[实用新型]一种半导体生产用检测设备

权利要求书

1.一种半导体生产用检测设备，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的右侧固定安装有电机(2)，所述电机(2)的输出端固定连接有正反螺杆(3)，所述正反螺杆(3)的表面两端均螺纹连接有螺纹套(4)，所述箱体(1)的内腔底部两端均活动连接有活动板(5)，所述螺纹套(4)的表面固定连接有定位块(6)，所述定位块(6)的表面活动连接于活动板(5)的内腔中，所述箱体(1)的顶部活动连接有夹块(8)，所述夹块(8)的表面固定连接有限位块(7)，所述限位块(7)的表面活动连接于活动板(5)的内腔顶部，所述箱体(1)的顶部固定连接有立柱(9)，所述箱体(1)的底部中端固定连接有电池盒(11)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用检测设备，其特征在于：所述立柱(9)的内侧固定连接有限位弹簧(10)，所述限位弹簧(10)的另一端固定连接于夹块(8)的表面。

3.根据权利要求1所述的一种半导体生产用检测设备，其特征在于：所述电池盒(11)的内腔固定连接有蓄电池(12)，所述电池盒(11)的表面固定连接有充电插口(13)，所述充电插口(13)的输出端电性连接于蓄电池(12)的输入端。

4.根据权利要求1所述的一种半导体生产用检测设备，其特征在于：所述箱体(1)的底部四周均固定连接有支撑腿(14)，所述箱体(1)的表面固定连接有PLC控制器(15)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体生产用检测设备，其特征在于：所述箱体(1)的内腔左侧固定连接有壳体(16)，所述壳体(16)的内腔两端均活动连接有滚珠(17)，所述滚珠(17)的表面和正反螺杆(3)的表面呈活动连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体生产用检测设备，其特征在于：所述活动板(5)的内腔开设有定位槽(18)和卡槽(19)，所述定位块(6)的表面活动连接于定位槽(18)的内腔中，所述限位块(7)的表面活动连接于卡槽(19)的内腔中。