[实用新型]一种蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线有效
申请号: | 202220568458.7 | 申请日: | 2022-03-16 |
公开(公告)号: | CN216991361U | 公开(公告)日: | 2022-07-19 |
发明(设计)人: | 王寒山;胡中伟;赖志远;陈悦;章玉强;于怡青;徐西鹏 | 申请(专利权)人: | 华侨大学 |
主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02;B24B27/00;B24B41/00;B24B41/06;B24B47/22;H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) 35222 | 代理人: | 陈晓思 |
地址: | 362000 *** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 衬底 自动化 | ||
1.一种蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线,其特征在于:包括皮带运输机构、机械手组件、粗抛机、清洗机和精抛机;所述机械手组件包括第一机械手和第二机械手;
所述自动化产线配置为所述第一机械手能抓取所述皮带运输机构上的贴有蓝宝石衬底的承载件进入所述粗抛机,并能抓取所述粗抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入所述清洗机中;所述第二机械手能抓取所述清洗机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入所述精抛机,以及能抓取所述精抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入所述皮带运输机构上。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线,其特征在于:所述皮带运输机构包括第一皮带和第二皮带;
所述第一机械手配置为能抓取所述第一皮带上的贴有蓝宝石衬底的承载件进入所述粗抛机,以及能抓取所述粗抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入所述清洗机中;
所述第二机械手配置为能抓取所述清洗机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入所述精抛机,以及能抓取所述精抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入所述第二皮带。
3.根据权利要求2所述的蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线,其特征在于:所述第一皮带、所述第一机械手、所述清洗机、所述第二机械手和所述第二皮带按照从前到后的顺序设置在同一直线上;所述粗抛机设置在所述第一机械手的侧边;所述精抛机设置在所述第二机械手的侧边。
4.根据权利要求3所述的蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线,其特征在于:所述粗抛机和所述精抛机设置在所述直线的同一侧。
5.根据权利要求2所述的蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线,其特征在于:所述承载件为陶瓷盘,其上表面设置一个用于放置和固定蓝宝石衬底的圆形凹槽。
6.根据权利要求2所述的蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线,其特征在于:所述第一机械手和所述第二机械手均具有吸盘机构,该吸盘机构配置为均能吸取所述承载件并进行转移。
7.根据权利要求6所述的蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线,其特征在于:所述第一机械手和所述第二机械手均具有基座、水平旋转机构、主升降机构、水平移动横轴和末端升降轴;所述第一机械手和所述第二机械手均配置为:所述水平旋转机构安装在所述基座上,所述主升降机构的下端固定在所述水平旋转机构上,所述水平移动横轴的一端固定在所述主升降机构的上端,所述末端升降轴的上端固定在所述水平移动横轴的另一端,所述吸盘机构固定在所述末端升降轴的下端。
8.根据权利要求6或7所述的蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线,其特征在于:所述清洗机具有一提篮,所述提篮具有供所述吸盘机构进出的中间空腔,所述提篮具有位于所述中间空腔两侧的多个水平隔板,两侧的水平隔板从下往上对称设置;两侧水平隔板之间的距离小于所述承载件的宽度。
9.根据权利要求8所述的蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线,其特征在于:所述清洗机还具有一超声波水箱,并设置为所述提篮能浸泡入所述超声波水箱之中,以及能上升至所述超声波水箱之上。
10.根据权利要求2所述的蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线,其特征在于:所述第一机械手具有第一夹具机构,所述第二机械手具有第二夹具机构,均能夹取所述承载件并进行转移;
所述第一皮带包括两条平行的皮带,两条平行的皮带之间形成足够让所述第一夹具机构夹取所述承载件的空隙;
所述第二皮带包括两条平行的皮带,两条平行的皮带之间形成足够让所述第二夹具机构夹取所述承载件的空隙。
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