[实用新型]一种制备半导体用超纯氨的装置

权利要求书

1.一种制备半导体用超纯氨的装置，其特征在于，包括依次连通的汽化单元、预处理单元、精馏系统和后纯化单元，及用于对汽化单元和精馏系统加热的供热系统；

汽化单元用于将工业液氨进行汽化；

预处理单元用于脱硫和除去水分；

精馏系统由脱轻单元和脱重单元串联组成，脱轻单元和脱重单元均至少包含一个精馏塔，氨气经精馏系统依次脱去轻组分和重组分；

后纯化单元用于除去水分、氧及金属。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述供热系统包括第一压缩机（9）和第二压缩机（12），分别用于产生加热蒸汽；所述汽化单元包括汽化器（1）；所述脱轻单元包括第一精馏塔（5），脱重单元包括第二精馏塔（6）；第一压缩机（9）连通汽化器（1）和第一精馏塔（5）；第二压缩机（12）连通第二精馏塔（6）。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述脱轻单元包括用于第一精馏塔（5）塔顶冷凝的第一冷凝器（4）；所述供热系统包括第一液体缓冲罐（11）及第一气体缓冲罐（10）；第一压缩机（9）输出端连通汽化器（1）和第一精馏塔（5），回路管线再依次连通第一液体缓冲罐（11）、第一冷凝器（4）及第一气体缓冲罐（10），第一气体缓冲罐（10）连通第一压缩机（9）的输入端；加热蒸汽经汽化器（1）和第一精馏塔（5）冷凝后进入第一液体缓冲罐（11），对第一冷凝器（4）进行换热后汽化再回至第一压缩机（9）进行压缩。

4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述脱重单元包括用于第二精馏塔（6）塔顶冷凝的第二冷凝器（61）；所述供热系统包括第二液体缓冲罐（14）及第二气体缓冲罐（13）；第二压缩机（12）输出端依次连通第二精馏塔（6）、第二液体缓冲罐（14）、第二冷凝器（61）及第二气体缓冲罐（13），第二气体缓冲罐（13）连通第二压缩机（12）的输入端；加热蒸汽经第二精馏塔（6）冷凝后进入第二液体缓冲罐（14），对第二冷凝器（61）进行换热后汽化再回至第二压缩机（12）进行压缩。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述预处理单元包括依次连通的脱硫器（2）和吸附器（3）。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述后纯化单元包括依次连通的第一纯化器（7）和第二纯化器（8）；第一纯化器（7）内填充γ-Al₂O₃，第二纯化器（8）内填充碱金属苯乙烯系阳离子交换脂。