[实用新型]用于可汽化固体源材料的汽化器容器有效
申请号: | 202220394753.5 | 申请日: | 2022-02-25 |
公开(公告)号: | CN218596506U | 公开(公告)日: | 2023-03-10 |
发明(设计)人: | B·卡多佐;J·托马斯 | 申请(专利权)人: | 恩特格里斯公司 |
主分类号: | C23C16/448 | 分类号: | C23C16/448;C23C16/50;C23C16/455 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 李婷 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 汽化 固体 材料 汽化器 容器 | ||
1.一种用于可汽化固体源材料的汽化器容器,其特征在于包含:
汽化器容器主体,其包括限定内部容积的内表面;
所述汽化器容器的内部容积的入口和出口;以及
至少一个导热试剂支撑面板,其位于所述内部容积内并通过导热接头在所述内表面处接合到所述汽化器容器主体,当所述汽化器容器主体定向在填充定向上定向时,至少一个所述导热试剂支撑面板中的每一个在第一竖直方向上延伸,而当处于第二使用定向时,至少一个所述导热试剂支撑面板水平延伸以支撑所述可汽化固体源材料的一部分。
2.根据权利要求1所述的用于可汽化固体源材料的汽化器容器,其特征在于所述汽化器容器包括多个所述导热试剂支撑面板。
3.根据权利要求2所述的用于可汽化固体源材料的汽化器容器,其特征在于所述多个导热试剂支撑面板中的每一个各自彼此平行。
4.根据权利要求2所述的用于可汽化固体源材料的汽化器容器,其特征在于所述多个导热试剂支撑面板中的每一个从所述汽化器容器主体的所述内表面延伸到所述内部容积的中心线。
5.根据权利要求4所述的用于可汽化固体源材料的汽化器容器,其特征在于所述多个导热试剂支撑面板围绕所述内部容积的中心线均匀地径向分布。
6.根据权利要求1所述的用于可汽化固体源材料的汽化器容器,其特征在于所述导热接头沿至少一个所述导热试剂支撑面板的整个长度延伸。
7.根据权利要求1所述的用于可汽化固体源材料的汽化器容器,其特征在于至少一个所述导热试剂支撑面板中的每一个通过多个所述导热接头接合到所述汽化器容器主体的所述内表面。
8.根据权利要求7所述的用于可汽化固体源材料的汽化器容器,其特征在于在所述多个导热接头之间,在所述导热试剂支撑面板与所述汽化器容器主体的所述内表面之间存在间隙。
9.根据权利要求1所述的用于可汽化固体源材料的汽化器容器,其特征在于所述汽化器容器主体具有开口,所述开口包括填充端口,所述填充端口与所述导热试剂支撑面板间隔开,使得所述填充端口与由至少一个所述导热试剂支撑面板限定的所有空间连通。
10.根据权利要求1所述的用于可汽化固体源材料的汽化器容器,其特征在于至少一个所述导热试剂支撑面板包括穿过所述试剂支撑面板的一或多个开口。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的