[实用新型]一种半导体生产的真空管系统

权利要求书

1.一种半导体生产的真空管系统，其特征在于，

包括工作台、样品台、牵引组件、调节组件、推动组件、安装架、真空管、吸附机本体和真空压力吸头，所述样品台与所述工作台固定连接，并位于所述工作台的上方，所述牵引组件和所述调节组件分别设置于所述工作台上，所述安装架与所述调节组件固定连接，所述推动组件设置于所述安装架的外壁，所述吸附机本体与所述推动组件固定连接，所述真空压力吸头与所述吸附机本体相适配，所述真空管安装于所述真空压力吸头上；

所述牵引组件包括支撑架、第一弹簧、滑块、牵引绳、连接环和安装环，所述安装架与所述工作台固定连接，并位于所述工作台的外壁，所述支撑架具有滑动槽，所述滑块与所述支撑架滑动连接，并位于所述滑动槽内，所述第一弹簧设置于所述滑动槽内，且所述第一弹簧的两端分别与所述支撑架和所述滑块固定连接，所述安装环与所述滑块固定连接，并位于所述滑块的下方，所述牵引绳的两端分别与所述安装环和所述连接环固定连接，所述连接环套设于所述真空管的外壁。

2.如权利要求1所述的半导体生产的真空管系统，其特征在于，

所述调节组件包括支撑板、驱动电机、安装板、减速机、丝杆和固定座，所述安装板的数量为两块，两块所述安装板分别与所述工作台固定连接，并均位于所述工作台的外壁，所述丝杆的两端分别与两块所述安装板固定连接，所述固定座与所述丝杆螺纹配合，所述支撑板与所述工作台固定连接，并位于工作台的外壁，所述驱动电机的底部与所述支撑板固定连接，所述减速机与所述驱动电机的输出端固定连接，所述减速机的输出端贯穿其中一块所述安装板，并与所述丝杆固定连接。

3.如权利要求2所述的半导体生产的真空管系统，其特征在于，

所述安装架包括支撑柱和连接板，所述支撑柱与所述固定座固定连接，并位于所述固定座的上方，所述连接板与所述支撑柱固定连接，并位于所述支撑柱的外壁，所述推动组件与所述连接板固定连接。

4.如权利要求3所述的半导体生产的真空管系统，其特征在于，

所述推动组件包括气缸和液压杆，所述气缸与所述连接板固定连接，并位于所述连接板的下方，所述液压杆与所述气缸的输出端固定连接，所述吸附机本体与所述液压杆的一端固定连接。

5.如权利要求1所述的半导体生产的真空管系统，其特征在于，

所述半导体生产的真空管系统还包括支撑腿，所述支撑腿的数量为多根，多根所述支撑腿与工作台固定连接，并均位于所述工作台的下方。

6.如权利要求5所述的半导体生产的真空管系统，其特征在于，

所述半导体生产的真空管系统还包括摩擦垫，所述摩擦垫的数量为多块，每块所述摩擦垫与对应的所述支撑腿固定连接，并分别位于对应的所述支撑腿的下方。

7.如权利要求6所述的半导体生产的真空管系统，其特征在于，

所述半导体生产的真空管系统还包括多组减震组件，多组减震组件分别与工作台固定连接，每组所述减震组件包括伸缩杆和第二弹簧，所述伸缩杆与所述工作台固定连接，并位于所述工作台的下方，所述第二弹簧套设于所述伸缩杆的外部。

8.如权利要求7所述的半导体生产的真空管系统，其特征在于，

所述半导体生产的真空管系统还包括防滑板，所述防滑板与所述伸缩杆固定连接，并位于所述伸缩杆的下方，所述第二弹簧的两端分别与所述工作台和所述防滑板固定连接。

9.如权利要求8所述的半导体生产的真空管系统，其特征在于，

所述伸缩杆包括外筒和内杆，所述外筒的底部与所述防滑板固定连接，所述内杆的一端与所述外筒滑动连接，所述内杆的另一端与所述工作台固定连接。

10.如权利要求9所述的半导体生产的真空管系统，其特征在于，所述半导体生产的真空管系统还包括防护板，所述防护板与所述工作台固定连接，并位于所述工作台的上方。