[发明专利]光学麦克风及其制作方法

说明书

本申请实施例提供一种光学麦克风及其制作方法。光学麦克风包括麦克风振膜和光电转换组件，麦克风振膜包括间隔设置的振动薄膜和光栅，振动薄膜上设有进声孔；光电转换组件设置于光栅远离振动薄膜的一侧，光电转换组件包括光源和探测器，光源用于朝向麦克风振膜发射光线，探测器用于接收从麦克风振膜反射回的光线并且将光信号转换为电信号。本申请实施例的光学麦克风及其制作方法，该光学麦克风可以将声信号转换为光信号，再将光信号转换为电信号，从而实现声电转换，并且，该光学麦克风的灵敏度大于100mV/Pa，远超传统麦克风的灵敏度，另外，该光学麦克风的体积较小，便于携带。

技术领域

本申请涉及电子技术领域，特别涉及一种光学麦克风及其制作方法。

背景技术

麦克风是一种人们日常生活中较为常见的声音信号采集工具，随着麦克风技术的逐步发展，麦克风的应用领域也不断扩大，已经开始承担诸如声学传感、语音识别、声呐探测、超声无损检测等多种新型应用，在民生、科研、医疗、工业、国防等领域都有了不可忽视的作用。

传统的麦克风包括背板和与背板间隔设置的振膜，振膜在声波的作用下发生振动，通过改变背板与振膜之间的距离产生电压变化，从而实现声电转换。然而，该麦克风存在灵敏度较低的问题，不能满足消费者越来越高的体验要求，因此，有必要提出一种灵敏度更高的新型麦克风。

发明内容

本申请实施例提供一种光学麦克风及其制作方法，该光学麦克风可以将声信号转换为光信号，再将光信号转换为电信号，从而实现声电转换，并且，该光学麦克风的灵敏度大于100mV/Pa，远超传统麦克风的灵敏度，另外，该光学麦克风的体积较小，便于携带。

第一方面，本申请实施例提供一种光学麦克风，包括：

麦克风振膜，所述麦克风振膜包括间隔设置的振动薄膜和光栅，所述振动薄膜上设有进声孔；

光电转换组件，设置于所述光栅远离所述振动薄膜的一侧，所述光电转换组件包括光源和探测器，所述光源用于朝向所述麦克风振膜发射光线，所述探测器用于接收从所述麦克风振膜反射回的光线并且将光信号转换为电信号。

第二方面，本申请实施例提供一种光学麦克风的制作方法，包括：

提供麦克风振膜以及提供光电转换组件，所述麦克风振膜包括间隔设置的振动薄膜和光栅，所述振动薄膜上设有进声孔；所述光电转换组件包括光源和探测器，所述光源用于朝向所述麦克风振膜发射光线，所述探测器用于接收从所述麦克风振膜反射回的光线并且将光信号转换为电信号；

对所述麦克风振膜和所述光电转换组件进行连接，使所述光电转换组件设置于所述光栅远离所述振动薄膜的一侧，得到光学麦克风。

本申请实施例提供的光学麦克风在使用时，声波通过振动薄膜的进声孔进入并且使振动薄膜发生振动，从而可以改变振动薄膜与光栅之间的距离，光源发出的光线一部分经光栅衍射后照射于振动薄膜的表面并经振动薄膜反射回探测器，一部分经光栅表面直接反射回探测器，这两部分光线到达探测器时具有一定的光程差和相位差，该光程差和相位差与振动薄膜和光栅之间的距离有关，从而可以根据探测器检测到的光信号的光程差和相位差等相关参数推算出振动薄膜和光栅之间的距离的变化幅度，进而依据振动薄膜和光栅之间的距离的变化幅度推算出声信号的变化幅度，实现声信号与光信号之间的转换；在性能方面，本申请实施例提供的光学麦克风的灵敏度大于100mV/Pa，远超传统麦克风的灵敏度，并且，该光学麦克风的体积较小，便于携带。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。

图1为本申请实施例提供的光学麦克风的结构示意图。

图2为本申请实施例提供的麦克风振膜的结构示意图。

图3为本申请实施例提供的振动薄膜的俯视示意图。