[发明专利]光学麦克风及其制作方法

权利要求书

1.一种光学麦克风，其特征在于，包括：

麦克风振膜，所述麦克风振膜包括间隔设置的振动薄膜和光栅，所述振动薄膜上设有进声孔；

光电转换组件，设置于所述光栅远离所述振动薄膜的一侧，所述光电转换组件包括光源和探测器，所述光源用于朝向所述麦克风振膜发射光线，所述探测器用于接收从所述麦克风振膜反射回的光线并且将光信号转换为电信号。

2.根据权利要求1所述的光学麦克风，其特征在于，所述光栅背离所述振动薄膜的一侧设有第一反射层，所述振动薄膜朝向所述光栅的一侧设有第二反射层。

3.根据权利要求1所述的光学麦克风，其特征在于，所述麦克风振膜包括依次层叠设置的第一衬底、第一无机层、支撑件以及振动薄膜，所述第一无机层设置于所述第一衬底上，所述支撑件设置于所述第一无机层和所述振动薄膜之间，所述第一无机层包括所述光栅，所述支撑件对应于所述光栅的外围设置。

4.根据权利要求3所述的光学麦克风，其特征在于，所述第一无机层包括在所述第一衬底上依次层叠设置的第一氧化硅层和第一氮化硅层，所述光栅位于所述第一氮化硅层上，所述第一氧化硅层上对应于所述光栅的位置形成镂空。

5.根据权利要求3所述的光学麦克风，其特征在于，所述振动薄膜上设有朝向所述第一无机层弯曲的弯曲部，所述弯曲部在所述第一衬底上的正投影位于所述支撑件在所述第一衬底上的正投影和所述光栅在所述第一衬底上的正投影之间。

6.根据权利要求3所述的光学麦克风，其特征在于，所述第一无机层背离所述第一衬底的一侧设有第一电极层，所述振动薄膜背离所述第一无机层的一侧设有第二电极层。

7.根据权利要求6所述的光学麦克风，其特征在于，所述第一电极层的材料和所述第二电极层的材料均包括多晶硅，所述振动薄膜的材料包括氮化硅。

8.根据权利要求3所述的光学麦克风，其特征在于，所述振动薄膜上设有进声孔，所述进声孔贯穿所述振动薄膜，所述进声孔在所述第一衬底上的正投影位于所述支撑件在所述第一衬底上的正投影和所述光栅在所述第一衬底上的正投影之间；

所述第一无机层上设有透气孔，所述透气孔贯穿所述第一无机层，所述透气孔在所述第一衬底上的正投影位于所述支撑件在所述第一衬底上的正投影和所述光栅在所述第一衬底上的正投影之间。

9.根据权利要求1所述的光学麦克风，其特征在于，所述光电转换组件还包括第二衬底，所述光源和所述探测器均设置于所述第二衬底上；

所述第二衬底上还设有第一连接件、第二连接件、驱动电路和第一接地电极，所述驱动电路与所述第二连接件电性连接，所述第一接地电极与所述第一连接件电性连接；

所述光源具有第一电极和第二电极；所述光源的所述第一电极与所述第一连接件连接，所述光源的所述第二电极通过导线与所述第二连接件连接。

10.根据权利要求9所述的光学麦克风，其特征在于，所述第二衬底上设有多个所述探测器，所述第二衬底上还设有多个滤波电路、多个放大电路、差分电路和第二接地电极；多个所述探测器分别连接多个所述滤波电路，多个所述滤波电路分别连接多个所述放大电路，多个所述放大电路均连接至所述差分电路，多个所述探测器均连接至所述第二接地电极。

11.根据权利要求1-10中任一项所述的光学麦克风，其特征在于，所述光源的出射光线与所述光栅背离所述振动薄膜一侧的表面之间为非垂直关系。

12.根据权利要求1-10中任一项所述的光学麦克风，其特征在于，所述光学麦克风还包括承载件，所述光电转换组件与所述承载件连接，所述麦克风振膜通过粘合胶与所述承载件连接，所述粘合胶对应所述光电转换组件的外围设置。