[实用新型]具有调整功能的键合设备

权利要求书

1.一种具有调整功能的键合设备，其特征在于，包括：

一第一腔体；

一第二腔体，面对该第一腔体，其中该第一腔体用以连接该第二腔体，并于该第一腔体及该第二腔体之间形成一密闭空间；

一连接板，连接该第一腔体；

一压合板，透过复数个固定杆体连接该连接板，其中该连接板位于该压合板与该第一腔体之间；

一载台，连接该第二腔体，并包括一承载面朝向该压合板，其中该承载面用以承载层叠的一第一基板及一第二基板；及

复数个水平调整单元，设置在该第一腔体上，并包括一调整杆，其中该调整杆穿过该第一腔体，并连接该连接板，而部分的该调整杆位于该密闭空间外部，并在该第一腔体上形成一调整部。

2.根据权利要求1所述的具有调整功能的键合设备，其特征在于，其中该水平调整单元包括一吊挂杆，该吊挂杆连接该连接板。

3.根据权利要求2所述的具有调整功能的键合设备，其特征在于，其中该水平调整单元包括一壳体，连接并固定在该第一腔体上，而该调整杆及该吊挂杆则穿过该壳体及该第一腔体，并连接该连接板。

4.根据权利要求3所述的具有调整功能的键合设备，其特征在于，其中该调整杆及该吊挂杆分别经由一轴封单元连接该壳体。

5.根据权利要求1所述的具有调整功能的键合设备，其特征在于，其中该调整杆包括一连接部及一第一弹性部，该连接部的一端连接该连接板，而该连接部的另一端则经由该第一弹性部连接该调整部。

6.根据权利要求5所述的具有调整功能的键合设备，其特征在于，包括一第一套管套设在该第一弹性部的外部，该第一套管的一端连接该连接板。

7.根据权利要求1所述的具有调整功能的键合设备，其特征在于，包括一压合单元驱动器连接该连接板，用以驱动该连接板及该压合板靠近或远离该载台，并以该压合板压合该载台承载的该第一基板及该第二基板。

8.根据权利要求7所述的具有调整功能的键合设备，其特征在于，包括一腔体驱动器连接该第一腔体，用以驱动该第一腔体靠近或远离该第二腔体，使得该第一腔体连接该第二腔体，以在两者之间形成该密闭空间。

9.根据权利要求1所述的具有调整功能的键合设备，其特征在于，包括一抽气马达流体连接该密闭空间，并用以抽出该密闭空间内的气体。

10.根据权利要求1所述的具有调整功能的键合设备，其特征在于，包括复数个对准单元设置在该载台上，并用以对准放置在该载台上的该第一基板及该第二基板。