[实用新型]一种晶圆传输的对接装置及其形成的晶圆传输系统

权利要求书

1.一种晶圆传输的对接装置，其特征在于，包括：

通用部；其内部形成放置晶圆的中转腔，所述中转腔外侧设置有通用连接侧壁，所述通用连接侧壁中设置有容纳晶圆通过的连接通孔；

补充部；其内部形成能够容纳晶圆通过的补充腔，所述补充腔外侧设置有补充连接侧壁，且所述补充连接侧壁与所述通用连接侧壁相匹配；所述补充连接侧壁中设置有容纳晶圆通过的补充通孔。

2.根据权利要求1所述一种晶圆传输的对接装置，其特征在于，所述通用连接侧壁包括第一通用连接侧壁和第二通用连接侧壁，所述第一通用连接侧壁中包含第一连接通孔，所述第二通用连接侧壁中包含第二连接通孔。

3.根据权利要求2所述一种晶圆传输的对接装置，其特征在于，所述第一通用连接侧壁和第二通用连接侧壁之间设置有第一弯折侧壁和第二弯折侧壁；所述第一通用连接侧壁、第二通用连接侧壁、第一弯折侧壁和第二弯折侧壁共同围成所述中转腔，所述中转腔内部设置有放置晶圆的承载台。

4.根据权利要求3所述一种晶圆传输的对接装置，其特征在于，所述第一弯折侧壁和第二弯折侧壁中均包含拐点，且拐点处的夹角不相等。

5.根据权利要求1所述一种晶圆传输的对接装置，其特征在于，所述补充部为三角形的补充部，所述补充部的其中一个补充连接侧壁与所述通用连接侧壁固定连接，所述补充部的另一端连接晶圆平台。

6.根据权利要求1所述一种晶圆传输的对接装置，其特征在于，还包括密封壳体，所述密封壳体将所述中转腔和密封腔进行密封。

7.一种晶圆传输系统，其特征在于，包括权利要求1-6任意一项所述的对接装置，所述对接装置位于两个晶圆平台之间。