优点：能在线修整工具头；修整过程中不产生切削力。
一种超声打孔机工具在线电火花修整装置

[实用新型]精密超声打孔机-CN201721233467.6有效
发明人：赵欢;胡中伟;赖志远;方从富;于怡青;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2017-09-25 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： B28D1/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了精密超声打孔机，它包括机架、导轨、滑块、超声振动系统、工具头、进给系统、角度调节装置和位移传感器；该角度调节装置包括X轴角度微动台和Y轴角度微动台，该超声振动系统装接在Y轴角度微动台，通过角度调节装置能调节超声振动系统的角度，能调节工具头的角度；该位移传感器装接在机架上用于检测工具头移动前后位移传感器的两次测量值之差及工具头沿导轨的进给量，依据两次测量值之差及进给量并通过角度调节装置对工具头角度进行调整。它具有如下优点：能对工具头进行精准调节，使工具头轴线与导轨平行，有效地保证了打孔精度和起到保护工具头的作用。
精密超声打孔机

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